[求助]HFO2材料有谁用过？ [复制链接]

各位大神，请教一下，关于HFO2这个镀紫外的材料，这个材料需要欲融和通氧气吗？怎么融不成液态的呢？ 5(>SFxz"t  
=' uePM")  
HFO2和MGF2搭配好，还是和SIO2搭配好呢？哪个更好呢！ (qglD  
)Zf1%h~0r  

描述:材料欲融状态

图片:微信图片_20180823113440.jpg

融不成液态的显然是电子枪电流密度不够。 mG"xo^1_H  
加大电流或者减小光斑试试看。

ouyuu:融不成液态的显然是电子枪电流密度不够。 d9K8[Q5^3  
加大电流或者减小光斑试试看。 (2018-08-24 23:22)  !y= R)k  

c+ oi8G  
谢谢，大神的指教

需要充氧，40SCCM或更多

yzhuang:需要充氧，40SCCM或更多 (2018-08-27 10:31)  %TB(E<p`  

wPA^nZ^}9c  
谢谢，大神的指教，与MGF2搭配好，还是SIO2更好了。

能量需要比較高(跟Ti比起來) e+ xQ\LH  
鍊藥不用通氧、製程要  bGRt  
之前做過 溫度要控制 不然會有吸收 VYvfx  
之前做紫外的AR 搭配是SIO2 O%bbyR2  
K
/Q"Z*  
$TQhr#C]  
0-. d{P  

rexchou:能量需要比較高(跟Ti比起來) `oRyw6Sko  
鍊藥不用通氧、製程要 5Xy(za  
之前做過 溫度要控制 不然會有吸收 hpdI5  
之前做紫外的AR 搭配是SIO2
....... (2018-08-30 11:38)  }{0}$#zu  

o3WOp80hz  
谢谢，大神指教

之前做過的經驗是 SmXJQ@jN  
_[:6.oNjIe  
hfo2 與 sio2 做疊層 (折射率差距越大越好) nz 10/nw  
G?Et$r7:R  
要通氣體 + ion beam "1o{mvCkR  
gC7!cn  
不能融溶表示功率不太夠 iUkUo x  
"M%R{pGA7  
加油 #*A'<Zm  
uHbg&eW  

johnyu:之前做過的經驗是
hfo2 與 sio2 做疊層 (折射率差距越大越好)
要通氣體 + ion beam l/k-`LeW  
....... (2018-09-03 16:10)  = #-zK:4  

DE.].FD
'  
谢谢，大神