[求助]高反膜机差问题 [复制链接]

求助大神，LED芯片背镀DBR高反膜，同样的膜系，不同的光驰新旧机台作业后亮度有差异，到底是什么造成的？？

DBR是什么意思啊？你做的高反膜是用的啥膜料？

奔跑的小骏马:DBR是什么意思啊？你做的高反膜是用的啥膜料？ (2018-01-29 09:51)  ]lz,?izMR  

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氧化硅和氧化钛

有試著量測表面粗糙度嗎(使用AFM之類的) H7l[5ib  
O "{o (  
若有差異，可能要比對一下背景壓力、鍍率等等 "<!|am(  
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奔跑的小骏马:DBR是什么意思啊？你做的高反膜是用的啥膜料？ (2018-01-29 09:51)  Q>sq:R+'  

M%$zor  
鍍膜的DBR就是介電質的反射鏡 C/]0jAAE7  
p&ZD1qa  
主要利用高低折射率1/4波長去堆疊而成 j\Q_NevV  
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會依照每個客戶針對的波長去做設計 h?$4\^/  
N2~DxVJ5cT  
可應用在LED 激光 等等

怀疑是排气能力差异。 &4BN9`|:  
开镀真空一样吗？都开充氧了吗？充氧压力多少？

好的，谢谢～

开镀真空一样，充氧压力为1.93E-2Pa

如果有空的话，两台机各镀一下单层，然后测一下PEAK比对一下。 >mh:OJH45  
一般SiO2折射率比较稳定，既然有充氧，吸收也不太会有问题。 Ku&0bXP  
问题很可能出在TiO2上。TiO2的折射率和吸收不太稳定。 SRj|XCd  

ouyuu:如果有空的话，两台机各镀一下单层，然后测一下PEAK比对一下。 26.iFt/:  
一般SiO2折射率比较稳定，既然有充氧，吸收也不太会有问题。 CG$S?  
问题很可能出在TiO2上。TiO2的折射率和吸收不太稳定。 6DR@$fpt  
 (2018-02-03 18:13)  M+)%gnq`u  

4 lJ@qhV  
单层的PEAK对比过，确实是有差异的，关键是怎样调节折射率和吸收呢？