摘要 x]pZcx9 U$EQeb 扫描
干涉法是实现表面高度测量的技术。通过利用白色
光源的低相干性,只有当光程差在相干长度内,干涉图案才会出现。因此,它使精确微观测量成为可能。使用一个氙灯搭建了一个迈克耳孙
干涉仪,用于测量具有平滑变化前表面的样品。
QP<vjj% *4O9W8Qz
]<:qMLg r@ v&~pL 建模任务 k@9CDwh*s FGu#Pa
jI45X22j Cd'K~Ch3 结果 \KkAU 6 e)2w&2i`(F
c-=z<:Kf c|(&6(r 文件信息 Tu7sA.73k 'FwNQz zt
mE"},ksg xL\R-H^c] (来源:讯技
光电)
TmUN@h