[讨论]材料N值和K值 [复制链接]

求各位大神指点迷津 \A~4\um  
(]oFB$  
怎么才可以获取正确的材料N值和K值 Gl=@>Dc%  
m79m{!q$-  
我现在的方法是镀一个5k的膜，然后先测裸片监控片的反射率，再测镀膜后的监控片反射率，导入到MAC里去算N和K，但是把材料回推回去看光谱还是和实测的光谱不一样，这里面的原因是啥？ (Jm(}X]sh[  
UX03"gX  
我的想法是机台镀膜随着时间的推移每一层的膜N和K都不一样。 zv>ZrFl*  
zp}yiE!bl  
前题是我是用晶控去控制，不是光控。

我夜想知道！

同求！！！！！

我是用穿透量測(吸收考量) .2 N_?
  
鍍5Q膜厚 w yuJSB  
先以macleod求出基板N與K N>uZt2  
再求出藥材N與K f=-!2#%  

同求TFC计算  Tooling值的方法  

这个 可以探讨,特别误差在金属上面例如TI等,误差很大,真实的n和k导出来!我觉得主要根电子枪关系大,

5k?unit是什麼?5000nm? gw}7%U`T9  
:BrnRW64  
你設定厚度與實際厚度的誤差是多少? h>`'\qy  
aS1P]&  
你用石英監控當然不一定會那麼準阿?那也不會說誤差到找不到  +lf@O&w  
*|.y
X%"k  
另外你石英監控的頻率是多少?新的大概6MHZ Y;I(6`,Y  
X G@>1/  
再來 7=M'n;!Mh  
RE*S7[ge  
你的材料是什麼?介電質材料?金屬? _`Yvfz3  
 _c7  
有吸收的材料你用MACLEOD是算不準的 )uv$tnP*  
,a?\i JNb  
說到這邊其實還是要確定你的手法 (^@;`8Dy8  
nbkky.e  
例如:你基板是套入你量的穿透嗎? Aaw:B?4)  
N4GIb 6  
你可能連基板都不對咧!! 9Av- ;!]  
AQBx k[  
去確認一下吧! 有問題再提出