[转载]VLF技术文章——用于微结构晶片检测的光学系统 [复制链接]

摘要 /5^"n4/M  
l0Myem v?z  
在半导体产业中，晶片检测系统用于检查晶片上的缺陷并找到它们的位置。为保证微结构的图像解析度，检测系统常使用一个高NA的物镜，工作在紫外波长范围。作为一个例子，模拟了一个完整的晶片检测系统，包括高NA聚焦效应和光与微结构的互作用，并演示了图像的形成。 7\sJ=*  
6fvzTd},  
J:  
建模任务 (VYY-%N`  
SG1o<#>  
R u^v!l`!7  
结果 [AzQP!gi  
(fmcWHs  
YNc
]x>  
结果 s#,~Zb=  
7Y$#* 7  
结果 uT8@p8  
G% w
VQ|1  
*')g}2iB  
文件信息 d,}fp)  
y5_`<lFv  
Txkmt$h  
Best wishes, & 2MI(9v  
行销部 17621763047（微信同号） bWzv7#dd=  
--------------------------------------------------------------------- #s JE{Tb  
讯技光电科技（上海）有限公司/上海讯稷光电科技有限公司/讯稷光拓科技（香港）有限公司 e)dPv:oK3  
上海市普陀区武威路88弄（中鑫企业广场）21号楼A座2楼邮编：200333 yT Pi/=G  
Tel: +86-21-6486 0708/ 6486 0576/6486 0572 转 809 分机 手机号：17621763047  Fax: +86-21-6486 0709 ^06f\7A  
Email: david@infotek.com.cn   Web:www.infotek.com.cn  www.infocrops.com +0U{CmH  
--------------------------------------------------------------------- a!MhxM5  
讯技光电2018年度课程上线，欢迎点击以下链接查阅，或来信索取完整版年度课程PDF档: 5'f4=J$Z)  
http://www.honglun-seminary.com/2018/ +g_+JLQ