[讨论]材料N值和K值 [复制链接]

求各位大神指点迷津 IkSzjXE{  
Riq5Au?*)  
怎么才可以获取正确的材料N值和K值 877>=Tp|  
-v9V/LJ  
我现在的方法是镀一个5k的膜，然后先测裸片监控片的反射率，再测镀膜后的监控片反射率，导入到MAC里去算N和K，但是把材料回推回去看光谱还是和实测的光谱不一样，这里面的原因是啥？ '|e5cW6z  
&Jj^)GBU  
我的想法是机台镀膜随着时间的推移每一层的膜N和K都不一样。 x C'>W"pY  
{Ex0mw)T  
前题是我是用晶控去控制，不是光控。

5k?unit是什麼?5000nm? (jCE&'?}  
uH]n/Kv1,  
你設定厚度與實際厚度的誤差是多少? +MOUO$;fGt  
9dw02bY`  
你用石英監控當然不一定會那麼準阿?那也不會說誤差到找不到 #]I:}Q51  
6
^['g-\2  
另外你石英監控的頻率是多少?新的大概6MHZ dL")E|\\k  
Dw{C_e  
再來 Hux#v>e  
cGC&O%`i,\  
你的材料是什麼?介電質材料?金屬? u=#!je
 
XH)MBr@Fz  
有吸收的材料你用MACLEOD是算不準的 A]BD2   
2:i`,  
說到這邊其實還是要確定你的手法 FFtj5e  
xYRL4  
例如:你基板是套入你量的穿透嗎? xJ%b<y{@  
\VPU)  
你可能連基板都不對咧!! g{l;v  
dW!T.S
 
去確認一下吧! 有問題再提出

这个 可以探讨,特别误差在金属上面例如TI等,误差很大,真实的n和k导出来!我觉得主要根电子枪关系大,

同求TFC计算  Tooling值的方法  

我是用穿透量測(吸收考量) y| @[?B  
鍍5Q膜厚 GRO[&;d`  
先以macleod求出基板N與K 6!Ji-'\"  
再求出藥材N與K '!{zO" 1*  

同求！！！！！

我夜想知道！