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    [分享]绝对平面检测方法的研究进展 [复制链接]

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    离线200833
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2018-04-16
    关键词: 干涉光学平面
    光学平面干涉检测发展至今,检测精度已经大大提高,而高精度的平面检测很大程度上受限于参考平面的精度,针对参考平面面形对检测结果的影响,利用绝对平面检测方法,通过多次测量以达到消除参考平面偏差的目的。从测量方式和计算方法两个方面分析了不同绝对平面检测方法的原理,介绍了最新发表的相关成果以及研究动态,并对比了检测结果。这些检测方法已经精确到像素级,并通过多种计算方法使得峰谷(PV)值的计算精度大部分达到了λ/100。
    附件: 绝对平面检测方法的研究进展.rar (1111 K) 下载次数:18 ,售价:2光币[记录]
    1条评分光币+6
    mang2004 光币 +6 - 2018-04-24
     
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    离线875192871
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    只看该作者 1楼 发表于: 2018-04-18
    谢谢大佬  
    离线875192871
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    只看该作者 2楼 发表于: 2018-04-18
    大佬  zygo好像最多只能测试1/20λ的面型吧
    离线微笑向暖
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    只看该作者 3楼 发表于: 2018-04-24
    我们现在做的平片就是要求面型1/100d的
    离线jyx123456
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    只看该作者 4楼 发表于: 2018-04-28
    文章很实用
    离线yita_0310
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    只看该作者 5楼 发表于: 2018-05-12
    学习学习~~~~~~~~
    离线小志250
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    只看该作者 6楼 发表于: 2018-05-24
    能做到吗
    离线l3x13999
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    只看该作者 7楼 发表于: 2018-05-24
    来看看
    离线l3x13999
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    只看该作者 8楼 发表于: 2018-05-24
    非球面检测?
    离线540852739
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    只看该作者 9楼 发表于: 2018-05-30
    谢谢分享 Wn}'bqp  
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