[求助]HFO2材料有谁用过？ [复制链接]

各位大神，请教一下，关于HFO2这个镀紫外的材料，这个材料需要欲融和通氧气吗？怎么融不成液态的呢？ aq- |  
4++pK;I  
HFO2和MGF2搭配好，还是和SIO2搭配好呢？哪个更好呢！ Z=(Tq1t  
X u2+TK  

描述:材料欲融状态

图片:微信图片_20180823113440.jpg

融不成液态的显然是电子枪电流密度不够。 o^b5E=?>C  
加大电流或者减小光斑试试看。

ouyuu:融不成液态的显然是电子枪电流密度不够。 }KT$J G?  
加大电流或者减小光斑试试看。 (2018-08-24 23:22)  J"$U$.W=  

`U&'71B^  
谢谢，大神的指教

需要充氧，40SCCM或更多

yzhuang:需要充氧，40SCCM或更多 (2018-08-27 10:31)  g^7zDU&'  


U#Iwe=  
谢谢，大神的指教，与MGF2搭配好，还是SIO2更好了。

能量需要比較高(跟Ti比起來) ecO$L<9>  
鍊藥不用通氧、製程要 qnnRS  
之前做過 溫度要控制 不然會有吸收 i_QiE2d  
之前做紫外的AR 搭配是SIO2 "]Uj _d  
%4t?X  
:>Qu;Z1P  
4\k{E-x $  

rexchou:能量需要比較高(跟Ti比起來) 3-n&&<  
鍊藥不用通氧、製程要 NwQ$gDgu t  
之前做過 溫度要控制 不然會有吸收 K|6}g7&X  
之前做紫外的AR 搭配是SIO2
....... (2018-08-30 11:38)  xdY'i0fh  

7~ZG"^k  
谢谢，大神指教

之前做過的經驗是 t=p"nIE  
2)n%rvCQ  
hfo2 與 sio2 做疊層 (折射率差距越大越好) %$Q!'+YW  
=&qfmq  
要通氣體 + ion beam L=s8em]7l  
R iV]SgV9  
不能融溶表示功率不太夠 73tjDO7d  
@cm[]]f'l  
加油 /jq"r-S"  
c\tw#;\9  

johnyu:之前做過的經驗是
hfo2 與 sio2 做疊層 (折射率差距越大越好)
要通氣體 + ion beam 'FN3r  
....... (2018-09-03 16:10)  WxF@'kdn*,  

a&R,jq  
谢谢，大神