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[求助]关于镀膜机蒸镀的问题 [复制链接]

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离线学习使我快乐

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只看楼主倒序阅读楼主发表于: 2017-12-24

今天弄新镀膜机(8kw)，第一次蒸镀，工艺参数是按照老镀膜机（6KW）设定的，工艺菜单里功率设低百分之5
在蒸镀预溶的时候，屏幕显示的速率已经超过了Y轴最大范围，并且提示是最小功率，我看坩埚里的药都飞溅了，粒子数最高的时候是400多，沉积的时候是正常的。
这种情况怎样解决，有懂的前辈指导下吗？
我也是个刚毕业的小白

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离线学习使我快乐

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只看该作者 1楼发表于: 2017-12-24

用的药是MGF2和H4

离线ouyuu

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只看该作者 2楼发表于: 2017-12-25

速率受光斑大小影响更大。你可以尝试把光斑变大些。

离线贾松山

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只看该作者 3楼发表于: 2017-12-25

1.是电子枪还是阻蒸？
2.预熔怎么会有最大速率？
3.最小功率是对应什么材料的？功率多少？

离线学习使我快乐

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只看该作者 4楼发表于: 2017-12-25

1电子枪
2那个速率是选择工艺菜单那个屏幕上的，预溶的时候不是有曲线吗，那个速率
3最小功率是溶MGF2，设的15

离线学习使我快乐

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只看该作者 5楼发表于: 2017-12-25

回贾松山的帖子

贾松山:1.是电子枪还是阻蒸？ }wt%1v-10U
2.预熔怎么会有最大速率？ [UPNd!sy
3.最小功率是对应什么材料的？功率多少？ `0BdMKjA
(2017-12-25 08:44) !>;w!^U

回复错地方了看4楼

离线学习使我快乐

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只看该作者 6楼发表于: 2017-12-25

回 ouyuu 的帖子

ouyuu:速率受光斑大小影响更大。你可以尝试把光斑变大些。 (2017-12-25 00:36) ce5nG0@#

下次我试一试

离线gaofei5588

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只看该作者 7楼发表于: 2017-12-26

让预熔爬升的时间长点

离线学习使我快乐

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只看该作者 8楼发表于: 2017-12-26

回 gaofei5588 的帖子

gaofei5588:让预熔爬升的时间长点 (2017-12-26 14:58) /1N)d?Pcl

这个时间在哪里设置呀

离线奔跑的小骏马

助理工程师

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只看该作者 9楼发表于: 2017-12-27

回学习使我快乐的帖子

学习使我快乐:这个时间在哪里设置呀 (2017-12-26 19:46) )~G8 LZ

你用的啥机器

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