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干涉法是实现表面高度测量的技术。通过利用白色
光源的低相干性,只有当光程差在相干长度内,干涉图案才会出现。因此,它使精确微观测量成为可能。使用一个氙灯搭建了一个迈克耳孙
干涉仪,用于测量具有平滑变化前表面的样品。
f,{O%*PUA {w*5uI%%e D.?Rc'yD &`hx 建模任务 h6c0BmS{1 4L}i`)CmB WO{V,<; RL0,QC)e#@ 结果 mZLrU<)Y P)bS ;w\(Y &wc%mQV _kR);\V.8 文件信息 |E:q!4?0 ^gx`@^su }!{9tc$<b 9Qja|; (来源:讯技
光电)
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