摘要 [h-NX f. >[ J 扫描
干涉法是实现表面高度测量的技术。通过利用白色
光源的低相干性，只有当光程差在相干长度内，干涉图案才会出现。因此，它使精确微观测量成为可能。使用一个氙灯搭建了一个迈克耳孙
干涉仪，用于测量具有平滑变化前表面的样品。
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y]obO|AH (QqeMG,Y （来源：讯技
光电）
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