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摘要 0YzpZW"+ ?"FbsMk.d 扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 l%ZhA=TKQ @o^Ww
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K@"f9 -M2yw 建模任务 4 :=]<sc, ' yth'[ Q?T]MUY(L 仿真干涉条纹 |%wX*z af >7r!~+B"9' ~
1 pr~ 走进VirtualLab Fusion yVc(`,tZ( m* ;E RK  =xrv~ d3Rw!slIq VirtualLab Fusion中的工作流程 DJir { \F OB7hlW •设置输入场 fnY.ao1-s[
−基本光源模型[教程视频] BHw, 4#F1;
•使用导入的数据自定义表面轮廓 eQ"E
•定义元件的位置和方向 SaCh
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− LPD II：位置和方向[教程视频]QQ1824712522 a T<q=DO •正确设置通道以进行非序列追迹 M;NX:mX9 −非序列追迹的通道设置[用例] k8Xm n6X
•使用参数运行检查影响/变化 :LTN!jj
−参数运行文档的使用[用例] .2pK.$.
$"&JWT!#  fV:83|eQ ^(<f/C )i VirtualLab Fusion技术
Y~Ifj,\ ':}\4j&{E 文件信息 [2koe.?( fLVAKn OH"XrCX7n
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