[求助]HFO2材料有谁用过？ [复制链接]

各位大神，请教一下，关于HFO2这个镀紫外的材料，这个材料需要欲融和通氧气吗？怎么融不成液态的呢？ qFmw9\Fn  
S;4:`?s=i  
HFO2和MGF2搭配好，还是和SIO2搭配好呢？哪个更好呢！ i$NlS}W  
J*;RL`  

描述:材料欲融状态

图片:微信图片_20180823113440.jpg

融不成液态的显然是电子枪电流密度不够。 G4(R/<J,BQ  
加大电流或者减小光斑试试看。

ouyuu:融不成液态的显然是电子枪电流密度不够。 v-#,@&Uwq  
加大电流或者减小光斑试试看。 (2018-08-24 23:22)  "w?0f["  

$+80V{J#  
谢谢，大神的指教

需要充氧，40SCCM或更多

yzhuang:需要充氧，40SCCM或更多 (2018-08-27 10:31)  #r9\.NA!  

Aq(cgTNW  
谢谢，大神的指教，与MGF2搭配好，还是SIO2更好了。

能量需要比較高(跟Ti比起來) *i*\dl  
鍊藥不用通氧、製程要 P8=|#yCi  
之前做過 溫度要控制 不然會有吸收 ]+`K\G ^X  
之前做紫外的AR 搭配是SIO2 JjZB!Lg=  
,W+=N"`a'  
9Avj\G  
*-*V>ntvT$  

rexchou:能量需要比較高(跟Ti比起來) {B#w9>'b  
鍊藥不用通氧、製程要 k5%)  
之前做過 溫度要控制 不然會有吸收 bCTN^  
之前做紫外的AR 搭配是SIO2
....... (2018-08-30 11:38)  \N0wf-qa=  

(-
1{W^(  
谢谢，大神指教

之前做過的經驗是 `o9:6X?RA  

LO%e1y  
hfo2 與 sio2 做疊層 (折射率差距越大越好) 1W.oRD&8j/  
>sAaLR4  
要通氣體 + ion beam 8t< X  
,. ht ~AE  
不能融溶表示功率不太夠 O,+9r_Gh  
$B9?>a|{A  
加油 'lEIwJV$  
6]GHC
yo  

johnyu:之前做過的經驗是
hfo2 與 sio2 做疊層 (折射率差距越大越好)
要通氣體 + ion beam ?<OyJ|;V  
....... (2018-09-03 16:10)  ne[H`7c  

^|!\IzDp  
谢谢，大神