[讨论]材料N值和K值 [复制链接]

求各位大神指点迷津 >Yv#t.!  
?6I`$ &OA  
怎么才可以获取正确的材料N值和K值 o$*DFvk  
Yx ;j  
我现在的方法是镀一个5k的膜，然后先测裸片监控片的反射率，再测镀膜后的监控片反射率，导入到MAC里去算N和K，但是把材料回推回去看光谱还是和实测的光谱不一样，这里面的原因是啥？ ,pkzNe`F  
@e7_&EGR?  
我的想法是机台镀膜随着时间的推移每一层的膜N和K都不一样。 R\$6_  
HJ!)&xT  
前题是我是用晶控去控制，不是光控。

我夜想知道！

同求！！！！！

我是用穿透量測(吸收考量) EkN>5).  
鍍5Q膜厚 VC!g,LU|-  
先以macleod求出基板N與K R
Zj06|r8  
再求出藥材N與K b|`  

同求TFC计算  Tooling值的方法  

这个 可以探讨,特别误差在金属上面例如TI等,误差很大,真实的n和k导出来!我觉得主要根电子枪关系大,

5k?unit是什麼?5000nm? Xc]Q_70O  
9M-/{D^+<  
你設定厚度與實際厚度的誤差是多少? _]=, U.a=/  
. J*2J(T,  
你用石英監控當然不一定會那麼準阿?那也不會說誤差到找不到 ~


9+\  
'MIM_m)H  
另外你石英監控的頻率是多少?新的大概6MHZ !^A t{[U  
rYr.mX  
再來 /ec~^S8X  
g/soop\:  
你的材料是什麼?介電質材料?金屬? p&;,$KDA  
' 9  
有吸收的材料你用MACLEOD是算不準的 90)rOD1B  
GD .>u  
說到這邊其實還是要確定你的手法 H=9\B}  
aw/5#(1R  
例如:你基板是套入你量的穿透嗎? J)Td'iT(  
V?cUQghHg  
你可能連基板都不對咧!! jl4rEzVu  
R0mWVgoz  
去確認一下吧! 有問題再提出