[转载]VLF技术文章——用于微结构晶片检测的光学系统 [复制链接]

摘要 Xm4wuX"e=  
f/B--jq  
在半导体产业中，晶片检测系统用于检查晶片上的缺陷并找到它们的位置。为保证微结构的图像解析度，检测系统常使用一个高NA的物镜，工作在紫外波长范围。作为一个例子，模拟了一个完整的晶片检测系统，包括高NA聚焦效应和光与微结构的互作用，并演示了图像的形成。 h>/ViB@"W|  
yS43>UK_W+  
xpxm9ySwu  
建模任务 <D^x6{}  
NLpD,q{  
_"bx#B*  
结果 s7e'9Bx  
}:mI6zsNj  
^\?9W  
结果 B<R-|-#  
YZ>cE
#  
结果 vy#(|[pL{  
n`,Q:  
8zCAy@u  
文件信息 ]| yH8m  
$ZU(bEUOG  
0- UeFy  
Best wishes,
a)1,/:7'  
行销部 17621763047（微信同号） MUrY>FYgx  
--------------------------------------------------------------------- }D^Gt)  
讯技光电科技（上海）有限公司/上海讯稷光电科技有限公司/讯稷光拓科技（香港）有限公司 +7^Ul6BB#K  
上海市普陀区武威路88弄（中鑫企业广场）21号楼A座2楼邮编：200333 ,lnuu  
Tel: +86-21-6486 0708/ 6486 0576/6486 0572 转 809 分机 手机号：17621763047  Fax: +86-21-6486 0709 j r[~  
Email: david@infotek.com.cn   Web:www.infotek.com.cn  www.infocrops.com WI6E3,ejB1  
--------------------------------------------------------------------- M\&~Dmd  
讯技光电2018年度课程上线，欢迎点击以下链接查阅，或来信索取完整版年度课程PDF档: WGmCQE[/c  
http://www.honglun-seminary.com/2018/  vt N5{C