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    [求助]高反膜机差问题 [复制链接]

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    离线dcfcwdx
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2018-01-25
    关键词： LED芯片亮度膜系
    求助大神，LED芯片背镀DBR高反膜，同样的膜系，不同的光驰新旧机台作业后亮度有差异，到底是什么造成的？？
     
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    离线奔跑的小骏马
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    只看该作者 1楼 发表于: 2018-01-29
    DBR是什么意思啊？你做的高反膜是用的啥膜料？
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    离线dcfcwdx
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    只看该作者 2楼 发表于: 2018-01-29
    回 奔跑的小骏马 的帖子
    奔跑的小骏马:DBR是什么意思啊？你做的高反膜是用的啥膜料？ (2018-01-29 09:51)  (4/`@;[  
    #p^pvdvh3  
    氧化硅和氧化钛
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    离线rexchou
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    只看该作者 3楼 发表于: 2018-02-01
    有試著量測表面粗糙度嗎(使用AFM之類的) >!WBl Sy  
    >w'?DV>u|  
    若有差異，可能要比對一下背景壓力、鍍率等等 P) 0=@{(  
    X([n>w  
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    离线rexchou
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    只看该作者 4楼 发表于: 2018-02-01
    回 奔跑的小骏马 的帖子
    奔跑的小骏马:DBR是什么意思啊？你做的高反膜是用的啥膜料？ (2018-01-29 09:51)  <OFqUp*l  
    2:0Y'\nn  
    鍍膜的DBR就是介電質的反射鏡 x" =q+sA  
    nqW:P$  
    主要利用高低折射率1/4波長去堆疊而成 jtJ8r5j 1  
    }Bg<Fm  
    會依照每個客戶針對的波長去做設計 "+C\f)  
    / 1@m#ZxA:  
    可應用在LED 激光 等等
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    离线ouyuu
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    只看该作者 5楼 发表于: 2018-02-02
    怀疑是排气能力差异。 a#j^gu$m  
    开镀真空一样吗？都开充氧了吗？充氧压力多少？
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    离线dcfcwdx
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    只看该作者 6楼 发表于: 2018-02-03
    好的，谢谢～
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    离线dcfcwdx
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    只看该作者 7楼 发表于: 2018-02-03
    开镀真空一样，充氧压力为1.93E-2Pa
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    离线ouyuu
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    只看该作者 8楼 发表于: 2018-02-03
    如果有空的话，两台机各镀一下单层，然后测一下PEAK比对一下。 %q^]./3p  
    一般SiO2折射率比较稳定，既然有充氧，吸收也不太会有问题。 </p.OaNe  
    问题很可能出在TiO2上。TiO2的折射率和吸收不太稳定。 3!W&J  
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    离线dcfcwdx
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    只看该作者 9楼 发表于: 2018-03-03
    回 ouyuu 的帖子
    ouyuu:如果有空的话，两台机各镀一下单层，然后测一下PEAK比对一下。 kVY@q&p  
    一般SiO2折射率比较稳定，既然有充氧，吸收也不太会有问题。 0W)_5f&  
    问题很可能出在TiO2上。TiO2的折射率和吸收不太稳定。 <OUAppH  
     (2018-02-03 18:13)  DWAU8>c+  
    6x0>E^~  
    单层的PEAK对比过，确实是有差异的，关键是怎样调节折射率和吸收呢？
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