2，电子枪的知识（机械）
9};8?mucr 电子枪机械部分主要就是指真空室内的电子枪本体及坩埚盘。
1{. |+S Z! Y%^w:|f^ 1，冷却
,HV(l+k {| 电子枪因为功率高，所以一般都是水冷。
2(+2+ } 水一旦在真空室内泄露会造成很严重的故障甚至事故。
'ya{9EdlT 所以一定要防止空打。（会打穿坩埚盘）
XJ\ DVZ 防止空打的措施有：
At>DjKx]O 1，限制镀膜的最高电流
T/~f~Z z 2，限制镀膜的最长时间
iB yf{ I>+ 3，坩埚放置及确认的制度（提前准备好装药的坩埚，放置在显眼处，关门前后的确认……）
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iI ]^7@}Ce_ 2，枪头
9>/4W. 枪头是指灯丝及周边那部分，因为温度高，离材料近，枪头非常容易沾污，需要及时保养更换。
`25yE/ 这部分国内国外零部件价格差异极大。所以也是假冒伪劣的重灾区。
zxl@(h d 如发现外观尺寸不佳，光斑不稳定，电子枪电流不稳甚至打火，枪头及灯丝寿命短等问题，请及时怀疑买到了假货，多安装几次确认一下就可以投诉了。
Y =I' czg 比如日本电子的270度枪头，假货成本也就几百元。
2\{M:\2o 真货厂家出厂价最低也要7000多。
uyWu npT mdDOvm:& 3，坩埚盘
#A/ 坩埚盘分为点状和环形，环形坩埚比较省药品但不能灵活切换。
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坩埚盘常见故障有卡死，偏位，速度不稳定等。
"m8^zg hL 定位方式一般采用码盘定位和电机定位。根据定位方式不同，对坩埚位置要采取不同方式进行调整。
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:\c ^*K(9 4，挡板
]:- mbgW 挡板是非常重要的零部件，挡板设置不好会影响镀膜效果。
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cH 挡板高度越低越好，以电子枪束流打不打为限，可以用铝膜包覆挡板，然后开电子枪的最低电流做实验。
6;d*r$0Fc 铝膜溶破就代表打到了，然后再往上调30mm左右。
FVbb2Y?R 挡板速度越快越好，但以不打到其他部件，不掉药渣为限。
pE0Sw}A:9 新柯隆一般为1秒。
_ < V)-Y 挡板的打开及关闭位置的确认：坩埚中心点放一小灯（手机或者小头灯，越低越好）
;[YG@-"XZ 然后手动打开和关闭挡板，打开时伞架上无阴影，关闭是伞架上无照亮。
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u9 5，故障
P3=G1=47U 电子枪原理简单，所以一般故障较少。
t %)7t9j 多数故障是由于保养不良等原因造成的。
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要注意高压导入的裸铜丝，枪头下面的底座陶瓷也属于耗材，最好每年更换一次。
Hzz %3}E 否则因为铜丝损耗（特别是压接处，会少量蒸发导致铜丝变细，接触不良）
pY EMmZ?L 底座陶瓷绝缘变差造成故障。
9Q.Yl&A 另外电子枪本体内有永磁铁，时间长了磁铁磁性变化也会造成一些变化，
L`TLgH&?R 此时可通过调整电子枪电源内的电位器来矫正。
1R%.p7@5QU 还有，电子枪电源通常会放在泵房，所以每年大修的时候，
ec;o\erPG 最好拆开护板用吸尘器打扫一下，毕竟几千伏高压的东西，
cqkV9f8Ro 太脏了会严重影响寿命及稳定性。
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