[讨论]材料N值和K值 [复制链接]

求各位大神指点迷津
J!}R>mR  
>]2^5C;  
怎么才可以获取正确的材料N值和K值 _S CY e  
""h%RhcZ\  
我现在的方法是镀一个5k的膜，然后先测裸片监控片的反射率，再测镀膜后的监控片反射率，导入到MAC里去算N和K，但是把材料回推回去看光谱还是和实测的光谱不一样，这里面的原因是啥？ Zt 1n
H  
|I3&a=,  
我的想法是机台镀膜随着时间的推移每一层的膜N和K都不一样。 ^BP4l_rO9  
!. :b}t  
前题是我是用晶控去控制，不是光控。

我夜想知道！

同求！！！！！

我是用穿透量測(吸收考量) KC54=Rf  
鍍5Q膜厚 OO;I^`Yn  
先以macleod求出基板N與K *k0;R[IAV  
再求出藥材N與K Ex{;&UWm  

同求TFC计算  Tooling值的方法  

这个 可以探讨,特别误差在金属上面例如TI等,误差很大,真实的n和k导出来!我觉得主要根电子枪关系大,

5k?unit是什麼?5000nm? QB7^8O!<  
WQHlf0]  
你設定厚度與實際厚度的誤差是多少? 9RY}m7
 
Y>K3.*.  
你用石英監控當然不一定會那麼準阿?那也不會說誤差到找不到 (M%ZSF V  
J(`(PYo\i  
另外你石英監控的頻率是多少?新的大概6MHZ gR k+KGKn<  
58Z,(4:E  
再來 ]$A6krfh|  
M_\)<a(8  
你的材料是什麼?介電質材料?金屬? `R:HMO[ow  
1@Rl^ey  
有吸收的材料你用MACLEOD是算不準的 !^w}Sp  
It8@Cp.dU  
說到這邊其實還是要確定你的手法 AHTQF#U^  
/^Zgv-n  
例如:你基板是套入你量的穿透嗎? \05 n$.  
9K#U<Q0b'  
你可能連基板都不對咧!! vrXNa8,L  
lLuAgds`  
去確認一下吧! 有問題再提出