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    [讨论]材料N值和K值 [复制链接]

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    离线oprs999
    实习生
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2018-02-23
    求各位大神指点迷津 4DWwbO  
    *4Fr&^M\  
    怎么才可以获取正确的材料N值和K值 Cr/`keR  
    DC+wD Bp;  
    我现在的方法是镀一个5k的膜，然后先测裸片监控片的反射率，再测镀膜后的监控片反射率，导入到MAC里去算N和K，但是把材料回推回去看光谱还是和实测的光谱不一样，这里面的原因是啥？ iTo k[uJ}  
    G\gMC <3  
    我的想法是机台镀膜随着时间的推移每一层的膜N和K都不一样。 gY AF'?  
    ~i;fDQ&!  
    前题是我是用晶控去控制，不是光控。
     
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    离线洋洋0109
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    只看该作者 1楼 发表于: 2018-05-11
    我夜想知道！
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    离线huangweipeng
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    只看该作者 2楼 发表于: 2018-05-16
    同求！！！！！
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    离线ruby6843
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    只看该作者 3楼 发表于: 2018-05-27
    我是用穿透量測(吸收考量) ITuq/qts]A  
    鍍5Q膜厚 donw(_=  
    先以macleod求出基板N與K TB6m0qX(  
    再求出藥材N與K X*oMFQgP  
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    离线js2700
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    只看该作者 4楼 发表于: 2018-06-14
    同求TFC计算  Tooling值的方法  
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    离线knight627
    技术员
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    只看该作者 5楼 发表于: 2018-08-06
    这个 可以探讨,特别误差在金属上面例如TI等,误差很大,真实的n和k导出来!我觉得主要根电子枪关系大,
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    离线johnyu
    技术员
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    只看该作者 6楼 发表于: 2018-08-13
    5k?unit是什麼?5000nm? vy@rQC %9  
    R/b4NGW@  
    你設定厚度與實際厚度的誤差是多少? P%pp )BS  
    W\*-xf|"d  
    你用石英監控當然不一定會那麼準阿?那也不會說誤差到找不到 ig"uXs  
    [K~]&  
    另外你石英監控的頻率是多少?新的大概6MHZ d?idTcgs  
    1nj(h g  
    再來 >v;8~pgO  
    f}%D"gz  
    你的材料是什麼?介電質材料?金屬? Sywu=b  
    >PKBo  
    有吸收的材料你用MACLEOD是算不準的 &Jc_Fc(M  
    wy1X\PJjH  
    說到這邊其實還是要確定你的手法 X##1! ad  
    >/f_F6ay#  
    例如:你基板是套入你量的穿透嗎? +WJ(QZEhD  
    oj.A,Fh  
    你可能連基板都不對咧!! e`tLR- &  
    Ha>*?`?yI  
    去確認一下吧! 有問題再提出
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