[讨论]材料N值和K值 [复制链接]

求各位大神指点迷津 s /?&H-  
ikSm;.  
怎么才可以获取正确的材料N值和K值 eTV%+  
{APsi7HYBr  
我现在的方法是镀一个5k的膜，然后先测裸片监控片的反射率，再测镀膜后的监控片反射率，导入到MAC里去算N和K，但是把材料回推回去看光谱还是和实测的光谱不一样，这里面的原因是啥？ $SP*hkU  
%/86}DCfE?  
我的想法是机台镀膜随着时间的推移每一层的膜N和K都不一样。 t:|+U:! >  
fCA/  
前题是我是用晶控去控制，不是光控。

5k?unit是什麼?5000nm? M>mk=-l  
b9ON[qOMN  
你設定厚度與實際厚度的誤差是多少? 8-N8v *0  
uc%
&g  
你用石英監控當然不一定會那麼準阿?那也不會說誤差到找不到 CvCk#:@HM  
*cdr,AD?lH  
另外你石英監控的頻率是多少?新的大概6MHZ mulK(mp  
:qV}v2  
再來 @quNVx(y  
FtUOgL)|  
你的材料是什麼?介電質材料?金屬? hcw
)qB,s  
05(lh<C  
有吸收的材料你用MACLEOD是算不準的 &^ sgR$m  
U _~lpu  
說到這邊其實還是要確定你的手法 `<Z5/;a5W  
Bi"7FF(z  
例如:你基板是套入你量的穿透嗎? G>?hojvi  
f-9&n4=H  
你可能連基板都不對咧!! D6iHkD
Tg  
"_qH+=_R  
去確認一下吧! 有問題再提出

这个 可以探讨,特别误差在金属上面例如TI等,误差很大,真实的n和k导出来!我觉得主要根电子枪关系大,

同求TFC计算  Tooling值的方法  

我是用穿透量測(吸收考量) 0 ;$[  
鍍5Q膜厚 &g R+D  
先以macleod求出基板N與K 4l+"J:,  
再求出藥材N與K q3\ YL?  

同求！！！！！

我夜想知道！