[讨论]材料N值和K值 [复制链接]

求各位大神指点迷津 1M1
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OyI?P_0u  
怎么才可以获取正确的材料N值和K值 "_LDs(&  
 H7`JqS  
我现在的方法是镀一个5k的膜，然后先测裸片监控片的反射率，再测镀膜后的监控片反射率，导入到MAC里去算N和K，但是把材料回推回去看光谱还是和实测的光谱不一样，这里面的原因是啥？ 6MCLm.L  
s$%t*T2J>  
我的想法是机台镀膜随着时间的推移每一层的膜N和K都不一样。 :G.u{cw  
NCrNlHIF  
前题是我是用晶控去控制，不是光控。

5k?unit是什麼?5000nm? gGaA;YW1  
}3825  
你設定厚度與實際厚度的誤差是多少? c)*,">$#  
`EXo=Dqc  
你用石英監控當然不一定會那麼準阿?那也不會說誤差到找不到 w3n6md  
?|i C-7{8L  
另外你石英監控的頻率是多少?新的大概6MHZ 5dvP~sw  
RJ\'"XQ  
再來 ?[Sac]h ys  
{yzo#"4Oy  
你的材料是什麼?介電質材料?金屬?  ff;9P5X  
B*OEG*t  
有吸收的材料你用MACLEOD是算不準的 {4F=].!
 
[QwBSq8)  
說到這邊其實還是要確定你的手法 Exb?eHO  
rSgOQ  
例如:你基板是套入你量的穿透嗎? ;s$,}O.  
/f*QxNZ,p  
你可能連基板都不對咧!! ;aj4V<@  
#Dz. 58A  
去確認一下吧! 有問題再提出

这个 可以探讨,特别误差在金属上面例如TI等,误差很大,真实的n和k导出来!我觉得主要根电子枪关系大,

同求TFC计算  Tooling值的方法  

我是用穿透量測(吸收考量) c }7gHud  
鍍5Q膜厚 /tG[pg{[  
先以macleod求出基板N與K {00Qg{;K|  
再求出藥材N與K >c@jl  

同求！！！！！

我夜想知道！