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    [求助]关于镀膜机蒸镀的问题 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2017-12-24
    今天弄新镀膜机(8kw),第一次蒸镀,工艺参数是按照老镀膜机(6KW)设定的,工艺菜单里功率设低百分之5 U~)5{  
    在蒸镀预溶的时候,屏幕显示的速率已经超过了Y轴最大范围,并且提示是最小功率,我看坩埚里的药都飞溅了,粒子数最高的时候是400多,沉积的时候是正常的。 w8R7Ksn(  
    这种情况怎样解决,有懂的前辈指导下吗? ZJU %&@  
    我也是个刚毕业的小白
     
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    只看该作者 1楼 发表于: 2017-12-24
    用的药是MGF2和H4
    在线ouyuu
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    只看该作者 2楼 发表于: 2017-12-25
    速率受光斑大小影响更大。你可以尝试把光斑变大些。
    离线贾松山
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    只看该作者 3楼 发表于: 2017-12-25
    1.是电子枪还是阻蒸? E56  
    2.预熔怎么会有最大速率? %q3`k#?<  
    3.最小功率是对应什么材料的?功率多少? _q#pEv  
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    只看该作者 4楼 发表于: 2017-12-25
    1电子枪 rf|Nu3AJ  
    2那个速率是选择工艺菜单那个屏幕上的,预溶的时候不是有曲线吗,那个速率 F7O*%y.';  
    3最小功率是溶MGF2,设的15
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    只看该作者 5楼 发表于: 2017-12-25
    回 贾松山 的帖子
    贾松山:1.是电子枪还是阻蒸? ktynIN  
    2.预熔怎么会有最大速率? h>*3i#  
    3.最小功率是对应什么材料的?功率多少? ob/<;SrU<  
     (2017-12-25 08:44)  $rk=#;6]v;  
    Q.eD:@%iE  
    回复错地方了 看4楼
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    只看该作者 6楼 发表于: 2017-12-25
    回 ouyuu 的帖子
    ouyuu:速率受光斑大小影响更大。你可以尝试把光斑变大些。 (2017-12-25 00:36)  C7W<7DBf  
    %zY5'$v `  
    下次 我试一试
    离线gaofei5588
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    只看该作者 7楼 发表于: 2017-12-26
    让预熔爬升的时间长点
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    只看该作者 8楼 发表于: 2017-12-26
    回 gaofei5588 的帖子
    gaofei5588:让预熔爬升的时间长点 (2017-12-26 14:58)  f2M*]{N  
    ]i0=3H2  
    这个时间在哪里设置呀
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    只看该作者 9楼 发表于: 2017-12-27
    回 学习使我快乐 的帖子
    学习使我快乐:这个时间在哪里设置呀 (2017-12-26 19:46)  RU6c 8>"  
    7_)38  
    你用的啥机器