2,电子枪的知识(机械)
.79'c%3} 电子枪机械部分主要就是指真空室内的电子枪本体及坩埚盘。
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yn Ybok[5 1,冷却
/Wj9Stj5 电子枪因为功率高,所以一般都是水冷。
Zd~Z`B} & 水一旦在真空室内泄露会造成很严重的故障甚至事故。
;ga~ae=Fg 所以一定要防止空打。(会打穿坩埚盘)
kj-Sd^ 防止空打的措施有:
Y)!5Z.K 1,限制镀膜的最高电流
`GSfA0? 2,限制镀膜的最长时间
5q8bM.k\7N 3,坩埚放置及确认的制度(提前准备好装药的坩埚,放置在显眼处,关门前后的确认……)
(>Tu~Vo 7%?A0%>6G 2,枪头
7Y$p3]0e+ 枪头是指灯丝及周边那部分,因为温度高,离材料近,枪头非常容易沾污,需要及时保养更换。
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这部分国内国外零部件价格差异极大。所以也是假冒伪劣的重灾区。
A46y?"]/30 如发现外观尺寸不佳,光斑不稳定,电子枪电流不稳甚至打火,枪头及灯丝寿命短等问题,请及时怀疑买到了假货,多安装几次确认一下就可以投诉了。
|\b*p:el 比如日本电子的270度枪头,假货成本也就几百元。
-Ol/r=/& 真货厂家出厂价最低也要7000多。
N}^\$sVu_ p oNQ<ijK 3,坩埚盘
,ur_n7+LH 坩埚盘分为点状和环形,环形坩埚比较省药品但不能灵活切换。
mk0rAN 坩埚盘常见故障有卡死,偏位,速度不稳定等。
G_X'd 定位方式一般采用码盘定位和电机定位。根据定位方式不同,对坩埚位置要采取不同方式进行调整。
evn ]n ,I)/ V>u 4,挡板
K\;b3 挡板是非常重要的零部件,挡板设置不好会影响镀膜效果。
S(rA96n 挡板高度越低越好,以电子枪束流打不打为限,可以用铝膜包覆挡板,然后开电子枪的最低电流做实验。
.=K@M"5& 铝膜溶破就代表打到了,然后再往上调30mm左右。
Dpof~o,f 挡板速度越快越好,但以不打到其他部件,不掉药渣为限。
<)"Mi}Q[)p 新柯隆一般为1秒。
fc&4e:Ve 挡板的打开及关闭位置的确认:坩埚中心点放一小灯(手机或者小头灯,越低越好)
Rr:,'cXGi 然后手动打开和关闭挡板,打开时伞架上无阴影,关闭是伞架上无照亮。
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Ke cl{;%4$9 5,故障
)WBTqML[ 电子枪原理简单,所以一般故障较少。
M#2DI?S@ 多数故障是由于保养不良等原因造成的。
3g} ]nj:N 要注意高压导入的裸铜丝,枪头下面的底座陶瓷也属于耗材,最好每年更换一次。
CM~)\prks 否则因为铜丝损耗(特别是压接处,会少量蒸发导致铜丝变细,接触不良)
OHH wcJ 7N 底座陶瓷绝缘变差造成故障。
)TV'eq 另外电子枪本体内有永磁铁,时间长了磁铁磁性变化也会造成一些变化,
d7l0;yR&+ 此时可通过调整电子枪电源内的电位器来矫正。
x==%BBnO% 还有,电子枪电源通常会放在泵房,所以每年大修的时候,
nKV1F0- 最好拆开护板用吸尘器打扫一下,毕竟几千伏高压的东西,
F7L+bv 太脏了会严重影响寿命及稳定性。
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