[讨论]材料N值和K值 [复制链接]

求各位大神指点迷津 -fA=&$V  
}[JB%  
怎么才可以获取正确的材料N值和K值 R
Q8d1US  
.yy*[56X  
我现在的方法是镀一个5k的膜，然后先测裸片监控片的反射率，再测镀膜后的监控片反射率，导入到MAC里去算N和K，但是把材料回推回去看光谱还是和实测的光谱不一样，这里面的原因是啥？ g]vB\5uA:  
n/1
t UF  
我的想法是机台镀膜随着时间的推移每一层的膜N和K都不一样。 BC.3U.  
~@c<5 -`{  
前题是我是用晶控去控制，不是光控。

我夜想知道！

同求！！！！！

我是用穿透量測(吸收考量) V_~lM
E  
鍍5Q膜厚 GLO3v. n;  
先以macleod求出基板N與K %htI!b+"@  
再求出藥材N與K ~4~r  

同求TFC计算  Tooling值的方法  

这个 可以探讨,特别误差在金属上面例如TI等,误差很大,真实的n和k导出来!我觉得主要根电子枪关系大,

5k?unit是什麼?5000nm? ;j1 SSHZ  
I^A>YJW  
你設定厚度與實際厚度的誤差是多少? .Qrpz^wdt  
]|!|3lQ  
你用石英監控當然不一定會那麼準阿?那也不會說誤差到找不到 TXi|  
-& (iU
#W  
另外你石英監控的頻率是多少?新的大概6MHZ %/I:r7UR{  
i FZGfar?  
再來 LA;f,CQ  
7_oUuNw  
你的材料是什麼?介電質材料?金屬? )dfhy
 
Kuh3.1#o  
有吸收的材料你用MACLEOD是算不準的 ZX&e,X~V  
f@;pN=PS  
說到這邊其實還是要確定你的手法 A<
|9</9z  
_<f%== I'  
例如:你基板是套入你量的穿透嗎? Ph P)|P  
:N<Qk  
你可能連基板都不對咧!! ~v(c9I)  
05H:ZrUV  
去確認一下吧! 有問題再提出