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    [分享]绝对平面检测方法的研究进展 [复制链接]

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    离线200833
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2018-04-16
    关键词： 干涉光学平面
    光学平面的干涉检测发展至今，检测精度已经大大提高，而高精度的平面检测很大程度上受限于参考平面的精度，针对参考平面面形对检测结果的影响，利用绝对平面检测方法，通过多次测量以达到消除参考平面偏差的目的。从测量方式和计算方法两个方面分析了不同绝对平面检测方法的原理，介绍了最新发表的相关成果以及研究动态，并对比了检测结果。这些检测方法已经精确到像素级，并通过多种计算方法使得峰谷（PV）值的计算精度大部分达到了λ/100。
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    共1条评分 ，光币+6
    mang2004 光币 +6 - 2018-04-24
     
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    离线yuliang518
    助理工程师
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    只看该作者 15楼 发表于: 2025-11-12
    谢谢大佬  
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    离线wisdomlad
    实习生
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    只看该作者 14楼 发表于: 2024-10-05
    看样子非常不错，学习一下。
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    离线qiuhongwei
    实习生
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    只看该作者 13楼 发表于: 2018-10-15
    感谢分享 <0pBu7a  
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    离线zhengjiejames
    实习生
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    只看该作者 12楼 发表于: 2018-10-05
    谢谢楼主
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    离线freshment
    实习生
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    只看该作者 11楼 发表于: 2018-06-07
    多谢多谢 MHk\y2`/;  
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    离线540852739
    实习生
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    只看该作者 10楼 发表于: 2018-05-30
    学习了
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    离线540852739
    实习生
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    只看该作者 9楼 发表于: 2018-05-30
    谢谢分享 mn)kd  
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    离线l3x13999
    实习生
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    只看该作者 8楼 发表于: 2018-05-24
    非球面检测？
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    离线l3x13999
    实习生
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    只看该作者 7楼 发表于: 2018-05-24
    来看看
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