摘要
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11 [!v:fj 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜
光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的
衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
=U?"# 6$IAm# WL>"hkx .n"aQ@! 建模任务
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pXP,Yy (fq>P1- 1阶的
参数优化
pbu 8Ib8z 1Azigd0% (CEJg|, ]NN9FM.2b/ 结果-容差分析
<pz;G} ?QZ\KY #b:8-Lt:M fAJQ8nb{@] 结果-容差分析
a(bgPkPP NoV2<m$ S&9{kt|BI #lNi\Lw+j 在
VirtualLab Fusion中查看
N[czraFBD} 8JGt|, U$qSMkj6RK ]^"*Fdn VirtualLab Fusion的工作流程
\6*3&p +
6O5hZ •构造光栅结构
\DpXs[1 - 使用特殊介质配置光栅结构[用例]
']>@vo4kK{ - 倾斜光栅的高级配置[用例]
lQldW|S> •分析光栅衍射效率
?%F*{3IP - 光栅级次分析器[用例]
{p+7QlgK •使用参数优化优化光栅参数
10{ZW@!7 •使用参数运行进行容差分析
J'|qFS - 参数运行文档的用法[用例]
rk{DrbRx eQNo'cz lQY?!oj&q q@H?ohIH VirtualLab Fusion技术
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