[讨论]材料N值和K值 [复制链接]

求各位大神指点迷津 v$D U q+  
sQJGwZ7  
怎么才可以获取正确的材料N值和K值 "%)g^Atp>  
fZj,Q#}D  
我现在的方法是镀一个5k的膜，然后先测裸片监控片的反射率，再测镀膜后的监控片反射率，导入到MAC里去算N和K，但是把材料回推回去看光谱还是和实测的光谱不一样，这里面的原因是啥？ JEk'2Htx  
ZSs@9ej  
我的想法是机台镀膜随着时间的推移每一层的膜N和K都不一样。 @TQ/Z$y  
qY$ [2]  
前题是我是用晶控去控制，不是光控。

我夜想知道！

同求！！！！！

我是用穿透量測(吸收考量)  =aZ d>{Y  
鍍5Q膜厚 B=r DU$z  
先以macleod求出基板N與K HWsV_VAw}  
再求出藥材N與K Ga5*tWj  

同求TFC计算  Tooling值的方法  

这个 可以探讨,特别误差在金属上面例如TI等,误差很大,真实的n和k导出来!我觉得主要根电子枪关系大,

5k?unit是什麼?5000nm? 2L~Vr4eHG  
A7Ql%$v7^  
你設定厚度與實際厚度的誤差是多少? qU!dg  
|CDM(g
>%  
你用石英監控當然不一定會那麼準阿?那也不會說誤差到找不到 6}TunR  
%NrH\v{7Q  
另外你石英監控的頻率是多少?新的大概6MHZ \R<MQ# x  
IQPu%n{0v  
再來 ,Q-,#C"  
BA c+T
 
你的材料是什麼?介電質材料?金屬? /P*XB%y  
ChTq!W  
有吸收的材料你用MACLEOD是算不準的 wHj1+W  
}QCnN2bV  
說到這邊其實還是要確定你的手法 _
d@YLd78P  
^YLC{V  
例如:你基板是套入你量的穿透嗎? >K9Ia4I,  
zWC| Qe  
你可能連基板都不對咧!! 8OZj24*'DS  
$Q/@5f'T`9  
去確認一下吧! 有問題再提出