[讨论]材料N值和K值 [复制链接]

求各位大神指点迷津 Og9:MFI  
vQ1#Zgy  
怎么才可以获取正确的材料N值和K值 [D<"qT^*z6  
YG#.L}X@C  
我现在的方法是镀一个5k的膜，然后先测裸片监控片的反射率，再测镀膜后的监控片反射率，导入到MAC里去算N和K，但是把材料回推回去看光谱还是和实测的光谱不一样，这里面的原因是啥？ :Wd@Qy?;  
G q2@37
U  
我的想法是机台镀膜随着时间的推移每一层的膜N和K都不一样。 NrWgaPO)i  
{*AYhZ  
前题是我是用晶控去控制，不是光控。

5k?unit是什麼?5000nm? DW0N}>Gp*  
5  =Op%  
你設定厚度與實際厚度的誤差是多少? ]jgMN7  
ZXC_kmBN/  
你用石英監控當然不一定會那麼準阿?那也不會說誤差到找不到 f yhBfA:u  
%ZM"c  
另外你石英監控的頻率是多少?新的大概6MHZ 57[tUO  
fRomP-S  
再來 aXh~w<5F  
W=\4
5BJ  
你的材料是什麼?介電質材料?金屬? rBZ0Fx$/[  
^"] ]rZ)  
有吸收的材料你用MACLEOD是算不準的 e3,@prr  
?ZP@H _w6}  
說到這邊其實還是要確定你的手法 UT_kw}1o  
;.Y-e Q,  
例如:你基板是套入你量的穿透嗎? Nj=0bg"Qg5  
t 09-y  
你可能連基板都不對咧!! ([dJ'OPx$  
gubw&W  
去確認一下吧! 有問題再提出

这个 可以探讨,特别误差在金属上面例如TI等,误差很大,真实的n和k导出来!我觉得主要根电子枪关系大,

同求TFC计算  Tooling值的方法  

我是用穿透量測(吸收考量) OZ/"W)  
鍍5Q膜厚 bnN&E?{hF1  
先以macleod求出基板N與K BwAmNW&i  
再求出藥材N與K qB+OxyT&  

同求！！！！！

我夜想知道！