[讨论]材料N值和K值 [复制链接]

求各位大神指点迷津 E^ h=!RW{  
cm>E[SHr  
怎么才可以获取正确的材料N值和K值 zjX7C~h^Q  
1@sM1WMX  
我现在的方法是镀一个5k的膜，然后先测裸片监控片的反射率，再测镀膜后的监控片反射率，导入到MAC里去算N和K，但是把材料回推回去看光谱还是和实测的光谱不一样，这里面的原因是啥？ +zOOdSFk.  
w5~i^x  
我的想法是机台镀膜随着时间的推移每一层的膜N和K都不一样。 ? S=W&  
D>T],3U(H  
前题是我是用晶控去控制，不是光控。

我夜想知道！

同求！！！！！

我是用穿透量測(吸收考量) bejGfc  
鍍5Q膜厚 t3F?>G#y  
先以macleod求出基板N與K V2`;4dX*2  
再求出藥材N與K I"Q<n[g0'  

同求TFC计算  Tooling值的方法  

这个 可以探讨,特别误差在金属上面例如TI等,误差很大,真实的n和k导出来!我觉得主要根电子枪关系大,

5k?unit是什麼?5000nm? N9*UMVU  
q%.bnF/Yd  
你設定厚度與實際厚度的誤差是多少? 8nu> gA  
5&%fkZ0  
你用石英監控當然不一定會那麼準阿?那也不會說誤差到找不到 sX~45u \  
s"rg_FoL  
另外你石英監控的頻率是多少?新的大概6MHZ z@`@I  
62NkU)u  
再來 Qdm(q:w  
<,-,?  
你的材料是什麼?介電質材料?金屬? u9@
b<  
GiqBzV3"  
有吸收的材料你用MACLEOD是算不準的 )8]3kQffJ=  
UC#"=Xd4  
說到這邊其實還是要確定你的手法 #XL`S  
8q*";>*  
例如:你基板是套入你量的穿透嗎? dk4D+*R  
K Dz]wNf  
你可能連基板都不對咧!! D?J#u;h~f  
!3?~#e{_  
去確認一下吧! 有問題再提出