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摘要 x9s1AzM{ /`vn/X^?^ 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 )MlT=k6S b%"Lwqdr7 +`s%-}-r 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) <Zn-P R1lC_G] 建模任务 j@4AY}[tX +?[,{WtV eSlZAdK C=uYX" 单次FMM仿真结果 k7\
,No} afNqK~ Ihn+_Hu (M,IgSn9 参数扫描(1D) oGXndfd" Od5I:p]N mpysnKH Kfl#78$d 参数扫描(2D) .,$<waGD D<:J6W7] bJ#]Xm(]D #FQkwX'g 文件信息 H 6~6hg /;rPzP4K6 F#^<t$5t z6+D=< "x
P2GZ QQ:2987619807 xJSK"
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