2，电子枪的知识（机械）
*yYeqm 电子枪机械部分主要就是指真空室内的电子枪本体及坩埚盘。
& Gs/#2XQ 9D]bCi\ 1，冷却
l f#5X)V 电子枪因为功率高，所以一般都是水冷。
TjicltQi4 水一旦在真空室内泄露会造成很严重的故障甚至事故。
>~jl0!2z@ 所以一定要防止空打。（会打穿坩埚盘）
IO7 cRg'-F 防止空打的措施有：
( 'Ha$O72 1，限制镀膜的最高电流
q\xsXM 2，限制镀膜的最长时间
s*R UYx 3，坩埚放置及确认的制度（提前准备好装药的坩埚，放置在显眼处，关门前后的确认……）
)=A WgA YRQ?: a{H 2，枪头
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) 枪头是指灯丝及周边那部分，因为温度高，离材料近，枪头非常容易沾污，需要及时保养更换。
80K"u[ 这部分国内国外零部件价格差异极大。所以也是假冒伪劣的重灾区。
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dq 如发现外观尺寸不佳，光斑不稳定，电子枪电流不稳甚至打火，枪头及灯丝寿命短等问题，请及时怀疑买到了假货，多安装几次确认一下就可以投诉了。
8ib e#jlg 比如日本电子的270度枪头，假货成本也就几百元。
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真货厂家出厂价最低也要7000多。
gts09{"} Y Kx02 2rgDU 3，坩埚盘
;?C`Jag x 坩埚盘分为点状和环形，环形坩埚比较省药品但不能灵活切换。
.>1vN+ 坩埚盘常见故障有卡死，偏位，速度不稳定等。
(-xVW#39 定位方式一般采用码盘定位和电机定位。根据定位方式不同，对坩埚位置要采取不同方式进行调整。
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4，挡板
08/Tk+ 挡板是非常重要的零部件，挡板设置不好会影响镀膜效果。
T?CQgVR 挡板高度越低越好，以电子枪束流打不打为限，可以用铝膜包覆挡板，然后开电子枪的最低电流做实验。
5xQ5)B4k 铝膜溶破就代表打到了，然后再往上调30mm左右。
mQ3gp&d3W 挡板速度越快越好，但以不打到其他部件，不掉药渣为限。
+xQj-r)- 新柯隆一般为1秒。
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u&dU'@q 挡板的打开及关闭位置的确认：坩埚中心点放一小灯（手机或者小头灯，越低越好）
4U3 `g 然后手动打开和关闭挡板，打开时伞架上无阴影，关闭是伞架上无照亮。
LI>Bl ^UBzX;|p 5，故障
r`i.h ^2De 电子枪原理简单，所以一般故障较少。
A4 /gVi| 多数故障是由于保养不良等原因造成的。
F~/~_9RJ 要注意高压导入的裸铜丝，枪头下面的底座陶瓷也属于耗材，最好每年更换一次。
mR~S$6cc 否则因为铜丝损耗（特别是压接处，会少量蒸发导致铜丝变细，接触不良）
$3xDj iBb 底座陶瓷绝缘变差造成故障。
uK0L> 另外电子枪本体内有永磁铁，时间长了磁铁磁性变化也会造成一些变化，
5a4i)I6 3o 此时可通过调整电子枪电源内的电位器来矫正。
:s1.TQ;Y( 还有，电子枪电源通常会放在泵房，所以每年大修的时候，
&%tW 最好拆开护板用吸尘器打扫一下，毕竟几千伏高压的东西，
3xgU=@!; 太脏了会严重影响寿命及稳定性。
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