趁最近有空,把我手头的一些小知识和大家分享一下。 ?h!t$QQ!M
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1,电子枪的知识(电气) ?C
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电子枪有两个主要电源:(由两个高压接线柱接进) {)V? R
一个给灯丝通上电流,加热灯丝提供热电子;一个给灯丝加上高压,把电子打出去。 hojHbmm4
灯丝电流越高,电子就越多;灯丝电压越高,电子速度越快。 c[VrC+e m
这两个都能提高蒸发速率,但一般说来,我们固定住电压,只调节电流。 g ?afX1Sg
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电子枪的三个副电源:(由低压接线柱接进,一般是六根线) 7L=T]W
偏转电源,是提供一个磁场,使电子枪发射的热电子进行偏转,打到药品上。 P</s)"@
调整XP,YP就是调节的偏转磁场。 8F zHNG
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扫描电源,是提供一个磁场,使电子枪发射的热电子不断的在药品上进行扫描, 扫描范围大的光斑就大,扫描范围缩小光斑就小。对应的就是XS和YS。 {r={#mO;p
电子枪的最远的那对磁极棒就是控制Y方向扫描的, 所以拆掉这个磁极棒,Y方向上就没有宽度了,看起来光斑就是一条线。 %won=TG8
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电子枪的其他电路: d5DP^u
电子束打到药品上以后,还会反弹起来。反弹的电子(二次电子)如果不加约束, 就会跑到镜片上去,使镜片带电。 D@8jGcz62
一是会吸附小颗粒造成麻点,二是影响离子源水晶片等的工作。 VpkD'<