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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 0 BCGJFZ{ {*
j^g6; 关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） o~x39 = b<<5N s 所需工具：Grating Toolbox Basic dA}
72D? 9V;$v 相关Tutorials：G.001; G.014 @ y(Wy} 建模任务 %Lp7@ uR ;-eK 理想平面波照射 ~$4.Mf,u em1cc, P$3=i`X!nw  o? i.v0@!K *?bk?*?s oKYh E 镀膜倾斜光栅 lP* 目标平面 pf8O`e,Awf :5S |x/ 周期：10um tP`G]BCbt 厚度：10um 43 >9)t 倾斜角度：20度 qEJ8o.D-= {zz6 XlKPj 光栅的参数 v1nQs='
3kiE3*H —倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 H=&/ Q 2]D$|M?$~ —填充因子 2—后面的介质 xegQ Rc —膜层厚度 3—膜层材料 b6nZ55 h —光栅厚度 "%E-X:Il# :4 j a@~ #P%1{l5m  %i$M/C" (
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45x~8f N^\2
_T 设置层数和转折点 c6,s+^^ f6B-~x<l DB`$Ru@  2 设置层数和转折点以确定膜层 {} _ Nep/; v7;J%9=0D` Fm<jg}>MAd 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 y9C;T(oi; *N-;V|{ Qj(vBo ?D 实现可编程光栅 ]C16y.
~e b4Z`y8= ?P""KVp o  <0u\dU
/m `}f]u d4Co^A& 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） E BoGJ_l  8 ]q H2q f' 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） TGU:(J'^ 5 Vp;dc ? YF${ b TLMd$  (C daE!I4Q (O\U /daB 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） @$qOW  G2.|fp_}pG +|y*}bG 2 双击Data Series Diagram z Yw;q3" %#~((m1 采样结果 M.>^{n$
z  S6v!GQ
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. ?X\3&Ujy$ G'
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QQ：2987619807
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