2,电子枪的知识(机械)
V-r<v1}M 电子枪机械部分主要就是指真空室内的电子枪本体及坩埚盘。
C7_T]e < 0>MI*fnY" 1,冷却
c9@jyq_H? 电子枪因为功率高,所以一般都是水冷。
.O.R 水一旦在真空室内泄露会造成很严重的故障甚至事故。
@h,$&=HY 所以一定要防止空打。(会打穿坩埚盘)
(t[' 防止空打的措施有:
1*CWHs 1,限制镀膜的最高电流
zL}hFmh 2,限制镀膜的最长时间
jdf@lb=5l 3,坩埚放置及确认的制度(提前准备好装药的坩埚,放置在显眼处,关门前后的确认……)
]*U') e.^9&Fk"N 2,枪头
k4rBS 枪头是指灯丝及周边那部分,因为温度高,离材料近,枪头非常容易沾污,需要及时保养更换。
xB+H7Ya 这部分国内国外零部件价格差异极大。所以也是假冒伪劣的重灾区。
iCKwd 9?) 如发现外观尺寸不佳,光斑不稳定,电子枪电流不稳甚至打火,枪头及灯丝寿命短等问题,请及时怀疑买到了假货,多安装几次确认一下就可以投诉了。
1hS~!r'qqv 比如日本电子的270度枪头,假货成本也就几百元。
c/U6K
yiK 真货厂家出厂价最低也要7000多。
O3:
dOL/C <]^D({` 3,坩埚盘
BAHx7x#( 坩埚盘分为点状和环形,环形坩埚比较省药品但不能灵活切换。
S$WM&9U 坩埚盘常见故障有卡死,偏位,速度不稳定等。
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d7TA 定位方式一般采用码盘定位和电机定位。根据定位方式不同,对坩埚位置要采取不同方式进行调整。
nHrCSfK mh]$g<*m 4,挡板
LTct0Gh 挡板是非常重要的零部件,挡板设置不好会影响镀膜效果。
[1GEe 挡板高度越低越好,以电子枪束流打不打为限,可以用铝膜包覆挡板,然后开电子枪的最低电流做实验。
D:EF@il 铝膜溶破就代表打到了,然后再往上调30mm左右。
`aycYoD 挡板速度越快越好,但以不打到其他部件,不掉药渣为限。
f|0QN#$ 新柯隆一般为1秒。
-P&e4sV{ 挡板的打开及关闭位置的确认:坩埚中心点放一小灯(手机或者小头灯,越低越好)
H-w|JH>g 然后手动打开和关闭挡板,打开时伞架上无阴影,关闭是伞架上无照亮。
Yk?q7xuT cvfAa#tq> 5,故障
j}l8k@f 电子枪原理简单,所以一般故障较少。
7k|(5P; 多数故障是由于保养不良等原因造成的。
$twF93u$ 要注意高压导入的裸铜丝,枪头下面的底座陶瓷也属于耗材,最好每年更换一次。
CF_!{X_k} 否则因为铜丝损耗(特别是压接处,会少量蒸发导致铜丝变细,接触不良)
/)TEx}wk 底座陶瓷绝缘变差造成故障。
$(=1A>40 另外电子枪本体内有永磁铁,时间长了磁铁磁性变化也会造成一些变化,
q:^Cw8 此时可通过调整电子枪电源内的电位器来矫正。
ZRfa!9vl 还有,电子枪电源通常会放在泵房,所以每年大修的时候,
yFsXI0I[p 最好拆开护板用吸尘器打扫一下,毕竟几千伏高压的东西,
Jo <6M' 太脏了会严重影响寿命及稳定性。
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