[讨论]离子源加速电流是否越大越好 [复制链接]

现在使用的离子源存在两个问题： }?@rO`:EF+  
1、加速电流非常不稳定，突变比较大，数量在10mA以内波动；是否跟离子源工作状态的稳定性有关？ rC7``#5  
2、加速电流设置不知道多少数值为佳？ ?0 m\(#  
有没有懂得，指点一二。 S<L.c  

是不是設定在最大輸出功率 的60~80%，會不會是比較妥當的~ `g_"GE  
X/;p-KX  
加速電流我不清楚能不能設定，參數那邊我只知道可以設定加速電壓

10mA很小了。光驰基本上是100mA的变化。 )g|xpb
 
加速电流变化一般是气体流量的问题，气体流量是受真空压力变化波动的。 0vGyI>  
而真空压力波动的原因很大一部分是受电子枪蒸发的影响。 =X!IHd0  
@<@SMK)  
一般RF源出厂时候做分布都是最高电压最大电流为基准的。 /R LI,.%  
所以最大电流分布是最好的。但是电流大了电压高了， 9Q!bt  
温度也就高了，膜系的应力会受影响。 tj*y)28
-  
可能会产生脱膜，变形等问题。

rexchou:是不是設定在最大輸出功率 的60~80%，會不會是比較妥當的~
加速電流我不清楚能不能設定，參數那邊我只知道可以設定加速電壓 (2017-12-01 10:06)  df=zF.5  

ze'.Y%]  
加速电压是膜系参数设置的，电流好像可以通过界面设置，但是镀膜过程记录中这个加速电流一直在波动，外观做不好，我怀疑跟这个有关系。但是不能确定，所以问一下你们有没有做过这些验证。

ouyuu:10mA很小了。光驰基本上是100mA的变化。 C(,=[Fi-  
加速电流变化一般是气体流量的问题，气体流量是受真空压力变化波动的。 0Ry
Fv+  
而真空压力波动的原因很大一部分是受电子枪蒸发的影响。
一般RF源出厂时候做分布都是最高电压最大电流为基准的。 3 Lje<KzL  
....... (2017-12-01 17:22)  /84bv=  

a{`"68  
膜层倒是没有受多大的影响，但是外观感觉不太稳定，会不会与加速电流波动有关啊？

外观？指颜色还是发雾，或者是灰尘？ C6)R#  
原因不一样的。

我以前有一个类似的情况：我是AR气瓶端接口处漏气，使MFC气流量不稳定，但beam电流是稳定的，镀出的膜色也不稳定。你那个情况beam不稳，折射率有偏差。

10mA的变化不算什么。如果设定是1000mA的话，也就1%左右。 M;qb7Mu  
这点变化量比伞差还小，根本不可能引起折射率问题。 @,YlmX}  
JmjxGcG  
漏气也不太可能造成气流不稳。 u0BMyH  
气流是MFC控制的，而漏点在MFC前面，漏不漏气MFC一样控制。 ;>C9@S+  
真正的原因在气体纯度变化了，空气里大部分是氮气。 sVcdj|j  
你镀的氧化物材料变成了部分的氮化物材料。

ouyuu:外观？指颜色还是发雾，或者是灰尘？ 0w'|d@*wV  
原因不一样的。 (2017-12-04 00:36)  9='=-;@/5  

^aT;aP^l  
外观就是点子，具体是灰尘还是啥，还真不好说，呈现出来的是密集型的小点子一样。

点子更可能是中和器引起的。 @c0n2 Xcr  
中和器多维护，点子就会少很多。