[求助]关于镀膜机蒸镀的问题 [复制链接]

今天弄新镀膜机(8kw)，第一次蒸镀，工艺参数是按照老镀膜机（6KW）设定的，工艺菜单里功率设低百分之5 rwb7>]UI"d  
在蒸镀预溶的时候，屏幕显示的速率已经超过了Y轴最大范围，并且提示是最小功率，我看坩埚里的药都飞溅了，粒子数最高的时候是400多，沉积的时候是正常的。 gzS6{570
 
这种情况怎样解决，有懂的前辈指导下吗？ ?1\rf$l8  
我也是个刚毕业的小白

预熔是不会有速率的，除非挡板没关，预熔的时候MgF2特别需要注意功率大小，太大了肯定一下就飞了，因为MgF2的熔点低，我6KW的电子枪用10%以内的功率就够了，当然，光斑的大小与是否扫描对需要的功率大小也有很大的影响。 49vKb(bz{  

我觉得预熔的时候最好是用手动预熔,好掌握些,机]器预熔的话就要把晶控里的数据调好

蒸发速率高，是因为镀膜药的温度高。 uH"W07  
而药的温度高低是取决于电流密度而不是电流。 Wzm!:U2R*  
所以溶药的时候，光斑大一点，电流密度就会低，而且加热比较均匀。 ~Vh< mt  
光斑要是小了，加热不均才会飞溅。 .(2Zoa  
和电子枪电流基本上没啥关系。

yzhuang:可能你设置的功率太大了 (2017-12-31 13:14)  >&`S$1 o  

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我调小过 还是那样

了解中呢 我们公司也是做镀膜的 Z_tK3kQa@&  

可能你设置的功率太大了

学习使我快乐:我也不知道啊，就知道机器是在成都买的。60多W (2017-12-28 20:24)  C0eqCu)Q  

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妈呀，啥牌子都不知道。机器上不是有标牌么。不行你上图。

奔跑的小骏马:你用的啥机器 (2017-12-27 09:02)  %u)niY-g
 

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我也不知道啊，就知道机器是在成都买的。60多W

开始熔药时间上升可能太快