[讨论]材料N值和K值 [复制链接]

求各位大神指点迷津 8#Z\}gGz  
MlC-
Aad(  
怎么才可以获取正确的材料N值和K值 e2hk  
WfjUJw5x"s  
我现在的方法是镀一个5k的膜，然后先测裸片监控片的反射率，再测镀膜后的监控片反射率，导入到MAC里去算N和K，但是把材料回推回去看光谱还是和实测的光谱不一样，这里面的原因是啥？ #;*ai\6>vD  
|_xiG~  
我的想法是机台镀膜随着时间的推移每一层的膜N和K都不一样。 AFm*60C  
TNPGw!  
前题是我是用晶控去控制，不是光控。

我夜想知道！

同求！！！！！

我是用穿透量測(吸收考量) :pjK\  
鍍5Q膜厚 z4fK{S  
先以macleod求出基板N與K KeO
B
be  
再求出藥材N與K S"A
_TH  

同求TFC计算  Tooling值的方法  

这个 可以探讨,特别误差在金属上面例如TI等,误差很大,真实的n和k导出来!我觉得主要根电子枪关系大,

5k?unit是什麼?5000nm? iZ;jn8  
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你設定厚度與實際厚度的誤差是多少? .%h_W\M<l  
^o<Nz8  
你用石英監控當然不一定會那麼準阿?那也不會說誤差到找不到 }(O kl1  
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另外你石英監控的頻率是多少?新的大概6MHZ ]>!_OCe&  
fb=vO U  
再來 >(Ddw N9l  
~;a* Oxt  
你的材料是什麼?介電質材料?金屬? p)]^>-L  
OVK(:{PwS  
有吸收的材料你用MACLEOD是算不準的 l%w|f`B:  
U.
)eJ1a  
說到這邊其實還是要確定你的手法 Y
Wd(xm"4  
L)"w-
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例如:你基板是套入你量的穿透嗎? goWt!,&f  
KA[Su0  
你可能連基板都不對咧!! F&Z>B};  
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去確認一下吧! 有問題再提出