[求助]HFO2材料有谁用过？ [复制链接]

各位大神，请教一下，关于HFO2这个镀紫外的材料，这个材料需要欲融和通氧气吗？怎么融不成液态的呢？ iO?Sf8yJ:  
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HFO2和MGF2搭配好，还是和SIO2搭配好呢？哪个更好呢！ "VfV;)]|w  
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融不成液态的显然是电子枪电流密度不够。 nY
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加大电流或者减小光斑试试看。

ouyuu:融不成液态的显然是电子枪电流密度不够。 Y!kz0([  
加大电流或者减小光斑试试看。 (2018-08-24 23:22)  C^hHt,&  

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谢谢，大神的指教

需要充氧，40SCCM或更多

yzhuang:需要充氧，40SCCM或更多 (2018-08-27 10:31)  8jxgSB",  

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谢谢，大神的指教，与MGF2搭配好，还是SIO2更好了。

能量需要比較高(跟Ti比起來) u>H^bCXI  
鍊藥不用通氧、製程要 z2og&|uT  
之前做過 溫度要控制 不然會有吸收 L<Q1acoZm  
之前做紫外的AR 搭配是SIO2 6a PZW  
i\G@kJNnF  
7|3Z+#|T  
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rexchou:能量需要比較高(跟Ti比起來) ~UB@IV6O  
鍊藥不用通氧、製程要 I<z /Y?  
之前做過 溫度要控制 不然會有吸收 .RH}/D  
之前做紫外的AR 搭配是SIO2
....... (2018-08-30 11:38)  }3j/%oN.(  

_;W}_p}q{  
谢谢，大神指教

之前做過的經驗是 n
ORm7sa9  
Uc!}D  
hfo2 與 sio2 做疊層 (折射率差距越大越好) fBS;~;l  
$dFEC}1t  
要通氣體 + ion beam %L}9nc%~eP  
25t2tj@S  
不能融溶表示功率不太夠 X_Is#&6;  
]}i_NqW)  
加油 C]K@SN$   
[m?eSq6e2b  

johnyu:之前做過的經驗是
hfo2 與 sio2 做疊層 (折射率差距越大越好)
要通氣體 + ion beam sI,T"D?  
....... (2018-09-03 16:10)  w")VcAq  

Us+|L|/  
谢谢，大神