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摘要 d-2I_ )9 `6F8Kqltr 扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 s9dBXfm K%@SS8!oy
 B{ u.Yc: `I:,[3_/ 建模任务 Ss/="jC &3/H
P)*<] s8 O+&^(U 仿真干涉条纹 "N"k8,LH 25KZe s) VrP%4 P+ 走进VirtualLab Fusion =!Cvu.~}, FA GVpO[  ,6)y4=8 L ?5M2DLh~ VirtualLab Fusion中的工作流程 P"VLGa b%$C!Tq' •设置输入场 yX mp] 9$
−基本光源模型[教程视频] 1T`"/*!
•使用导入的数据自定义表面轮廓 aDEP_b;
•定义元件的位置和方向 ?' :'zT
− LPD II：位置和方向[教程视频]QQ1824712522 :CHd\."%+1 •正确设置通道以进行非序列追迹 ^(B*AE. −非序列追迹的通道设置[用例]
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•使用参数运行检查影响/变化 ZU 6a
−参数运行文档的使用[用例] \ OB3gnR
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{JI\ VirtualLab Fusion技术 40ZB;j$l pr?(5{BL 文件信息 *mt v[ ?2 Dz1#%D s2kynQ#a
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