[讨论]材料N值和K值 [复制链接]

求各位大神指点迷津 ST*\Q  
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怎么才可以获取正确的材料N值和K值 X/8CvY#n  
7tEkQZMDI  
我现在的方法是镀一个5k的膜，然后先测裸片监控片的反射率，再测镀膜后的监控片反射率，导入到MAC里去算N和K，但是把材料回推回去看光谱还是和实测的光谱不一样，这里面的原因是啥？ -F+ )N$CW  
.w .`1 g  
我的想法是机台镀膜随着时间的推移每一层的膜N和K都不一样。 L T.u<ThR}  
bu j}pEI  
前题是我是用晶控去控制，不是光控。

我夜想知道！

同求！！！！！

我是用穿透量測(吸收考量) b%TS37`^[  
鍍5Q膜厚 'pa>;{  
先以macleod求出基板N與K 3>+9Rru  
再求出藥材N與K vZ rE9C }  

同求TFC计算  Tooling值的方法  

这个 可以探讨,特别误差在金属上面例如TI等,误差很大,真实的n和k导出来!我觉得主要根电子枪关系大,

5k?unit是什麼?5000nm? `.Oj^H6  
3!&PI  
你設定厚度與實際厚度的誤差是多少? d~G, *  
L7gZ4Hu=`  
你用石英監控當然不一定會那麼準阿?那也不會說誤差到找不到 !zu YO3:  
015 ;'V#we  
另外你石英監控的頻率是多少?新的大概6MHZ gJ; *?Uq(  
{pV\]E\]  
再來 pd3=^Zi  
xla64Qld  
你的材料是什麼?介電質材料?金屬? +*O$]Hh  
B"07:sO  
有吸收的材料你用MACLEOD是算不準的 n]15 ~GO.  
*an^ 0  
說到這邊其實還是要確定你的手法 56|o6-a^  
JlM0]__v  
例如:你基板是套入你量的穿透嗎? >q}Ns^ .'  
j,]KidDWm  
你可能連基板都不對咧!! e[Tu.$f-  
%![%wI?  
去確認一下吧! 有問題再提出