摘要 $3,ryXp7 u`(-
- 扫描
干涉法是实现表面高度测量的技术。通过利用白色
光源的低相干性,只有当光程差在相干长度内,干涉图案才会出现。因此,它使精确微观测量成为可能。使用一个氙灯搭建了一个迈克耳孙
干涉仪,用于测量具有平滑变化前表面的样品。
r_YIpnJ 45&8weXO:'
+
S4fGT x3rlJs`$; 建模任务 +ht|N[P +-B^Z On
IHp_A KQ[!o!% 结果 ql<rU@ LB/C-n.`
8J)xzp`*) \Ofw8=N-2 文件信息 @/&b;s73 % },Pe
OTZ_c1"K |;A/|F0-e (来源:讯技
光电)
>\w&6i~