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    [分享]关于电子枪的一些小知识 [复制链接]

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    离线ouyuu
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2018-01-23
    趁最近有空,把我手头的一些小知识和大家分享一下。 Q}]kw}b  
    6qpV53H  
    1,电子枪的知识(电气) \ZZy`/~z*7  
    j88sE MZ  
    电子枪有两个主要电源:(由两个高压接线柱接进)
    @ibPL+~-_  
    一个给灯丝通上电流,加热灯丝提供热电子;一个给灯丝加上高压,把电子打出去。 F@roQQu  
    灯丝电流越高,电子就越多;灯丝电压越高,电子速度越快。 wQB{K3  
    这两个都能提高蒸发速率,但一般说来,我们固定住电压,只调节电流。 KXCmCn  
    u@u.N2H.%  
    电子枪的三个副电源:(由低压接线柱接进,一般是六根线) IF}c*uGj}  
    偏转电源,是提供一个磁场,使电子枪发射的热电子进行偏转,打到药品上。 B/kn&^z$|~  
    调整XP,YP就是调节的偏转磁场。 1?#9K j{ql  
    8Flf,"a   
    扫描电源,是提供一个磁场,使电子枪发射的热电子不断的在药品上进行扫描, 扫描范围大的光斑就大,扫描范围缩小光斑就小。对应的就是XS和YS。 #(g+jb0E  
    电子枪的最远的那对磁极棒就是控制Y方向扫描的, 所以拆掉这个磁极棒,Y方向上就没有宽度了,看起来光斑就是一条线。 ]Ja8i%LjOG  
    9Ru%E>el-  
    电子枪的其他电路 ^|i\d \  
    电子束打到药品上以后,还会反弹起来。反弹的电子(二次电子)如果不加约束, 就会跑到镜片上去,使镜片带电。 %7d@+ .  
    一是会吸附小颗粒造成麻点,二是影响离子源水晶片等的工作。 :_,]?n  
    所以有些电子枪还会加上一个二次电子抑制器,让二次电子往地面跑。 zQ %z "tQ  
    s_Oh >y?Aq  
    电子枪工作时,如果有药品飞溅进电子枪灯丝附近,会被电子枪灯丝加热蒸发, 导致高压处放电,这个放电过程其实很频繁,所以一般电子枪还有一个灭弧电路。 bNpIC/#0K  
    如果灭弧电路发生故障了,电子枪就很容易熄火。
    [ 此帖被ouyuu在2018-01-23 21:10重新编辑 ]
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    离线ouyuu
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    只看该作者 1楼 发表于: 2018-01-23
    2,电子枪的知识(机械) 1'v!9  
    电子枪机械部分主要就是指真空室内的电子枪本体及坩埚盘。 *&dW\fx  
    <A -(&+  
    1,冷却 f5yux}A{  
    电子枪因为功率高,所以一般都是水冷。 k Kp6  
    水一旦在真空室内泄露会造成很严重的故障甚至事故。 !(]dz~sM  
    所以一定要防止空打。(会打穿坩埚盘) &J^4Y!gt  
    防止空打的措施有: k$-~_^4m  
    1,限制镀膜的最高电流 7moElh v  
    2,限制镀膜的最长时间 WE.$at{*h  
    3,坩埚放置及确认的制度(提前准备好装药的坩埚,放置在显眼处,关门前后的确认……) :(l $^ M  
    Hw?2XDv j  
    2,枪头 4P4 Fo1  
    枪头是指灯丝及周边那部分,因为温度高,离材料近,枪头非常容易沾污,需要及时保养更换。 ]~prR?  
    这部分国内国外零部件价格差异极大。所以也是假冒伪劣的重灾区。 i[2bmd!H  
    如发现外观尺寸不佳,光斑不稳定,电子枪电流不稳甚至打火,枪头及灯丝寿命短等问题,请及时怀疑买到了假货,多安装几次确认一下就可以投诉了。 $h 08Z  
    比如日本电子的270度枪头,假货成本也就几百元。 rQcRjh+E H  
    真货厂家出厂价最低也要7000多。 hg?j)jl|  
    *^@#X-NG  
    3,坩埚盘 )+n,5W  
    坩埚盘分为点状和环形,环形坩埚比较省药品但不能灵活切换。 ceb s.sF:  
    坩埚盘常见故障有卡死,偏位,速度不稳定等。 80?6I%UB<  
    定位方式一般采用码盘定位和电机定位。根据定位方式不同,对坩埚位置要采取不同方式进行调整。 11)/] ?/j  
    h"%|\o+3  
    4,挡板 aNE9LAms  
    挡板是非常重要的零部件,挡板设置不好会影响镀膜效果。 d~{jEg  
    挡板高度越低越好,以电子枪束流打不打为限,可以用铝膜包覆挡板,然后开电子枪的最低电流做实验。 c=A(o  
    铝膜溶破就代表打到了,然后再往上调30mm左右。 .D8~)ZWN  
    挡板速度越快越好,但以不打到其他部件,不掉药渣为限。 $J QWfGwR  
    新柯隆一般为1秒。 RzA2*]%a  
    挡板的打开及关闭位置的确认:坩埚中心点放一小灯(手机或者小头灯,越低越好) ]d@^i)2LF  
    然后手动打开和关闭挡板,打开时伞架上无阴影,关闭是伞架上无照亮。 ,vPe}OKj  
    nG"tO'J6  
    5,故障 ~ X-)_zH  
    电子枪原理简单,所以一般故障较少。 xS6(K  
    多数故障是由于保养不良等原因造成的。 -VS9`7k  
    要注意高压导入的裸铜丝,枪头下面的底座陶瓷也属于耗材,最好每年更换一次。 m#oh?@0}  
    否则因为铜丝损耗(特别是压接处,会少量蒸发导致铜丝变细,接触不良) $[Tt#CJ w  
    底座陶瓷绝缘变差造成故障。 4$yV%[j  
    另外电子枪本体内有永磁铁,时间长了磁铁磁性变化也会造成一些变化, ^)&Ly_xrU  
    此时可通过调整电子枪电源内的电位器来矫正。 *#3*;dya]  
