[求助]高反膜机差问题 [复制链接]

求助大神，LED芯片背镀DBR高反膜，同样的膜系，不同的光驰新旧机台作业后亮度有差异，到底是什么造成的？？

DBR是什么意思啊？你做的高反膜是用的啥膜料？

奔跑的小骏马:DBR是什么意思啊？你做的高反膜是用的啥膜料？ (2018-01-29 09:51)  WwBs_OMc  

1Xj>kE:  
氧化硅和氧化钛

有試著量測表面粗糙度嗎(使用AFM之類的) sp'f>F2]  
<W<>=vDzyE  
若有差異，可能要比對一下背景壓力、鍍率等等 dZ"w2ho  
cgevP`*]  

奔跑的小骏马:DBR是什么意思啊？你做的高反膜是用的啥膜料？ (2018-01-29 09:51)  e!hy,O{Pw  

H0P:t(<Gt  
鍍膜的DBR就是介電質的反射鏡 4[o/p8*/  
xP61^*-2  
主要利用高低折射率1/4波長去堆疊而成 6myF!  H=  
zD z"Dn9  
會依照每個客戶針對的波長去做設計 CqkY_z  
3
J!J#  
可應用在LED 激光 等等

怀疑是排气能力差异。 n=8DC&  
开镀真空一样吗？都开充氧了吗？充氧压力多少？

好的，谢谢～

开镀真空一样，充氧压力为1.93E-2Pa

如果有空的话，两台机各镀一下单层，然后测一下PEAK比对一下。 #y>q)Ph  
一般SiO2折射率比较稳定，既然有充氧，吸收也不太会有问题。 [Zj6v a  
问题很可能出在TiO2上。TiO2的折射率和吸收不太稳定。 >m'n#=yap  

ouyuu:如果有空的话，两台机各镀一下单层，然后测一下PEAK比对一下。 ,?(U4pzX  
一般SiO2折射率比较稳定，既然有充氧，吸收也不太会有问题。 5KC Zg'h  
问题很可能出在TiO2上。TiO2的折射率和吸收不太稳定。 fx*Q,}t  
 (2018-02-03 18:13)  ykD-
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5nS}h76mZ  
单层的PEAK对比过，确实是有差异的，关键是怎样调节折射率和吸收呢？