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    [求助]HFO2材料有谁用过? [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2018-08-23
    各位大神,请教一下,关于HFO2这个镀紫外的材料,这个材料需要欲融和通氧气吗?怎么融不成液态的呢? `\u;K9S6  
     |J5 =J  
    HFO2和MGF2搭配好,还是和SIO2搭配好呢?哪个更好呢! arK_oh0B  
    $(pF;_W  
     
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    离线ouyuu
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    只看该作者 1楼 发表于: 2018-08-24
    融不成液态的显然是电子枪电流密度不够。 ykg#{9+  
    加大电流或者减小光斑试试看。
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    只看该作者 2楼 发表于: 2018-08-25
    回 ouyuu 的帖子
    ouyuu:融不成液态的显然是电子枪电流密度不够。 m@`8A  
    加大电流或者减小光斑试试看。 (2018-08-24 23:22)  @;xMs8@  
    >R{qESmP=  
    谢谢,大神的指教
    离线yzhuang
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    只看该作者 3楼 发表于: 2018-08-27
    需要充氧,40SCCM或更多
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    只看该作者 4楼 发表于: 2018-08-27
    回 yzhuang 的帖子
    yzhuang:需要充氧,40SCCM或更多 (2018-08-27 10:31)  #B'aU#$u  
    D2YZ9e   
    谢谢,大神的指教,与MGF2搭配好,还是SIO2更好了。
    离线rexchou
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    只看该作者 5楼 发表于: 2018-08-30
    能量需要比較高(跟Ti比起來) dAP|:&y@  
    鍊藥不用通氧、製程要 !>x|7   
    之前做過 溫度要控制 不然會有吸收 : FAH\  
    之前做紫外的AR 搭配是SIO2 TUL_TR  
    bG&"9b_c  
    U,/6;}  
    IUGz =%[  
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    只看该作者 6楼 发表于: 2018-08-30
    回 rexchou 的帖子
    rexchou:能量需要比較高(跟Ti比起來) [c K^+s)N  
    鍊藥不用通氧、製程要 =<f-ob8,  
    之前做過 溫度要控制 不然會有吸收 !Gs} tiMH  
    之前做紫外的AR 搭配是SIO2
    ....... (2018-08-30 11:38)  cl[!`Z  
    HgBJf~q~U  
    谢谢,大神指教
    离线johnyu
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    只看该作者 7楼 发表于: 2018-09-03
    之前做過的經驗是 UP1?5Q=H]Q  
    ?v]-^X=&  
    hfo2 與 sio2 做疊層 (折射率差距越大越好) E +_&HG}a  
    =y ]Jl,_.  
    要通氣體 + ion beam q?{}3 dPC  
    %(m ])  
    不能融溶表示功率不太夠 JXQPT  
    )-P!Ae_.v  
    加油 Bl.u=I:Y4  
    U)jUq_LX  
    1条评分光币+1
    rexchou 光币 +1 优秀文章,支持! 2018-09-04
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    只看该作者 8楼 发表于: 2018-09-07
    回 johnyu 的帖子
    johnyu:之前做過的經驗是
    hfo2 與 sio2 做疊層 (折射率差距越大越好)
    要通氣體 + ion beam {+=i?  
    ....... (2018-09-03 16:10)  {'~sS  
    \iZ1W  
    谢谢,大神