[讨论]材料N值和K值 [复制链接]

求各位大神指点迷津 8:Dkf
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H;+98AIy`  
怎么才可以获取正确的材料N值和K值 P!{J28dj  
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@bq@0g  
我现在的方法是镀一个5k的膜，然后先测裸片监控片的反射率，再测镀膜后的监控片反射率，导入到MAC里去算N和K，但是把材料回推回去看光谱还是和实测的光谱不一样，这里面的原因是啥？ di<g"8  
gb}ov**  
我的想法是机台镀膜随着时间的推移每一层的膜N和K都不一样。 vorb?iVf>  
n>)h9q S  
前题是我是用晶控去控制，不是光控。

我夜想知道！

同求！！！！！

我是用穿透量測(吸收考量) D8b9T.[(  
鍍5Q膜厚 S5cs(}Bq  
先以macleod求出基板N與K rgEN~e'  
再求出藥材N與K w;:{  

同求TFC计算  Tooling值的方法  

这个 可以探讨,特别误差在金属上面例如TI等,误差很大,真实的n和k导出来!我觉得主要根电子枪关系大,

5k?unit是什麼?5000nm? -e_pw,5c '  
Hr*xAx  
你設定厚度與實際厚度的誤差是多少? $/Llzpvny  
c']m5q39'  
你用石英監控當然不一定會那麼準阿?那也不會說誤差到找不到 +rka5ts  
s=<65  
另外你石英監控的頻率是多少?新的大概6MHZ QGnUPiD
^  
9{-H/YS\_s  
再來 ,be$~7qS  
Gf-GDy\{  
你的材料是什麼?介電質材料?金屬? L$@qEsO  
^g"%:4zO  
有吸收的材料你用MACLEOD是算不準的 GGsAisF"N  
P6`LUyz3  
說到這邊其實還是要確定你的手法 vJ>o9:(6  
,2mq}u>WU  
例如:你基板是套入你量的穿透嗎? 1
;Uc-<  
/#[mV(k  
你可能連基板都不對咧!! UTO$L|K  
b.cBg.a  
去確認一下吧! 有問題再提出