[讨论]材料N值和K值 [复制链接]

求各位大神指点迷津 j>
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8LR_K]\  
怎么才可以获取正确的材料N值和K值 g%RL9-z  
a8Ci 7<V  
我现在的方法是镀一个5k的膜，然后先测裸片监控片的反射率，再测镀膜后的监控片反射率，导入到MAC里去算N和K，但是把材料回推回去看光谱还是和实测的光谱不一样，这里面的原因是啥？ zy+|)^E  
u4#BD!W  
我的想法是机台镀膜随着时间的推移每一层的膜N和K都不一样。 Z4E:Z}~''  
LA"`8  
前题是我是用晶控去控制，不是光控。

我夜想知道！

同求！！！！！

我是用穿透量測(吸收考量) N<Ti]G  
鍍5Q膜厚 h"]v+u`!SM  
先以macleod求出基板N與K V0ulIKck  
再求出藥材N與K f}eZX  

同求TFC计算  Tooling值的方法  

这个 可以探讨,特别误差在金属上面例如TI等,误差很大,真实的n和k导出来!我觉得主要根电子枪关系大,

5k?unit是什麼?5000nm? :}o0Eb  
rsOon2|  
你設定厚度與實際厚度的誤差是多少? u23^* -  
1LT)%_d@  
你用石英監控當然不一定會那麼準阿?那也不會說誤差到找不到 K?(ls$  
k]ptk^  
另外你石英監控的頻率是多少?新的大概6MHZ L8/o9N1  
Pm%ZzU  
再來 ZTMzL%i  
P_,f  
你的材料是什麼?介電質材料?金屬? HiILJyb  
W^60
BZ  
有吸收的材料你用MACLEOD是算不準的 o/2\8   
eIg ' !8h?  
說到這邊其實還是要確定你的手法 9k&lq$  
Xr6lYO_R  
例如:你基板是套入你量的穿透嗎? 3yZtyXRPn  
Y}(v[QGV  
你可能連基板都不對咧!! p_!Y:\a5  
z,I7 PY& G  
去確認一下吧! 有問題再提出