[讨论]材料N值和K值 [复制链接]

求各位大神指点迷津 u"q
VT9C$=  
)=Z;H"_  
怎么才可以获取正确的材料N值和K值 S#M8}+ZD,  
F~6]I
I  
我现在的方法是镀一个5k的膜，然后先测裸片监控片的反射率，再测镀膜后的监控片反射率，导入到MAC里去算N和K，但是把材料回推回去看光谱还是和实测的光谱不一样，这里面的原因是啥？ @
\&j3A  
<Ja&z M  
我的想法是机台镀膜随着时间的推移每一层的膜N和K都不一样。 h}@wPP{  
? #rXc%F  
前题是我是用晶控去控制，不是光控。

我夜想知道！

同求！！！！！

我是用穿透量測(吸收考量) i$] :Y`3h  
鍍5Q膜厚 )L9eLxI  
先以macleod求出基板N與K + -Rf@  
再求出藥材N與K {nmu(EP  

同求TFC计算  Tooling值的方法  

这个 可以探讨,特别误差在金属上面例如TI等,误差很大,真实的n和k导出来!我觉得主要根电子枪关系大,

5k?unit是什麼?5000nm? 8US35t:M  
FMCA~N  
你設定厚度與實際厚度的誤差是多少? huv|l6  
D>jtz2y=D  
你用石英監控當然不一定會那麼準阿?那也不會說誤差到找不到 2#$7!`6K  
,2!7iX  
另外你石英監控的頻率是多少?新的大概6MHZ z#RwgSPw6  
t'Yd+FK
  
再來 c),UO^EqV  
8-+# !]  
你的材料是什麼?介電質材料?金屬? e6'0g=Y#   
J
37vA zK%  
有吸收的材料你用MACLEOD是算不準的 !Yo2P"  
qDGx(d  
說到這邊其實還是要確定你的手法 @;9KP6d  
:@&e~QP(  
例如:你基板是套入你量的穿透嗎? $o+@}B0)  
K @&c  
你可能連基板都不對咧!! Ke^/aGi}O  
EIzTbW{p  
去確認一下吧! 有問題再提出