2,电子枪的知识(机械)
6O9?":3; 电子枪机械部分主要就是指真空室内的电子枪本体及坩埚盘。
F?EAIL x}(p\Efx 1,冷却
~P5;k_& 电子枪因为功率高,所以一般都是水冷。
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X&{6xu 水一旦在真空室内泄露会造成很严重的故障甚至事故。
~Q36lR 所以一定要防止空打。(会打穿坩埚盘)
,'>,N/JA 防止空打的措施有:
B$)&;Q 1,限制镀膜的最高电流
d|Q_Z@;JF 2,限制镀膜的最长时间
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uA\ 3,坩埚放置及确认的制度(提前准备好装药的坩埚,放置在显眼处,关门前后的确认……)
+\@}IKWl-? n k@e# 2,枪头
4y$tp18 枪头是指灯丝及周边那部分,因为温度高,离材料近,枪头非常容易沾污,需要及时保养更换。
HAOl&\)7"_ 这部分国内国外零部件价格差异极大。所以也是假冒伪劣的重灾区。
X@cO`P 如发现外观尺寸不佳,光斑不稳定,电子枪电流不稳甚至打火,枪头及灯丝寿命短等问题,请及时怀疑买到了假货,多安装几次确认一下就可以投诉了。
8&2W^f5 比如日本电子的270度枪头,假货成本也就几百元。
Gj9WUv[P 真货厂家出厂价最低也要7000多。
G;k#06 8 "5^mj 3,坩埚盘
`zmjiC 坩埚盘分为点状和环形,环形坩埚比较省药品但不能灵活切换。
i*9Bu; 坩埚盘常见故障有卡死,偏位,速度不稳定等。
E%tGwbi7 定位方式一般采用码盘定位和电机定位。根据定位方式不同,对坩埚位置要采取不同方式进行调整。
fH6mv0 $<QOMfY> 4,挡板
p;k7\7 挡板是非常重要的零部件,挡板设置不好会影响镀膜效果。
XA4miQn& 挡板高度越低越好,以电子枪束流打不打为限,可以用铝膜包覆挡板,然后开电子枪的最低电流做实验。
Ed$;#4 铝膜溶破就代表打到了,然后再往上调30mm左右。
$CgR~D2G 挡板速度越快越好,但以不打到其他部件,不掉药渣为限。
Bk)*Z/1<x 新柯隆一般为1秒。
,'0Zd(s 挡板的打开及关闭位置的确认:坩埚中心点放一小灯(手机或者小头灯,越低越好)
,ag:w<km 然后手动打开和关闭挡板,打开时伞架上无阴影,关闭是伞架上无照亮。
y^xEZD1X6- G$T#ql 5,故障
ICxj$b 电子枪原理简单,所以一般故障较少。
IA&NMf;{ 多数故障是由于保养不良等原因造成的。
X6`F<H` 要注意高压导入的裸铜丝,枪头下面的底座陶瓷也属于耗材,最好每年更换一次。
R3,O;9i 否则因为铜丝损耗(特别是压接处,会少量蒸发导致铜丝变细,接触不良)
.W/#$s|X\ 底座陶瓷绝缘变差造成故障。
[(65^Zl` 另外电子枪本体内有永磁铁,时间长了磁铁磁性变化也会造成一些变化,
D Xjw" ^x 此时可通过调整电子枪电源内的电位器来矫正。
2$OI(7b= 还有,电子枪电源通常会放在泵房,所以每年大修的时候,
|'?./ 最好拆开护板用吸尘器打扫一下,毕竟几千伏高压的东西,
qS.TVNZ 太脏了会严重影响寿命及稳定性。
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