[讨论]材料N值和K值 [复制链接]

求各位大神指点迷津 ?#G$=4;i  
KhR81\  
怎么才可以获取正确的材料N值和K值 ;u ({\K
 
k/_ 59@)  
我现在的方法是镀一个5k的膜，然后先测裸片监控片的反射率，再测镀膜后的监控片反射率，导入到MAC里去算N和K，但是把材料回推回去看光谱还是和实测的光谱不一样，这里面的原因是啥？ zV37$Hb  
;%9|kU  
我的想法是机台镀膜随着时间的推移每一层的膜N和K都不一样。 9wUkh}s  
"Qc7dRmSxm  
前题是我是用晶控去控制，不是光控。

5k?unit是什麼?5000nm? c ( C%Hld  
'@KEi%-^>  
你設定厚度與實際厚度的誤差是多少? '[:D$q;  
u'DRN,h+  
你用石英監控當然不一定會那麼準阿?那也不會說誤差到找不到 0RLg:SV  
}B+C~@j  
另外你石英監控的頻率是多少?新的大概6MHZ lvz7#f L~  
8qTys8  
再來 %s|Ely)  
\'D0'\:vz  
你的材料是什麼?介電質材料?金屬? 5L%'@`mX  
n
M*%o-  
有吸收的材料你用MACLEOD是算不準的 =s2*H8]  
>*_$]E  
說到這邊其實還是要確定你的手法 K7:)nv E  
a~}OZ&PG  
例如:你基板是套入你量的穿透嗎? E,U+o $  
AJ`h9%B  
你可能連基板都不對咧!! 5x4yyb'  
E A1?)|}n  
去確認一下吧! 有問題再提出

这个 可以探讨,特别误差在金属上面例如TI等,误差很大,真实的n和k导出来!我觉得主要根电子枪关系大,

同求TFC计算  Tooling值的方法  

我是用穿透量測(吸收考量) `kXs;T6&  
鍍5Q膜厚 \?k'4rH  
先以macleod求出基板N與K :{l_FY436  
再求出藥材N與K z,p~z*4  

同求！！！！！

我夜想知道！