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    [分享]关于电子枪的一些小知识 [复制链接]

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    离线ouyuu
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2018-01-23
    趁最近有空,把我手头的一些小知识和大家分享一下。 4a!L/m *  
    *Gu=O|Mm  
    1,电子枪的知识(电气) PY>j?otD  
    YLFTf1G9  
    电子枪有两个主要电源:(由两个高压接线柱接进)
    .-WCB  
    一个给灯丝通上电流,加热灯丝提供热电子;一个给灯丝加上高压,把电子打出去。 $mlsFBd  
    灯丝电流越高,电子就越多;灯丝电压越高,电子速度越快。 W]M[5p]*  
    这两个都能提高蒸发速率,但一般说来,我们固定住电压,只调节电流。 6PPvf D^  
    9R ugkGy  
    电子枪的三个副电源:(由低压接线柱接进,一般是六根线) IL>g-  
    偏转电源,是提供一个磁场,使电子枪发射的热电子进行偏转,打到药品上。 YO,GZD`-o  
    调整XP,YP就是调节的偏转磁场。 Mm/GI a  
    4tu2%Og)?  
    扫描电源,是提供一个磁场,使电子枪发射的热电子不断的在药品上进行扫描, 扫描范围大的光斑就大,扫描范围缩小光斑就小。对应的就是XS和YS。 7,+:Q Y@  
    电子枪的最远的那对磁极棒就是控制Y方向扫描的, 所以拆掉这个磁极棒,Y方向上就没有宽度了,看起来光斑就是一条线。 .pdgRjlSn  
    0j_!)B  
    电子枪的其他电路 ,%,}[q?]d  
    电子束打到药品上以后,还会反弹起来。反弹的电子(二次电子)如果不加约束, 就会跑到镜片上去,使镜片带电。 C}00S{nAZ  
    一是会吸附小颗粒造成麻点,二是影响离子源水晶片等的工作。 \lY26'  
    所以有些电子枪还会加上一个二次电子抑制器,让二次电子往地面跑。 _FVIN;!  
    i, )kI  
    电子枪工作时,如果有药品飞溅进电子枪灯丝附近,会被电子枪灯丝加热蒸发, 导致高压处放电,这个放电过程其实很频繁,所以一般电子枪还有一个灭弧电路。 7 'f>  
    如果灭弧电路发生故障了,电子枪就很容易熄火。
    [ 此帖被ouyuu在2018-01-23 21:10重新编辑 ]
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    离线ouyuu
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    只看该作者 1楼 发表于: 2018-01-23
    2,电子枪的知识(机械) .79'c%3}  
    电子枪机械部分主要就是指真空室内的电子枪本体及坩埚盘。 IzL yn  
    Ybok[5  
    1,冷却 /Wj9Stj5  
    电子枪因为功率高,所以一般都是水冷。 Zd~Z`B} &  
    水一旦在真空室内泄露会造成很严重的故障甚至事故。 ;ga~ae=Fg  
    所以一定要防止空打。(会打穿坩埚盘) kj-S d^  
    防止空打的措施有: Y)!5Z.K  
    1,限制镀膜的最高电流 `GSfA0?  
    2,限制镀膜的最长时间 5q8bM.k\7N  
    3,坩埚放置及确认的制度(提前准备好装药的坩埚,放置在显眼处,关门前后的确认……) (>Tu~Vo  
    7%?A0%>6G  
    2,枪头 7Y$p3]0e+  
    枪头是指灯丝及周边那部分,因为温度高,离材料近,枪头非常容易沾污,需要及时保养更换。 Y]Xal   
    这部分国内国外零部件价格差异极大。所以也是假冒伪劣的重灾区。 A46y?"]/30  
    如发现外观尺寸不佳,光斑不稳定,电子枪电流不稳甚至打火,枪头及灯丝寿命短等问题,请及时怀疑买到了假货,多安装几次确认一下就可以投诉了。 |\b*p:e l  
    比如日本电子的270度枪头,假货成本也就几百元。 -Ol/r=/&  
    真货厂家出厂价最低也要7000多。 N}^\$sVu_  
    p oNQ<ijK  
    3,坩埚盘 ,ur_n7+LH  
    坩埚盘分为点状和环形,环形坩埚比较省药品但不能灵活切换。 mk0rAN  
    坩埚盘常见故障有卡死,偏位,速度不稳定等。 G_X'd  
    定位方式一般采用码盘定位和电机定位。根据定位方式不同,对坩埚位置要采取不同方式进行调整。 evn ]n  
    ,I)/ V>u  
    4,挡板 K\;b3  
    挡板是非常重要的零部件,挡板设置不好会影响镀膜效果。 S(rA96n  
    挡板高度越低越好,以电子枪束流打不打为限,可以用铝膜包覆挡板,然后开电子枪的最低电流做实验。 .=K@M"5&  
    铝膜溶破就代表打到了,然后再往上调30mm左右。 Dpof~o,f  
    挡板速度越快越好,但以不打到其他部件,不掉药渣为限。 <)"Mi}Q[)p  
    新柯隆一般为1秒。 fc&4e:Ve  
    挡板的打开及关闭位置的确认:坩埚中心点放一小灯(手机或者小头灯,越低越好) Rr:,'cXGi  
    然后手动打开和关闭挡板,打开时伞架上无阴影,关闭是伞架上无照亮。 cQN}z Ke  
    cl{;%4$9  
    5,故障 )WBTqML[  
    电子枪原理简单,所以一般故障较少。 M#2DI?S@  
    多数故障是由于保养不良等原因造成的。 3g} ]nj:N  
    要注意高压导入的裸铜丝,枪头下面的底座陶瓷也属于耗材,最好每年更换一次。 CM~)\prks  
    否则因为铜丝损耗(特别是压接处,会少量蒸发导致铜丝变细,接触不良) OHH wcJ7N  
    底座陶瓷绝缘变差造成故障。 )TV'eq  
    另外电子枪本体内有永磁铁,时间长了磁铁磁性变化也会造成一些变化, d7l0;yR&+  
