[求助]关于镀膜机蒸镀的问题 [复制链接]

今天弄新镀膜机(8kw)，第一次蒸镀，工艺参数是按照老镀膜机（6KW）设定的，工艺菜单里功率设低百分之5 ib(>vp$V  
在蒸镀预溶的时候，屏幕显示的速率已经超过了Y轴最大范围，并且提示是最小功率，我看坩埚里的药都飞溅了，粒子数最高的时候是400多，沉积的时候是正常的。 {HIR>])o  
这种情况怎样解决，有懂的前辈指导下吗？ `\/toddUh[  
我也是个刚毕业的小白

用的药是MGF2和H4

速率受光斑大小影响更大。你可以尝试把光斑变大些。

1.是电子枪还是阻蒸？ uQGz;F x  
2.预熔怎么会有最大速率？ 1Yc%0L(  
3.最小功率是对应什么材料的？功率多少？ @gt)P4yE  

1电子枪 "'['(e+7  
2那个速率是选择工艺菜单那个屏幕上的，预溶的时候不是有曲线吗，那个速率 NH'1rt(w  
3最小功率是溶MGF2，设的15

贾松山:1.是电子枪还是阻蒸？ Rfht\{N 7  
2.预熔怎么会有最大速率？ %*6RzJO6  
3.最小功率是对应什么材料的？功率多少？ L/BHexOB  
 (2017-12-25 08:44)  KGu= ;  

>rKhlUD  
回复错地方了 看4楼

ouyuu:速率受光斑大小影响更大。你可以尝试把光斑变大些。 (2017-12-25 00:36)  n'?4.tb  

pDOM:lGya  
下次 我试一试

让预熔爬升的时间长点

gaofei5588:让预熔爬升的时间长点 (2017-12-26 14:58)  CH;;V3  

eYEc^nC,c)  
这个时间在哪里设置呀

学习使我快乐:这个时间在哪里设置呀 (2017-12-26 19:46)  *IZf^-=Q  

(p |DcA]BX  
你用的啥机器