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摘自User's Manual 10.3节 PeqW+Q. 必须在像差输入文件中描述评价函数的每个量,像差输入文件必须以 Gr/}&+S AANT [ P ] $@]
xi 开头 "$o>_+U
以 ']I!1>v$[ END [{GN#W|AGP 结束 JsuI&v 所有像差定义必须放在AANT和END命令行之间。可以创建高达15000个像差,有六种类型: dW!El^w} 在默认模式下(开关29打开),SYNOPSYS忽略AANT命令上的可选[P],并自动给出AANT输入列表。如果开关29关闭,可以控制列表的形式;[P]产生一个输入图像,而省略P导致像差定义的更长但完整的总结。 _Z9d.- 如果开关89打开,则在每个优化运行的开始和结束时列出所有定义的像差的值。 由于列表可能很长,并且很少需要检查所有列表,因此默认关闭此开关。 ]adgOlM 最常使用两种像差定义。这两种定义指定了一个要明确控制的量或表明这些量的一个集合。第一种使用输入,如 }d>.Nj#zh H&p: 在这里,GOALS部分以相对权重1将DETAILS部分中的量(在这种情况下是镜头的TOTL总长度)最小化到目标值55.2。该部分中的“A”表示Add添加此量。 您可以在DETAILS部分中包含多个项,用A、S、MUL和DIV结合。例如,要控制厚度4和5的总和,可以输入 _E'}8.#{ M 34.567 A TH 4 'v
CMf A TH 5 &p_iAMn:9 定义要控制的量的一个集合的输入采用如下形式 "a~r'+'< GNR 0.5 10 4 P 1 An0N'yo"Z 在这个例子中,生成一个光线网格,参数0.5和10是权重,每半个光瞳4条光线,全视场(HBAR = 1)色差P(主色)。 uYg Q?*Z GOALS部分的输入正式地采用如下形式 {J,"iJKop 2YY4 XHQS @{_X@Wv4iV 这个输入后面跟着描述最小化内容的附加参数(DETAILS部分)。 *c/V('D/ aname是一个最多8个字符的可选字符串,全部由数字组成或以字母开头,名称中没有标点符号或空格。 )AR-b8..o M表示最小化到指定目标;MF意思是用评价函数中像差的四次幂最小化,而不是用二次幂。L、LIM、LL、LUL和LLL指定一个单边限制。C指定基于拉格朗日乘数的精确校正。 W#NZnxOX" 在光线像差讨论中描述了SR和SCR。可以定义多达5001个像差。每个光线像差最多可包含9个分量,其他类型的像差可包含任何数量的分量。 {6RA~ UF-'( 许多像差定义允许参考特定的表面编号,例如输入 >bQOpGy}l M 55 .1 A TH 6 9@q!~ur 为厚度编号6指定目标值55。 7.ein:M|CB 当提到镜头内的表面编号时,有时使用如下特殊代码是方便的 h4 9q(085V LB0 ^9 LoxU- LB1 e Ru5/y~ LB2 7#G!es LB3 glU9A39qx? LB4 \$DBtq5= ... +}?%w|8||s LB9 =P9rOK= FLAG ![r)KE=v8I FP1 ocK4Nxs FP2 !^98o:"x FP3 [hg9 0Q6 FP4 YlG#sBzl ... Y%eW6Y# >yn]h4M FP9 @d|Sv1d% FM1 SSE,G!@ FM2 sH2xkUp FM3 GBRiU&D FM4 W% Lrp{ ... VWK/(>TP FM9 rKslgZhQ APS qM26:kB{ LB0、LB1、LB2指定“last but zero”,“last but one”,“last but two”,依此类推; 这些让你从最后一个表面倒数。如果镜头有八个表面,则参考表面6的示例可写为 ^q/^.Gf M 55 .1 A TH LB2 >.od(Fh{l| 您还可以使用助记符FLAG和APS间接参考表面编号。如果表面已声明为FLAG表面,则该表面编号将替换为FLAG条目。命令FP1表示“flag plus one”,依此类推,让您在标志表面之前和之后指定最多九个表面。声明光阑的表面(在RLE文件中具有用SN APS ...声明)可以用APS条目参考。 在运行SPBUILD或AEI时这些都很有用。