[转载]VLF技术文章——用于微结构晶片检测的光学系统 [复制链接]

摘要 +!ljq~%  
Ylu\]pr9|C  
在半导体产业中，晶片检测系统用于检查晶片上的缺陷并找到它们的位置。为保证微结构的图像解析度，检测系统常使用一个高NA的物镜，工作在紫外波长范围。作为一个例子，模拟了一个完整的晶片检测系统，包括高NA聚焦效应和光与微结构的互作用，并演示了图像的形成。 ]LxE#R5V  
qgfP6W$  
'`<Fys&:  
建模任务 Fkpaou  
H0])>1sWB  
IaOR%Bg  
结果 .)bNi*&  
.w{Y3,dd>  
!"RRw&0M  
结果 !'[?cE
og  
2v@B7r4}  
结果 L[nDjQn"  
m`$Q/SyvG  
n`w]?bL  
文件信息 nq>F_h  
/joY? T  
LxWd_B  
Best wishes, [MbbL  
行销部 17621763047（微信同号） Np$&8v+en  
--------------------------------------------------------------------- gzKMGL?%?  
讯技光电科技（上海）有限公司/上海讯稷光电科技有限公司/讯稷光拓科技（香港）有限公司 k#\j\t-  
上海市普陀区武威路88弄（中鑫企业广场）21号楼A座2楼邮编：200333 /!;v$es S  
Tel: +86-21-6486 0708/ 6486 0576/6486 0572 转 809 分机 手机号：17621763047  Fax: +86-21-6486 0709 d@a<Eq  
Email: david@infotek.com.cn   Web:www.infotek.com.cn  www.infocrops.com I#;dS!W"'  
--------------------------------------------------------------------- }><[6Uz%  
讯技光电2018年度课程上线，欢迎点击以下链接查阅，或来信索取完整版年度课程PDF档: uH'?Ikx"  
http://www.honglun-seminary.com/2018/ 3XDU(#