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    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

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    离线infotek
    技术专家
     
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    4701
    光币
    17881
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-09-23
    内容简介： !oWB5x~:P  
     %K6veB{M  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计； cQ8[XNa  
     +:S `]  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 Cv**iW  
     Gv-VDRS  
    结构设计 7(Fas(j3  
    1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 ,aP6ct  
     B7%K}|Qg  
    h^Wb<O`S  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 {wqT$( (<  
     }]x \ `}o  
         r,6~%T0  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 D2$ 9$xeR  
     3~>-A=  
    目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 M\]lNQA  
    [`n_> p!  
    光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 4agW<c#  
     fap`;AuwK  
    LV:L0D7y  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 Hjm> I'9  
    ^ZwZze:2  
    \+ se%O  
    4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 %*D=ni#(sT  
     5X{|*?>T  
    _.5{vGyxr  
    wC1pfXa  
    导出加工数据 }z` x-(V  
     67j kU!  
    1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) @ {/)k%U  
     z?byNd8  
    :?M_U;;z2+  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 ]A5F}wV4  
     B/a gW  
    x3+ -wv  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 wHLQfrl0  
           @%4'2b  
    A8% e _XA  
    K=gg<E<  
    R@c])\^]  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 25X|N=}   
    ,/f\  
    1Lb)S@Q`*R  
    _^iY;&  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 q5f QTV  
     j7}mh  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 ;4 ;gaf  
    6n9/`D!  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 9g6$"',H  
    v "l).G?  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 2S8;=x}/  
    }B0[S_mw  
    MCE@EFD`\  
    导出加工数据列表 lR?y tIY  
     ChiIQWFE  
    fFJ7Y+^  
    N9-0b  
    导入加工数据 fG \" p  
     dz^HN`AlzC  
    1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI hz/mNDE]  
     c=v016r\  
    |f_'(-v`E  
    2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) b7.7@Ly y  
     ka_m Q<{9  
    ^G!cv  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) ]]|#+$ ~  
    rN1]UaT  
    4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 t|U5]$5  
     ?mNB:-Q  
    "Q@m7j)(  
    .gO|=E"  
    @Ou H=<YN  
    )@! fLA T  
    5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 0>Y3xNb  
    .@{v{  
    ip?]&5s  
    6) 导入完成，观察3D视图 %pVsafV  
     AZ.QQ*GZ#y  
    k]ZE j/y~  
    5( <O?#P  
    EV6R[2kl  
    QQ：2987619807
     
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    离线wx349643041
    实习生
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    光币
    1
    光券
    0
    只看该作者 1楼 发表于: 2022-06-08
    谢谢指导 syu/"KY^!  
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