[转载]VLF技术文章——用于微结构晶片检测的光学系统 [复制链接]

摘要 \LQ54^eB  
"/
qm,$  
在半导体产业中，晶片检测系统用于检查晶片上的缺陷并找到它们的位置。为保证微结构的图像解析度，检测系统常使用一个高NA的物镜，工作在紫外波长范围。作为一个例子，模拟了一个完整的晶片检测系统，包括高NA聚焦效应和光与微结构的互作用，并演示了图像的形成。 ;n;bap  
s(shgI 3g  
FR? \H"'x  
建模任务 }J|Pd3Q Sf  
nypG  
f,'9Bj.~  
结果 >m4Q*a4M  
_!Ir|j.A  
-5sKJt]+i  
结果 b*W01ist  
Mib<1ZM  
结果 v
Z/Bzy@|  
9 Aq\1QC  
NX9K
%J  
文件信息 J0O wzO  
s>1Wjz2M  
?'+kZ|  
Best wishes, >Eqr/~Q  
行销部 17621763047（微信同号） ?)?}^  
--------------------------------------------------------------------- .<kbYo:MV  
讯技光电科技（上海）有限公司/上海讯稷光电科技有限公司/讯稷光拓科技（香港）有限公司 7dtkylW  
上海市普陀区武威路88弄（中鑫企业广场）21号楼A座2楼邮编：200333 #/LU@+  
Tel: +86-21-6486 0708/ 6486 0576/6486 0572 转 809 分机 手机号：17621763047  Fax: +86-21-6486 0709  Va3/#is'  
Email: david@infotek.com.cn   Web:www.infotek.com.cn  www.infocrops.com &_W~d0  
--------------------------------------------------------------------- x4%1P w  
讯技光电2018年度课程上线，欢迎点击以下链接查阅，或来信索取完整版年度课程PDF档: U3b&/z|b?  
http://www.honglun-seminary.com/2018/ I*hzlE