[讨论]材料N值和K值 [复制链接]

求各位大神指点迷津 teET nz_L  
!x&/M*nBE  
怎么才可以获取正确的材料N值和K值
pWeKN`  
IY+P Yad  
我现在的方法是镀一个5k的膜，然后先测裸片监控片的反射率，再测镀膜后的监控片反射率，导入到MAC里去算N和K，但是把材料回推回去看光谱还是和实测的光谱不一样，这里面的原因是啥？ qL]!/}  
/SjA;c!.  
我的想法是机台镀膜随着时间的推移每一层的膜N和K都不一样。 }+,;wj~  
qA5tMZ^w  
前题是我是用晶控去控制，不是光控。

我夜想知道！

同求！！！！！

我是用穿透量測(吸收考量) 2h%/exeS;  
鍍5Q膜厚 `$Z:j;F  
先以macleod求出基板N與K !g'kWE[  
再求出藥材N與K //xK v{3fI  

同求TFC计算  Tooling值的方法  

这个 可以探讨,特别误差在金属上面例如TI等,误差很大,真实的n和k导出来!我觉得主要根电子枪关系大,

5k?unit是什麼?5000nm? _@2}zT  
{G.W?  
你設定厚度與實際厚度的誤差是多少? S1$lNB  
Rxb?SBa  
你用石英監控當然不一定會那麼準阿?那也不會說誤差到找不到 GBeWF-`B  
,=>W
s:j  
另外你石英監控的頻率是多少?新的大概6MHZ O2{~Q{p  
L)(JaZyV5  
再來 hQ7-m.UZw  
.,h>2;f  
你的材料是什麼?介電質材料?金屬? p+7G  

 R.x^
  
有吸收的材料你用MACLEOD是算不準的 UlP2VKM1&  
00SYNG!  
說到這邊其實還是要確定你的手法 ^#( B4l!  
8FT]B/^&m  
例如:你基板是套入你量的穿透嗎?  A:b(@'h  
c~``)N  
你可能連基板都不對咧!! I-Q@
v`  
}_mVXjF  
去確認一下吧! 有問題再提出