2,电子枪的知识(机械)
T7ki/hjRb 电子枪机械部分主要就是指真空室内的电子枪本体及坩埚盘。
oX#9RW/ >I }`4K)(>4nG 1,冷却
jvWI_Fto 电子枪因为功率高,所以一般都是水冷。
Q+HZ?V( 水一旦在真空室内泄露会造成很严重的故障甚至事故。
@n>{&^-c 所以一定要防止空打。(会打穿坩埚盘)
BQuRHi IV 防止空打的措施有:
wYa0hNd 1,限制镀膜的最高电流
?U$}Rsk{# 2,限制镀膜的最长时间
`M,Nd'5&| 3,坩埚放置及确认的制度(提前准备好装药的坩埚,放置在显眼处,关门前后的确认……)
#,)PN @P V!H(;Tuuo 2,枪头
phe"JNML 枪头是指灯丝及周边那部分,因为温度高,离材料近,枪头非常容易沾污,需要及时保养更换。
4 ;^g MI9 这部分国内国外零部件价格差异极大。所以也是假冒伪劣的重灾区。
n~9 i^ 如发现外观尺寸不佳,光斑不稳定,电子枪电流不稳甚至打火,枪头及灯丝寿命短等问题,请及时怀疑买到了假货,多安装几次确认一下就可以投诉了。
X+d&OcO=q 比如日本电子的270度枪头,假货成本也就几百元。
N: A3kp 真货厂家出厂价最低也要7000多。
7<fL[2- {$3j/b 3,坩埚盘
k RQ~hRT6 坩埚盘分为点状和环形,环形坩埚比较省药品但不能灵活切换。
hzW{_Q.|? 坩埚盘常见故障有卡死,偏位,速度不稳定等。
9armirfV'P 定位方式一般采用码盘定位和电机定位。根据定位方式不同,对坩埚位置要采取不同方式进行调整。
#i@ACAgn;6 yW[L,N7d 4,挡板
ofVEao 挡板是非常重要的零部件,挡板设置不好会影响镀膜效果。
TS/Cp{ 挡板高度越低越好,以电子枪束流打不打为限,可以用铝膜包覆挡板,然后开电子枪的最低电流做实验。
hyM'x* 铝膜溶破就代表打到了,然后再往上调30mm左右。
aX:#'eDB 挡板速度越快越好,但以不打到其他部件,不掉药渣为限。
*O!T!J 新柯隆一般为1秒。
(y%%6#bd 挡板的打开及关闭位置的确认:坩埚中心点放一小灯(手机或者小头灯,越低越好)
ip<15;Z 然后手动打开和关闭挡板,打开时伞架上无阴影,关闭是伞架上无照亮。
Q %+} ZK%Kgk[\:~ 5,故障
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.e&O 电子枪原理简单,所以一般故障较少。
p1Y+ 多数故障是由于保养不良等原因造成的。
+}kO;\ 要注意高压导入的裸铜丝,枪头下面的底座陶瓷也属于耗材,最好每年更换一次。
Wk7L:uK 否则因为铜丝损耗(特别是压接处,会少量蒸发导致铜丝变细,接触不良)
kboizJp 底座陶瓷绝缘变差造成故障。
.MzOLv 另外电子枪本体内有永磁铁,时间长了磁铁磁性变化也会造成一些变化,
wwo(n$!\ 此时可通过调整电子枪电源内的电位器来矫正。
<'yf|N!9G 还有,电子枪电源通常会放在泵房,所以每年大修的时候,
hEVjeC 最好拆开护板用吸尘器打扫一下,毕竟几千伏高压的东西,
a|8|@, 太脏了会严重影响寿命及稳定性。
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