摘要 ~HD:Y7 ? &ew$% 扫描
干涉法是实现表面高度测量的技术。通过利用白色
光源的低相干性,只有当光程差在相干长度内,干涉图案才会出现。因此,它使精确微观测量成为可能。使用一个氙灯搭建了一个迈克耳孙
干涉仪,用于测量具有平滑变化前表面的样品。
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光电)
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