[转载]VLF技术文章——用于微结构晶片检测的光学系统 [复制链接]

摘要 tf|;'Nc6  
x[&<e<6  
在半导体产业中，晶片检测系统用于检查晶片上的缺陷并找到它们的位置。为保证微结构的图像解析度，检测系统常使用一个高NA的物镜，工作在紫外波长范围。作为一个例子，模拟了一个完整的晶片检测系统，包括高NA聚焦效应和光与微结构的互作用，并演示了图像的形成。 12m-$/5n+  
VZ=:`)  
(Y8LyY  
建模任务 VJT /9O)Z|  
Yf~Kzv1]*  
LExm#T`  
结果 Lo#G.
s|  
R=<::2_Y96  
hliO/3g  
结果 dJQK|/  
"bF52lLu  
结果  -gS9I^  
V$O6m|q  
Tsj/alC[  
文件信息 *78c2`)[  
:vzIc3~c:`  
&Tj7qlP\  
Best wishes, #+V4<o  
行销部 17621763047（微信同号） 9H/R@i[E  
--------------------------------------------------------------------- |iX>hJSl  
讯技光电科技（上海）有限公司/上海讯稷光电科技有限公司/讯稷光拓科技（香港）有限公司 s%`l>#H  
上海市普陀区武威路88弄（中鑫企业广场）21号楼A座2楼邮编：200333 iLNUydiS  
Tel: +86-21-6486 0708/ 6486 0576/6486 0572 转 809 分机 手机号：17621763047  Fax: +86-21-6486 0709 ]+3M\ ib  
Email: david@infotek.com.cn   Web:www.infotek.com.cn  www.infocrops.com {i?G:K  
--------------------------------------------------------------------- 6 U[VoUU   
讯技光电2018年度课程上线，欢迎点击以下链接查阅，或来信索取完整版年度课程PDF档: =~Qg(=U0U  
http://www.honglun-seminary.com/2018/ |N"K83_pr