趁最近有空,把我手头的一些小知识和大家分享一下。
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电子枪的知识(电气)
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电子枪有两个主要电源:(由两个高压接线柱接进) -g"Wi@Qr 一个给灯丝通上电流,加热灯丝提供热电子;一个给灯丝加上高压,把电子打出去。
#T>pu/EQX_ 灯丝电流越高,电子就越多;灯丝电压越高,电子速度越快。
.5~3D97X& 这两个都能提高蒸发速率,但一般说来,我们固定住电压,只调节电流。
v/7^v}[< C
szZr>Z 电子枪的三个副电源:(由低压接线柱接进,一般是六根线) xgsEe3| 偏转电源,是提供一个磁场,使电子枪发射的热电子进行偏转,打到药品上。
sVlQ5M oo( 调整XP,YP就是调节的偏转磁场。
N7q6pBA"E on7?V< 扫描电源,是提供一个磁场,使电子枪发射的热电子不断的在药品上进行扫描, 扫描范围大的
光斑就大,扫描范围缩小光斑就小。对应的就是XS和YS。
F)aF.'$-/ 电子枪的最远的那对磁极棒就是控制Y方向扫描的, 所以拆掉这个磁极棒,Y方向上就没有宽度了,看起来光斑就是一条线。
'v(b^x<ZS 7 /"Z/^ 电子枪的其他电路: A0ZU #"'/ 电子束打到药品上以后,还会反弹起来。反弹的电子(二次电子)如果不加约束, 就会跑到
镜片上去,使镜片带电。
%xXb5aY 一是会吸附小颗粒造成麻点,二是影响离子源水晶片等的工作。
f(EO|d^u 所以有些电子枪还会加上一个二次电子抑制器,让二次电子往地面跑。
3z k},8fu Z0 c|; 电子枪工作时,如果有药品飞溅进电子枪灯丝附近,会被电子枪灯丝加热蒸发, 导致高压处放电,这个放电过程其实很频繁,所以一般电子枪还有一个灭弧电路。
M^n^wz 如果灭弧电路发生故障了,电子枪就很容易熄火。
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