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摘要 Q g"hN ,=O`'l>K 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 {UX?z?0T !jN}n)FSq m vO!Y 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) Bq.@CxK klxVsx%I{G 建模任务 WjW+EF8( '3 w=D
) _T&?H mcy\nAf5% 单次FMM仿真结果 9h>nP8 HYyO/U9z|I [9(tIb!x (MY#;v\AYE 参数扫描(1D) 9un]}7^ OSQZ5:g| z6ISJb veAg?N<c
p 参数扫描(2D) }l~|c{WH` >A5R f]`#BE)V X,n4_=f 文件信息 AD#]PSB C93BK)$} id<i|
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