[讨论]材料N值和K值 [复制链接]

求各位大神指点迷津 aZCxyoh+  
5D>cbzP@  
怎么才可以获取正确的材料N值和K值 *2Q x69`  
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gjo  
我现在的方法是镀一个5k的膜，然后先测裸片监控片的反射率，再测镀膜后的监控片反射率，导入到MAC里去算N和K，但是把材料回推回去看光谱还是和实测的光谱不一样，这里面的原因是啥？ i~tps   
;V^I>-fnm  
我的想法是机台镀膜随着时间的推移每一层的膜N和K都不一样。 ^?T,>ZI  
\>+BvF  
前题是我是用晶控去控制，不是光控。

我夜想知道！

同求！！！！！

我是用穿透量測(吸收考量) XU$\.g p-  
鍍5Q膜厚 rE\.[mFI  
先以macleod求出基板N與K ;\t(

c  
再求出藥材N與K Dz+R Q`Vn  

同求TFC计算  Tooling值的方法  

这个 可以探讨,特别误差在金属上面例如TI等,误差很大,真实的n和k导出来!我觉得主要根电子枪关系大,

5k?unit是什麼?5000nm? `oo(\O7t=  
RDQK_Ef:  
你設定厚度與實際厚度的誤差是多少? CEp @-R  
z c,Q  
你用石英監控當然不一定會那麼準阿?那也不會說誤差到找不到 OA
tn.LU  
#me'1/z  
另外你石英監控的頻率是多少?新的大概6MHZ W=T,hOyh<W  
qW:\6aEG  
再來 qct:xviH<|  
2:& [r*  
你的材料是什麼?介電質材料?金屬? .(2ui~ed  
h^"OC$  
有吸收的材料你用MACLEOD是算不準的 |#-GH$.v  
=qVD"Z]z  
說到這邊其實還是要確定你的手法 dzZ75  
8?
&u5  
例如:你基板是套入你量的穿透嗎? ?AJE*=b  
Lj03Mx.2S  
你可能連基板都不對咧!! ar|!iU  
;p'Ej'E  
去確認一下吧! 有問題再提出