[讨论]材料N值和K值 [复制链接]

求各位大神指点迷津 0x71%=4H^x  
0'@u!m?  
怎么才可以获取正确的材料N值和K值 VVLIeJ(*XT  
w_3xKnMT\  
我现在的方法是镀一个5k的膜，然后先测裸片监控片的反射率，再测镀膜后的监控片反射率，导入到MAC里去算N和K，但是把材料回推回去看光谱还是和实测的光谱不一样，这里面的原因是啥？ xFwXW)  
?Pnx~m{%*  
我的想法是机台镀膜随着时间的推移每一层的膜N和K都不一样。 D'n7&
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kwF]TO S  
前题是我是用晶控去控制，不是光控。

我夜想知道！

同求！！！！！

我是用穿透量測(吸收考量) R'Eq:Rv~;^  
鍍5Q膜厚 7V'Le2T'  
先以macleod求出基板N與K Aqu]9M~  
再求出藥材N與K phS>T  

同求TFC计算  Tooling值的方法  

这个 可以探讨,特别误差在金属上面例如TI等,误差很大,真实的n和k导出来!我觉得主要根电子枪关系大,

5k?unit是什麼?5000nm? P>fKX2eQ-  
"8?TSm8  
你設定厚度與實際厚度的誤差是多少? h(|;\~  
yYk|YX(7U  
你用石英監控當然不一定會那麼準阿?那也不會說誤差到找不到 ,m:6qdN  
egWx9xX  
另外你石英監控的頻率是多少?新的大概6MHZ ]/[0O+B?  
qS|AdkNL  
再來 KD=bkZ&  
fzyzuS$  
你的材料是什麼?介電質材料?金屬? ]\`w1'*  
|e+aZ%g  
有吸收的材料你用MACLEOD是算不準的 u6pIdt
 
*k4+ioFnKE  
說到這邊其實還是要確定你的手法 Y.X4*B  
/vy?L\`)#  
例如:你基板是套入你量的穿透嗎? 'xk1o,;  
",QPb3  
你可能連基板都不對咧!! d "B5==0I  
T(gg>_'jh  
去確認一下吧! 有問題再提出