[讨论]材料N值和K值 [复制链接]

求各位大神指点迷津 AsO)BeUD  
M,sZ8eeq  
怎么才可以获取正确的材料N值和K值 =|V[^#V  
PwC^ ]e  
我现在的方法是镀一个5k的膜，然后先测裸片监控片的反射率，再测镀膜后的监控片反射率，导入到MAC里去算N和K，但是把材料回推回去看光谱还是和实测的光谱不一样，这里面的原因是啥？ Y/]J0D  
1 EwCF  
我的想法是机台镀膜随着时间的推移每一层的膜N和K都不一样。 Z+agS8e(  
g:2\S=  
前题是我是用晶控去控制，不是光控。

5k?unit是什麼?5000nm? Rf TG 5E)  
MZS/o3  
你設定厚度與實際厚度的誤差是多少? N{?Qkkgx  
TlpQ9T  
你用石英監控當然不一定會那麼準阿?那也不會說誤差到找不到 b|u,[jEB  
zTg&W7oz  
另外你石英監控的頻率是多少?新的大概6MHZ J=B,$4)9  
'Ooq.jaK;/  
再來 \ mg  
15ImwQ  
你的材料是什麼?介電質材料?金屬?  \z?-  
@T)>akEOt  
有吸收的材料你用MACLEOD是算不準的 Qk8YR5K   
Bi|-KS.9  
說到這邊其實還是要確定你的手法 85ND 3F6q4  
{}tv(8]^  
例如:你基板是套入你量的穿透嗎? 3$PGLM  
7%yP5c
B  
你可能連基板都不對咧!! |3=tF"h  
k!{h]D0  
去確認一下吧! 有問題再提出

这个 可以探讨,特别误差在金属上面例如TI等,误差很大,真实的n和k导出来!我觉得主要根电子枪关系大,

同求TFC计算  Tooling值的方法  

我是用穿透量測(吸收考量) dwmZ_m.  
鍍5Q膜厚 5db9C}0  
先以macleod求出基板N與K !f*t9 I9Q  
再求出藥材N與K i`EG80\[Z  

同求！！！！！

我夜想知道！