    此时可通过调整电子枪电源内的电位器来矫正。 x==%BBnO%  
    还有,电子枪电源通常会放在泵房,所以每年大修的时候, nKV1F0-  
    最好拆开护板用吸尘器打扫一下,毕竟几千伏高压的东西, F7L+bv   
    太脏了会严重影响寿命及稳定性。
    [ 此帖被ouyuu在2018-01-23 19:40重新编辑 ]
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    rexchou 光币 +5 优秀文章,支持! 2018-02-01
    离线ouyuu
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    只看该作者 2楼 发表于: 2018-01-23
    3,电子枪相关的药品知识 u`O xY  
    #;# V1  
    药品根据折射率分为低折射率(1.38~1.5)中折射率(1.5~1.8)高折射率(1.8以上)三类。 540-lMe  
    药品特性: ` <cB 6  
    MgF2:蒸发电流低,面蒸发,硬度高,易吸水 (i^{\zv  
    SiO2:蒸发电流低,面蒸发,硬度高,不耐碱, 4#1[i|:M  
               易失氧变成黑色SiO,镀膜时需要充氧。 D .oX>L#:  
               绝缘电阻高,所以一旦熔融后无法再次蒸发。 yIC8Rl  
    Al2O3:附着力强,耐水耐酸(塑胶片寿命要求高时,可用来打底) d<r=f"  
    ZrO2:附着力强,易形成不均质 6-c3v  
    TiO2:硬度高,折射率易变 ]v{f!r=}  
    l\I#^N  
    一般颗粒药材,除SiO2外镀膜前都需要溶药, F#*vJb)  
    目的是为了将颗粒缝隙中的空气和杂质气体(如H2O)排出,以免镀膜中发生溅料。 AK]{^Hvz  
    iC10|0%{  
    各药品蒸发条件如下: xT6&;,|`  
    药品 (sHqzWh  
    蒸発源電流(mA)扫描(XS/YS)速率 ,]+P#eXgE  
    MgF230~6070/708~12
    SiO2顆粒120~17070/7010~12
    SiO2环形150~20040/7010~12
    Al2O3340~38020/205~7
    SiO30~60顆:70 固:406~10
    ZrO2280~3500~305~7
    Ta2O5(IAD)350~40020/203~4
    TiO2350~400 0~103~5
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    rexchou 光币 +5 优秀文章,支持! 2018-02-01
    离线zx19921216
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    只看该作者 3楼 发表于: 2018-01-29
    学习了,
    离线rexchou
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    只看该作者 4楼 发表于: 2018-02-01
    回 ouyuu 的帖子
    ouyuu:3,电子枪相关的药品知识
    药品根据折射率分为低折射率(1.38~1.5)中折射率(1.5~1.8)高折射率(1.8以上)三类。 ?|!167/O  
    药品特性: ]4~- z3=y  
    MgF2:蒸发电流低,面蒸发,硬度高,易吸水 ."b=dkx  
    ....... (2018-01-23 21:34)  2c:H0O 0o  
    {];4  
    請問O大   環型坩鍋轉速建議用多少
    离线ouyuu
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    只看该作者 5楼 发表于: 2018-02-02
    回 rexchou 的帖子
    rexchou:請問O大   環型坩鍋轉速建議用多少 (2018-02-01 14:10)  4eb<SNi  
    E:BEQ:(~L  
    0.02转每分
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    rexchou 光币 +1 热心助人,鼓励! 2018-02-02
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    只看该作者 6楼 发表于: 2018-02-11
    电子枪,是做电子显微镜的?
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    只看该作者 7楼 发表于: 2018-02-24
    回 祝家莹 的帖子
    祝家莹:电子枪,是做电子显微镜的? (2018-02-11 14:26)  Ndi'b_Sh\  
    _wM[U`H}s  
    镀膜机的好不。
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    只看该作者 8楼 发表于: 2018-05-23
    回 ouyuu 的帖子
    ouyuu:3,电子枪相关的药品知识
    药品根据折射率分为低折射率(1.38~1.5)中折射率(1.5~1.8)高折射率(1.8以上)三类。 &KR@2~vE  
    药品特性: [9(B;;R@  
    MgF2:蒸发电流低,面蒸发,硬度高,易吸水 #s yP=  
    ....... (2018-01-23 21:34)  PY z | d  
    K&|zWpb  
    很好的资料
    离线光迹
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    只看该作者 9楼 发表于: 2018-05-23
    回 光迹 的帖子
    光迹:很好的资料 (2018-05-23 13:47)  ovfw_  
    dl;A'/(t  
    感谢感谢