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    [求助]关于镀膜机蒸镀的问题 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2017-12-24
    今天弄新镀膜机(8kw),第一次蒸镀,工艺参数是按照老镀膜机(6KW)设定的,工艺菜单里功率设低百分之5  `Up Zk?k  
    在蒸镀预溶的时候,屏幕显示的速率已经超过了Y轴最大范围,并且提示是最小功率,我看坩埚里的药都飞溅了,粒子数最高的时候是400多,沉积的时候是正常的。 Ii,Lj1Q  
    这种情况怎样解决,有懂的前辈指导下吗? iQ9jt  
    我也是个刚毕业的小白
     
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    只看该作者 1楼 发表于: 2017-12-24
    用的药是MGF2和H4
    离线ouyuu
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    只看该作者 2楼 发表于: 2017-12-25
    速率受光斑大小影响更大。你可以尝试把光斑变大些。
    离线贾松山
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    只看该作者 3楼 发表于: 2017-12-25
    1.是电子枪还是阻蒸? W;coi4   
    2.预熔怎么会有最大速率? hSc$Sa8  
    3.最小功率是对应什么材料的?功率多少? lM C4j  
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    只看该作者 4楼 发表于: 2017-12-25
    1电子枪 ^9o;=!D!9  
    2那个速率是选择工艺菜单那个屏幕上的,预溶的时候不是有曲线吗,那个速率 x2.G1  
    3最小功率是溶MGF2,设的15
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    只看该作者 5楼 发表于: 2017-12-25
    回 贾松山 的帖子
    贾松山:1.是电子枪还是阻蒸? V#^~JJW^  
    2.预熔怎么会有最大速率? *j2P#et  
    3.最小功率是对应什么材料的?功率多少? Wu<  
     (2017-12-25 08:44)  bgqN&J)Jr)  
    |dpOE<f[  
    回复错地方了 看4楼
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    只看该作者 6楼 发表于: 2017-12-25
    回 ouyuu 的帖子
    ouyuu:速率受光斑大小影响更大。你可以尝试把光斑变大些。 (2017-12-25 00:36)  X,:^})]  
    ]C3{ _?=  
    下次 我试一试
    离线gaofei5588
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    只看该作者 7楼 发表于: 2017-12-26
    让预熔爬升的时间长点
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    只看该作者 8楼 发表于: 2017-12-26
    回 gaofei5588 的帖子
    gaofei5588:让预熔爬升的时间长点 (2017-12-26 14:58)  %c"PMTq(  
    Swz{5 J2C  
    这个时间在哪里设置呀
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    只看该作者 9楼 发表于: 2017-12-27
    回 学习使我快乐 的帖子
    学习使我快乐:这个时间在哪里设置呀 (2017-12-26 19:46)  4>^LEp  
    L4O.=*P1  
    你用的啥机器