[讨论]离子源加速电流是否越大越好 [复制链接]

现在使用的离子源存在两个问题： 7~P2q/2E>  
1、加速电流非常不稳定，突变比较大，数量在10mA以内波动；是否跟离子源工作状态的稳定性有关？ ;av!fK  
2、加速电流设置不知道多少数值为佳？ *4 LS``  
有没有懂得，指点一二。 crv#IC2  

是不是設定在最大輸出功率 的60~80%，會不會是比較妥當的~ g "Du]_,  
/b>xQ.G  
加速電流我不清楚能不能設定，參數那邊我只知道可以設定加速電壓

10mA很小了。光驰基本上是100mA的变化。 % WDTnEm  
加速电流变化一般是气体流量的问题，气体流量是受真空压力变化波动的。 #+D][LH4  
而真空压力波动的原因很大一部分是受电子枪蒸发的影响。 2 )o2d^^  
$H+X'1  
一般RF源出厂时候做分布都是最高电压最大电流为基准的。 r4P%.YO+X  
所以最大电流分布是最好的。但是电流大了电压高了， T&[6  
温度也就高了，膜系的应力会受影响。 L@O
>;zp;  
可能会产生脱膜，变形等问题。

rexchou:是不是設定在最大輸出功率 的60~80%，會不會是比較妥當的~
加速電流我不清楚能不能設定，參數那邊我只知道可以設定加速電壓 (2017-12-01 10:06)  I-8I/RRkmP  

Cm8h b
  
加速电压是膜系参数设置的，电流好像可以通过界面设置，但是镀膜过程记录中这个加速电流一直在波动，外观做不好，我怀疑跟这个有关系。但是不能确定，所以问一下你们有没有做过这些验证。

ouyuu:10mA很小了。光驰基本上是100mA的变化。 7s%1?$B  
加速电流变化一般是气体流量的问题，气体流量是受真空压力变化波动的。 qmPu D/c  
而真空压力波动的原因很大一部分是受电子枪蒸发的影响。
一般RF源出厂时候做分布都是最高电压最大电流为基准的。 e\aW~zs2  
....... (2017-12-01 17:22)  +-TEB  

H_S"4ISS_  
膜层倒是没有受多大的影响，但是外观感觉不太稳定，会不会与加速电流波动有关啊？

外观？指颜色还是发雾，或者是灰尘？ m=COF$<  
原因不一样的。

我以前有一个类似的情况：我是AR气瓶端接口处漏气，使MFC气流量不稳定，但beam电流是稳定的，镀出的膜色也不稳定。你那个情况beam不稳，折射率有偏差。

10mA的变化不算什么。如果设定是1000mA的话，也就1%左右。 41.xi9V2  
这点变化量比伞差还小，根本不可能引起折射率问题。 *GhV1# <  
4u0?[v[Hu  
漏气也不太可能造成气流不稳。 3*7klu  
气流是MFC控制的，而漏点在MFC前面，漏不漏气MFC一样控制。 2Z"\%ZD  
真正的原因在气体纯度变化了，空气里大部分是氮气。 [*C~
BM  
你镀的氧化物材料变成了部分的氮化物材料。

ouyuu:外观？指颜色还是发雾，或者是灰尘？ 9*!*n ~  
原因不一样的。 (2017-12-04 00:36)   ,HNk<W  

( YZ2&  
外观就是点子，具体是灰尘还是啥，还真不好说，呈现出来的是密集型的小点子一样。

点子更可能是中和器引起的。 nF,zWr[x  
中和器多维护，点子就会少很多。