[讨论]材料N值和K值 [复制链接]

求各位大神指点迷津 4l!@=qwn  

0{[m%eSK'  
怎么才可以获取正确的材料N值和K值 ,*&G1|_6  
|,#t^'S!  
我现在的方法是镀一个5k的膜，然后先测裸片监控片的反射率，再测镀膜后的监控片反射率，导入到MAC里去算N和K，但是把材料回推回去看光谱还是和实测的光谱不一样，这里面的原因是啥？ ddfs8\  
masT>vM  
我的想法是机台镀膜随着时间的推移每一层的膜N和K都不一样。 /;7y{(o  
e1>aTu@  
前题是我是用晶控去控制，不是光控。

我夜想知道！

同求！！！！！

我是用穿透量測(吸收考量) /wxE1][.  
鍍5Q膜厚 (faK+z,*6R  
先以macleod求出基板N與K rUlS'L;$"  
再求出藥材N與K ui"3ak+F  

同求TFC计算  Tooling值的方法  

这个 可以探讨,特别误差在金属上面例如TI等,误差很大,真实的n和k导出来!我觉得主要根电子枪关系大,

5k?unit是什麼?5000nm? 3Wcy)y>2Ap  
>r)X:K+I  
你設定厚度與實際厚度的誤差是多少? <w>/^|]#  
1/ZR*fa  
你用石英監控當然不一定會那麼準阿?那也不會說誤差到找不到 #fs|BV !  
o5Y2vmz?9  
另外你石英監控的頻率是多少?新的大概6MHZ 6al=Cwf  
aV`&L,Q)7E  
再來 /u`3VOn  
>p])it[q&$  
你的材料是什麼?介電質材料?金屬? ?$z.K>S5  
$P: O/O=>  
有吸收的材料你用MACLEOD是算不準的 'R9g7,53R  
"PH6e bm  
說到這邊其實還是要確定你的手法 ~%ozgzr^  
~vgA7E/XV  
例如:你基板是套入你量的穿透嗎? !umEyd@ "  
0_yP
\m  
你可能連基板都不對咧!! PfG`C5 d  
}:z5t,u6  
去確認一下吧! 有問題再提出