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    [求助]关于镀膜机蒸镀的问题 [复制链接]

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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2017-12-24
    今天弄新镀膜机(8kw),第一次蒸镀,工艺参数是按照老镀膜机(6KW)设定的,工艺菜单里功率设低百分之5 z}[qk:  
    在蒸镀预溶的时候,屏幕显示的速率已经超过了Y轴最大范围,并且提示是最小功率,我看坩埚里的药都飞溅了,粒子数最高的时候是400多,沉积的时候是正常的。 >S:>_&I`I  
    这种情况怎样解决,有懂的前辈指导下吗? |,wp@)e6h  
    我也是个刚毕业的小白
     
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    离线yzhuang
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    只看该作者 19楼 发表于: 2018-01-29
    预熔是不会有速率的,除非挡板没关,预熔的时候MgF2特别需要注意功率大小,太大了肯定一下就飞了,因为MgF2的熔点低,我6KW的电子枪用10%以内的功率就够了,当然,光斑的大小与是否扫描对需要的功率大小也有很大的影响。 -b4#/q+bb+  
    离线罗毅峰
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    只看该作者 18楼 发表于: 2018-01-19
    我觉得预熔的时候最好是用手动预熔,好掌握些,机]器预熔的话就要把晶控里的数据调好
    离线ouyuu
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    只看该作者 17楼 发表于: 2018-01-04
    蒸发速率高,是因为镀膜药的温度高。 3U<\s=1?X  
    而药的温度高低是取决于电流密度而不是电流。 /- qS YS(  
    所以溶药的时候,光斑大一点,电流密度就会低,而且加热比较均匀。 1jJ>(S  
    光斑要是小了,加热不均才会飞溅。 :3s5{s   
    和电子枪电流基本上没啥关系。
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    只看该作者 16楼 发表于: 2018-01-03
    回 yzhuang 的帖子
    yzhuang:可能你设置的功率太大了 (2017-12-31 13:14)  %#xdD2oN  
    /gkHV3}fu  
    我调小过 还是那样
    离线谭健
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    只看该作者 15楼 发表于: 2018-01-01
    了解中呢 我们公司也是做镀膜的 4e6x1`Y{xB  
    离线yzhuang
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    只看该作者 14楼 发表于: 2017-12-31
    可能你设置的功率太大了
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    只看该作者 13楼 发表于: 2017-12-29
    回 学习使我快乐 的帖子
    学习使我快乐:我也不知道啊,就知道机器是在成都买的。60多W (2017-12-28 20:24)  @fI1|v=eF  
    5 )A(q\  
    妈呀,啥牌子都不知道。机器上不是有标牌么。不行你上图。
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    只看该作者 12楼 发表于: 2017-12-28
    回 奔跑的小骏马 的帖子
    奔跑的小骏马:你用的啥机器 (2017-12-27 09:02)  Hf$pwfGcY]  
    w/1Os!p  
    我也不知道啊,就知道机器是在成都买的。60多W
    离线gaofei5588
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    只看该作者 11楼 发表于: 2017-12-27
    开始熔药时间上升可能太快