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    [讨论]材料N值和K值 [复制链接]

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    离线oprs999
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2018-02-23
    求各位大神指点迷津 6D/uo$1Y  
    <(fdHQD!7>  
    怎么才可以获取正确的材料N值和K值 J"diFz+20  
    Ba/RO36&c  
    我现在的方法是镀一个5k的膜,然后先测裸片监控片的反射率,再测镀膜后的监控片反射率,导入到MAC里去算N和K,但是把材料回推回去看光谱还是和实测的光谱不一样,这里面的原因是啥? HwB {8S?sm  
    t:\l&R&  
    我的想法是机台镀膜随着时间的推移每一层的膜N和K都不一样。 rVUUH!  
    9z #P  
    前题是我是用晶控去控制,不是光控。
     
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    离线johnyu
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    只看该作者 6楼 发表于: 2018-08-13
    5k?unit是什麼?5000nm? nt=x]wEC  
    {{32jU7<  
    你設定厚度與實際厚度的誤差是多少? Q8;#_HE  
    gc##V]OD  
    你用石英監控當然不一定會那麼準阿?那也不會說誤差到找不到 ZI,j?i6\  
    tmp6hB  
    另外你石英監控的頻率是多少?新的大概6MHZ Z(p*Z,?u  
    b\:~;  
    再來 cQX:%Ix=  
    :V-k'hm &  
    你的材料是什麼?介電質材料?金屬? W@^J6sH  
    S`=n&'  
    有吸收的材料你用MACLEOD是算不準的 'f*O#&?  
    |k6Ox*  
    說到這邊其實還是要確定你的手法 rIVvO  
    6a*83G,k  
    例如:你基板是套入你量的穿透嗎? H8&p<=  
    \QGa 4_#  
    你可能連基板都不對咧!! wZ jlHe  
    #1[z;Mk0  
    去確認一下吧! 有問題再提出
    离线knight627
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    只看该作者 5楼 发表于: 2018-08-06
    这个 可以探讨,特别误差在金属上面例如TI等,误差很大,真实的n和k导出来!我觉得主要根电子枪关系大,
    离线js2700
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    只看该作者 4楼 发表于: 2018-06-14
    同求TFC计算  Tooling值的方法  
    离线ruby6843
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    只看该作者 3楼 发表于: 2018-05-27
    我是用穿透量測(吸收考量) ^"x<)@X  
    鍍5Q膜厚 N*_"8LIfi_  
    先以macleod求出基板N與K Jf_%<\ O  
    再求出藥材N與K Nqc p1J"  
    离线huangweipeng
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    只看该作者 2楼 发表于: 2018-05-16
    同求!!!!!
    离线洋洋0109
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    只看该作者 1楼 发表于: 2018-05-11
    我夜想知道!