    还有,电子枪电源通常会放在泵房,所以每年大修的时候, 06 QU  
    最好拆开护板用吸尘器打扫一下,毕竟几千伏高压的东西, iM:yX=>a  
    太脏了会严重影响寿命及稳定性。
    [ 此帖被ouyuu在2018-01-23 19:40重新编辑 ]
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    rexchou 光币 +5 优秀文章,支持! 2018-02-01
    离线ouyuu
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    只看该作者 2楼 发表于: 2018-01-23
    3,电子枪相关的药品知识 q<#>HjC  
    &~e$:8 +  
    药品根据折射率分为低折射率(1.38~1.5)中折射率(1.5~1.8)高折射率(1.8以上)三类。 sZ&G%o  
    药品特性: !0,Mp@ j/  
    MgF2:蒸发电流低,面蒸发,硬度高,易吸水 JUAS$Y  
    SiO2:蒸发电流低,面蒸发,硬度高,不耐碱, ,m=4@ofX  
               易失氧变成黑色SiO,镀膜时需要充氧。 Q&'}BeUbm  
               绝缘电阻高,所以一旦熔融后无法再次蒸发。 'R<&d}@P*#  
    Al2O3:附着力强,耐水耐酸(塑胶片寿命要求高时,可用来打底) ,m<H-gwa  
    ZrO2:附着力强,易形成不均质 fq[;%cr4  
    TiO2:硬度高,折射率易变 6[E|  
    OS|>t./U  
    一般颗粒药材,除SiO2外镀膜前都需要溶药, hwN?/5  
    目的是为了将颗粒缝隙中的空气和杂质气体(如H2O)排出,以免镀膜中发生溅料。 iJ' xh n  
    >gwz,{  
    各药品蒸发条件如下: E37<"(;  
    药品 [YrHA~=U  
    蒸発源電流(mA)扫描(XS/YS)速率 fb~=Y$|  
    MgF230~6070/708~12
    SiO2顆粒120~17070/7010~12
    SiO2环形150~20040/7010~12
    Al2O3340~38020/205~7
    SiO30~60顆:70 固:406~10
    ZrO2280~3500~305~7
    Ta2O5(IAD)350~40020/203~4
    TiO2350~400 0~103~5
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    rexchou 光币 +5 优秀文章,支持! 2018-02-01
    离线zx19921216
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    只看该作者 3楼 发表于: 2018-01-29
    学习了,
    离线rexchou
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    只看该作者 4楼 发表于: 2018-02-01
    回 ouyuu 的帖子
    ouyuu:3,电子枪相关的药品知识
    药品根据折射率分为低折射率(1.38~1.5)中折射率(1.5~1.8)高折射率(1.8以上)三类。 :=iM$_tp'  
    药品特性: Ovaj":L  
    MgF2:蒸发电流低,面蒸发,硬度高,易吸水 ijZydn  
    ....... (2018-01-23 21:34)  /JK-}E  
    j(@g   
    請問O大   環型坩鍋轉速建議用多少
    离线ouyuu
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    只看该作者 5楼 发表于: 2018-02-02
    回 rexchou 的帖子
    rexchou:請問O大   環型坩鍋轉速建議用多少 (2018-02-01 14:10)  VGDEP!)-8  
    VY&9kN  
    0.02转每分
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    rexchou 光币 +1 热心助人,鼓励! 2018-02-02
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    只看该作者 6楼 发表于: 2018-02-11
    电子枪,是做电子显微镜的?
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    只看该作者 7楼 发表于: 2018-02-24
    回 祝家莹 的帖子
    祝家莹:电子枪,是做电子显微镜的? (2018-02-11 14:26)  B|w}z1.  
    3CL:VwoW  
    镀膜机的好不。
    离线光迹
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    只看该作者 8楼 发表于: 2018-05-23
    回 ouyuu 的帖子
    ouyuu:3,电子枪相关的药品知识
    药品根据折射率分为低折射率(1.38~1.5)中折射率(1.5~1.8)高折射率(1.8以上)三类。 ~V5jjx*  
    药品特性: ~PHG5?X  
    MgF2:蒸发电流低,面蒸发,硬度高,易吸水 Z~ (QV0}  
    ....... (2018-01-23 21:34)  >2r/d  
    2P*O^-zRp  
    很好的资料
    离线光迹
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    只看该作者 9楼 发表于: 2018-05-23
    回 光迹 的帖子
    光迹:很好的资料 (2018-05-23 13:47)  3(X"IoNQ  
    wPOQy ~:  
    感谢感谢
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