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    [讨论]离子源加速电流是否越大越好 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2017-12-01
    现在使用的离子源存在两个问题: TYy.jFT-  
    1、加速电流非常不稳定,突变比较大,数量在10mA以内波动;是否跟离子源工作状态的稳定性有关? u9N 1pZ~  
    2、加速电流设置不知道多少数值为佳? :s4p/*f  
    有没有懂得,指点一二。 v8y1b%  
     
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    离线rexchou
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    只看该作者 1楼 发表于: 2017-12-01
    是不是設定在最大輸出功率 的60~80%,會不會是比較妥當的~ %HL*c =  
    >"C,@cN}B  
    加速電流我不清楚能不能設定,參數那邊我只知道可以設定加速電壓
    离线ouyuu
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    只看该作者 2楼 发表于: 2017-12-01
    10mA很小了。光驰基本上是100mA的变化。 `|/<\  
    加速电流变化一般是气体流量的问题,气体流量是受真空压力变化波动的。 ~x|F)~:0=  
    而真空压力波动的原因很大一部分是受电子枪蒸发的影响。 Y 1t\iU  
    N|6M P e  
    一般RF源出厂时候做分布都是最高电压最大电流为基准的。 VSSu &Q  
    所以最大电流分布是最好的。但是电流大了电压高了, C<P%CG&;  
    温度也就高了,膜系的应力会受影响。 W' s  
    可能会产生脱膜,变形等问题。
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    只看该作者 3楼 发表于: 2017-12-02
    回 rexchou 的帖子
    rexchou:是不是設定在最大輸出功率 的60~80%,會不會是比較妥當的~
    加速電流我不清楚能不能設定,參數那邊我只知道可以設定加速電壓 (2017-12-01 10:06)  [E/\#4b  
    "gDb1h)8  
    加速电压是膜系参数设置的,电流好像可以通过界面设置,但是镀膜过程记录中这个加速电流一直在波动,外观做不好,我怀疑跟这个有关系。但是不能确定,所以问一下你们有没有做过这些验证。
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    只看该作者 4楼 发表于: 2017-12-02
    回 ouyuu 的帖子
    ouyuu:10mA很小了。光驰基本上是100mA的变化。 O4^8jK}  
    加速电流变化一般是气体流量的问题,气体流量是受真空压力变化波动的。  Pyb Z)5u  
    而真空压力波动的原因很大一部分是受电子枪蒸发的影响。
    一般RF源出厂时候做分布都是最高电压最大电流为基准的。 Pl"Nus   
    ....... (2017-12-01 17:22)  JAQb{KefdO  
    S/ODq L|  
    膜层倒是没有受多大的影响,但是外观感觉不太稳定,会不会与加速电流波动有关啊?
    离线ouyuu
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    只看该作者 5楼 发表于: 2017-12-04
    外观?指颜色还是发雾,或者是灰尘? sU@nc!&Y@  
    原因不一样的。
    离线gaofei5588
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    只看该作者 6楼 发表于: 2017-12-06
    我以前有一个类似的情况:我是AR气瓶端接口处漏气,使MFC气流量不稳定,但beam电流是稳定的,镀出的膜色也不稳定。你那个情况beam不稳,折射率有偏差。
    离线ouyuu
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    只看该作者 7楼 发表于: 2017-12-06
    10mA的变化不算什么。如果设定是1000mA的话,也就1%左右。 @vrV*!  
    这点变化量比伞差还小,根本不可能引起折射率问题。 jhg;%+KB  
    Wu_kx2h  
    漏气也不太可能造成气流不稳。 x*nSHb  
    气流是MFC控制的,而漏点在MFC前面,漏不漏气MFC一样控制。 OC<5E121>Y  
    真正的原因在气体纯度变化了,空气里大部分是氮气。 Hr]h J c  
    你镀的氧化物材料变成了部分的氮化物材料。
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    只看该作者 8楼 发表于: 2017-12-09
    回 ouyuu 的帖子
    ouyuu:外观?指颜色还是发雾,或者是灰尘? o;=l ^-  
    原因不一样的。 (2017-12-04 00:36)  \CXQo4P  
    Pp`*]Ib  
    外观就是点子,具体是灰尘还是啥,还真不好说,呈现出来的是密集型的小点子一样。
    离线ouyuu
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    只看该作者 9楼 发表于: 2017-12-09
    点子更可能是中和器引起的。 &znQ;NH#  
    中和器多维护,点子就会少很多。
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