摘要
UNijFGi NaVQ9ku7VW 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜
光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的
衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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R>DaOH2K* sK{l 9 建模任务
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;\EiM;Q] mRB 1阶的
参数优化
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结果-容差分析
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QO"oEgB`+Z R[49(>7H4
}2K $^uR q o<&J f 在
VirtualLab Fusion中查看
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'9c2Q/
>iS`pb z4&iK)x VirtualLab Fusion的工作流程
J_>w 3uY {Fzs@,|W. •构造光栅结构
jV(6>BAI_ - 使用特殊介质配置光栅结构[用例]
Zy|Mz& - 倾斜光栅的高级配置[用例]
G^q3Z#P •分析光栅衍射效率
kdb(I@6 - 光栅级次分析器[用例]
:
tWU .f# •使用参数优化优化光栅参数
P2nft2/eu? •使用参数运行进行容差分析
n}s~+USZX - 参数运行文档的用法[用例]
K}6dg< -s 6![eV
5,)Qw ,f1q)Qf VirtualLab Fusion技术
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