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摘要 I"!' AI- }X1.Wt=? 扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 xcSR{IZ R lg#z4m
 LZWS^77 {Qtq7q. 建模任务 =Q?f9 6T D?u` ]UUI~s FE 仿真干涉条纹 [%.18FWI GE E
]Kr ]xq::a{Oy 走进VirtualLab Fusion n85r^W #4y,a_ )  {;RF D3?N<9g VirtualLab Fusion中的工作流程 )*[
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−基本光源模型[教程视频] _om[VKJ d
•使用导入的数据自定义表面轮廓 QFzFL-H~N
•定义元件的位置和方向 u( 9X
− LPD II：位置和方向[教程视频]QQ1824712522 Z\!rH "8 •正确设置通道以进行非序列追迹 q:yO92Ow −非序列追迹的通道设置[用例] 4;\Y?M}g?
•使用参数运行检查影响/变化 V< -htV
−参数运行文档的使用[用例] ^g]xU1] *
IIP.yyh>  A[9NP-~ uYTCd ZQh VirtualLab Fusion技术 S8*> kM' jaqV[*440U 文件信息 nO_!:6o". 5+F L Sk LVmY= d>
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