[讨论]材料N值和K值 [复制链接]

求各位大神指点迷津 cG~-OHU  
-VlXZj@u+  
怎么才可以获取正确的材料N值和K值 mo- Y %  
kZ3w2=x3v  
我现在的方法是镀一个5k的膜，然后先测裸片监控片的反射率，再测镀膜后的监控片反射率，导入到MAC里去算N和K，但是把材料回推回去看光谱还是和实测的光谱不一样，这里面的原因是啥？ 
^z\*; f  
sHQ82uX  
我的想法是机台镀膜随着时间的推移每一层的膜N和K都不一样。 uWE :3  
MF["-GvP/  
前题是我是用晶控去控制，不是光控。

我夜想知道！

同求！！！！！

我是用穿透量測(吸收考量) (q]_&%yW  
鍍5Q膜厚 XDdF7i}  
先以macleod求出基板N與K +-*Ww5Zti  
再求出藥材N與K zY=eeG+4s  

同求TFC计算  Tooling值的方法  

这个 可以探讨,特别误差在金属上面例如TI等,误差很大,真实的n和k导出来!我觉得主要根电子枪关系大,

5k?unit是什麼?5000nm? n(h9I'V8)F  
h4#y'E!,Z  
你設定厚度與實際厚度的誤差是多少? TKe\Bi  
DEw>f%&4  
你用石英監控當然不一定會那麼準阿?那也不會說誤差到找不到 {Z,_/@}N  
YWFq&II|Z  
另外你石英監控的頻率是多少?新的大概6MHZ ~jR4%VF  
MO>9A,&f  
再來 M '#a.z%  
9?XQB%44  
你的材料是什麼?介電質材料?金屬? SNJSRqWL/  
&.l^>#  
有吸收的材料你用MACLEOD是算不準的 ?:42jp3  
7,lnfCm H  
說到這邊其實還是要確定你的手法 8g0VTY4$jP  
f OasX!=  
例如:你基板是套入你量的穿透嗎? S"4eS,5L|  
dfP4SJqq  
你可能連基板都不對咧!! z?^oy.  
= ;cTm5d;T  
去確認一下吧! 有問題再提出