运行SPBUILD或AEI时,表面的数量不断变化,并且按编号参考特定的表面是不实际的。 这些代码可以在程序的任何地方用来间接参考表面编号。 8,RqhT)2# h>[ qXz 在设计变焦镜头时,可以在AANT文件中的用指令 M.MQ?`_"b ZOOM nb aBY&]6^- 声明哪个变焦位置需要校正。此后定义的所有像差都将应用于这个变焦位置,直到遇到另一个ZOOM指令。如果希望将相同的像差应用到多个变焦位置,可以使用ZGROUP ... END 格式。例如, $yj*n; ZGROUP ALL ]:?S}DRG (像差,光线集,等) 4 Sk@ v END (结束该组) :R:@V#Y 或者 Lk#)VGk: b`S9#` ZGROUP 1 3 5 7 noa+h<vGb ... _:tS-Mx@5 END <[}zw!z ZGROUP 2 4 6 8 7p':a) ... h@ ZC{B END x$ TLj (其他AANT条目) Sw-2vnSdM END (结束AANT文件) <_eEpG}9 第一个示例将输入的像差应用到所有变焦组;第二个和第三个只应用于确定输入的变焦位置。 U*sQ5uq 注意,ZGROUP命令需要一个END命令来结束该组,而AANT文件需要第二个END命令来结束所有像差定义。ZGROUP不可以包含任何ZOOM或另一个ZGROUP声明。 )c9Xp: ZFOCUS TH0 JSN DT [GIHT]将物距值改为TH0,将JSN表面后的空气间隔增加DT,为这些设置计算后续的光线和像差。输入ZFOCUS OFF来恢复标称参数。 k$J!,!q s%Ph 对于多重结构优化,在应用于多重结构nb的像差之前必须输入 r<srTHGLo ACON nb b.[9Adi > hH;i_("i(h 除了上述定义之外,还有几个命令用于监视镜头的某些方面以防止它变得不合理。 这些是 9yTkZ`M28 AEC 监视边缘厚度,其中TH是变化的。 3y2L!&'z AGE 监视玻璃元件的边缘厚度,其中TH是变化的。 &K[~Ab_ AFE 和AGE一样监视边缘,但在EFILE点A和E给出的孔径,或者如果没有定义EFILE点A和E给出的孔径,则在CAO处。 ;WYzU`<g AAE 监视空气间隔的边缘厚度,其中TH是变化的。 g;AW ACC 控制元件的最大中心厚度,其中TH是变化的。 G}NqVbZ9] ACM 控制最小中心厚度,其中TH是变化的。 &c&TQkx ASC 防止表面斜率太陡,其中CV是变化的。 oVbs^sbRH ACA 防止光线进入或离开元件太靠近临界角,其中CV变化。 &1yErGXC AAC 孔径控制,监视通光孔径并防止它们变得太大。这适用于所有孔径。 ..'"kX:5 AZA 监视ZFILE变焦镜头中每个透镜组的两侧空气间隔和边缘尺寸。 B|9XqQ EI ADT 监视透镜直径与厚度的比。 oPbziB8 AMS 监视弯月形透镜的曲率中心之间的分离。 ~/aCzx~ KY%qzq,n 本章提示了SYNOPSYS 评价函数许多可能性。但普通用户只需要使用其中的一小部分,而且评价函数通常会变得相当简单。这里是一个评价函数定义的例子: a"g\f{v0AR AANT v6uRzFw
AEC =<aFkBX- GSR 0 10.000000 3 2 0.000000 if\`M'3Xx GNR 0 2.000000 3 2 0.750000 Em{;l:;(W GNR 0 1.000000 3 2 1.000000 t&5 Ne ? GSR 0 10.000000 3 1 0.000000 >zfx2wh\a GNR 0 2.000000 3 1 0.750000 ;KmrBNF GNR 0 1.000000 3 1 1.000000 W[Z[o+7pK GSR 0 10.000000 3 3 0.000000 f qWme:x GNR 0 2.000000 3 3 0.750000 &P35\q GNR 0 1.000000 3 3 1.000000 /FPO'} 6i M 33 .1 A BACK F,pKt.x ACA 60 1 eBmHb\ ACC 40 1 {]m/15/$C END wzoT!-_X
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