[转载]VLF技术文章——用于微结构晶片检测的光学系统 [复制链接]

摘要 v,ju!I0.  
^yOZArc'r  
在半导体产业中，晶片检测系统用于检查晶片上的缺陷并找到它们的位置。为保证微结构的图像解析度，检测系统常使用一个高NA的物镜，工作在紫外波长范围。作为一个例子，模拟了一个完整的晶片检测系统，包括高NA聚焦效应和光与微结构的互作用，并演示了图像的形成。 db6mfxi  
[Jv@J\  
,N0#!<}4  
建模任务 KGg3 !jY  
J_;o|gqX  
Dtj&W<NXo  
结果
!50[z:  
#_u~/jhX  
Y0X-Zqk'  
结果 ?Ec7" hK  
Bi{$@n&?f  
结果 YD7Oao4:o  
' MxrQ;|S  
B $mX3B
+a  
文件信息 /Sh#_\x  
R47\Y  
L+q/){Dd(  
Best wishes, :eCU/BC4  
行销部 17621763047（微信同号） q*9!,!e  
--------------------------------------------------------------------- ~Rr~1I&mR,  
讯技光电科技（上海）有限公司/上海讯稷光电科技有限公司/讯稷光拓科技（香港）有限公司 q7E~+p(>(  
上海市普陀区武威路88弄（中鑫企业广场）21号楼A座2楼邮编：200333 tdu$pC6  
Tel: +86-21-6486 0708/ 6486 0576/6486 0572 转 809 分机 手机号：17621763047  Fax: +86-21-6486 0709 j?+X\PtQ  
Email: david@infotek.com.cn   Web:www.infotek.com.cn  www.infocrops.com pJtex^{!:  
--------------------------------------------------------------------- `V04\05  
讯技光电2018年度课程上线，欢迎点击以下链接查阅，或来信索取完整版年度课程PDF档: ;&)-;l7M  
http://www.honglun-seminary.com/2018/ FIsyiSY<j