[讨论]材料N值和K值 [复制链接]

求各位大神指点迷津 EZUaYp~M  
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怎么才可以获取正确的材料N值和K值 {;yO3];Hqw  
xTHD_?d  
我现在的方法是镀一个5k的膜，然后先测裸片监控片的反射率，再测镀膜后的监控片反射率，导入到MAC里去算N和K，但是把材料回推回去看光谱还是和实测的光谱不一样，这里面的原因是啥？ 7({)o
u x  
aacy5E  
我的想法是机台镀膜随着时间的推移每一层的膜N和K都不一样。 qE
)FQeN  
"5hk%T'  
前题是我是用晶控去控制，不是光控。

我夜想知道！

同求！！！！！

我是用穿透量測(吸收考量) DE(XSzX  
鍍5Q膜厚 MAa9JA8kw)  
先以macleod求出基板N與K 3",gjXmBu  
再求出藥材N與K }\a#e^-xQ+  

同求TFC计算  Tooling值的方法  

这个 可以探讨,特别误差在金属上面例如TI等,误差很大,真实的n和k导出来!我觉得主要根电子枪关系大,

5k?unit是什麼?5000nm? }?[];FB  
'|C%X7  
你設定厚度與實際厚度的誤差是多少? cU;Bm}U  
I;4quFBlMu  
你用石英監控當然不一定會那麼準阿?那也不會說誤差到找不到 C:Ef6ZW  
M;A_'h?Z  
另外你石英監控的頻率是多少?新的大概6MHZ V^7.@BeT  
[@i:qB>B  
再來 ,TBOEu."4  
f+e"`80$*C  
你的材料是什麼?介電質材料?金屬? oW~W(h!  
A
mZXUb  
有吸收的材料你用MACLEOD是算不準的 f2gtz{r  
=,XCjiBeC  
說到這邊其實還是要確定你的手法 LnR>!0:c  
rm-d),Zt  
例如:你基板是套入你量的穿透嗎? c=sV"r?  
OZ`cE5"i  
你可能連基板都不對咧!! ! ._q8q\  
zTng]Mvx  
去確認一下吧! 有問題再提出