摘要 s((b"{fFb
'\'7yN'
扫描干涉法是实现表面高度测量的技术。通过利用白色光源的低相干性,只有当光程差在相干长度内,干涉图案才会出现。因此,它使精确微观测量成为可能。使用一个氙灯搭建了一个迈克耳孙干涉仪,用于测量具有平滑变化前表面的样品。 `skH-lk,
`axQd%:AC
3Tw%W0q
/J.0s0@
建模任务 w(#:PsMo<
dcP88!#5-
m9I(TOw
8E-Ip>{>
结果 APOea
U,d2DAvt
-s33m]a;
b<\G I7
文件信息 ,i;9[4QMX
R/rcXX7%
wRj~Qv~E
P;>!wU~*
(来源:讯技光电) &gJW6<