[讨论]材料N值和K值 [复制链接]

求各位大神指点迷津  `]X
>V,  
HhpDR  
怎么才可以获取正确的材料N值和K值 / +\9S  
8RX&k  
我现在的方法是镀一个5k的膜，然后先测裸片监控片的反射率，再测镀膜后的监控片反射率，导入到MAC里去算N和K，但是把材料回推回去看光谱还是和实测的光谱不一样，这里面的原因是啥？ pGZ8F  
xUvs:  
我的想法是机台镀膜随着时间的推移每一层的膜N和K都不一样。 "#]$r  
!?XC1
xe~R  
前题是我是用晶控去控制，不是光控。

我夜想知道！

同求！！！！！

我是用穿透量測(吸收考量) ?5p>BER?  
鍍5Q膜厚 LLI.8kn7  
先以macleod求出基板N與K LscGTs,  
再求出藥材N與K S@Y39  

同求TFC计算  Tooling值的方法  

这个 可以探讨,特别误差在金属上面例如TI等,误差很大,真实的n和k导出来!我觉得主要根电子枪关系大,

5k?unit是什麼?5000nm? s~>}a  
S/ *E,))m  
你設定厚度與實際厚度的誤差是多少? n<,BmVQ  
&m3lXl  
你用石英監控當然不一定會那麼準阿?那也不會說誤差到找不到 t
1".0  
NbobliC=  
另外你石英監控的頻率是多少?新的大概6MHZ "%_+-C<L4  
3Vwh|1?  
再來 !i50QA|(G  
\+etCo   
你的材料是什麼?介電質材料?金屬? PCvWS.{  
?[AD=rUC  
有吸收的材料你用MACLEOD是算不準的 #spCtZE  
SBpL6~NW  
說到這邊其實還是要確定你的手法 sK{e*[I>W  
\m,PA'nd/  
例如:你基板是套入你量的穿透嗎? 0[`^\Mv4y  
_#niyW+?~  
你可能連基板都不對咧!! !VJoM,b8  
*|0 -~u%q  
去確認一下吧! 有問題再提出