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摘要 Qvel#*-4 h:sf?X[ 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 g"kET]KP" |o*qZ}6 6q!Q([D_ 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) esq~Ehr= Zg0nsNA
建模任务 0AF,} &$ g3^:)$m *YGj^+ :$gs7<z{rm 单次FMM仿真结果 qg|ark*1u S)W?W}*R\ h9!4\{V;h
+U%epq 参数扫描(1D) ]6s/y %4t?X {v|ib112; G)c+GoK 参数扫描(2D) 5rc3jIXc{| .726^2sx UEt78eN -B!
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O65^ 文件信息 &4#%xg 9_.pLLx TTbJ9O<43 |T/s>OW i)$+#N QQ:2987619807
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