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本课程描述了如何创建单向弯曲器件。 具体流程是: z0F'zN3J 定义单向弯曲器件的材料 |bM?Q$>~ 定义系统设置 ^}{`bw {
创建弧形波导 9x]yu6 插入输入平面 vw'BKi
F 选择输出数据文件 `at>X&Ce, 运行仿真 FWb`F& 在OptiBPM_Analyzer中查看仿真结果 BXxl-x a{y"vVQOF 1. 定义单向弯曲器件的材料 G?e\w+}Pj@ 要定义单向弯曲器件的材料,请执行以下步骤。 Y2oN.{IH 步骤 操作 8jdEx&K 1) 从文件菜单中,选择新建。 U8]BhJr$Q 出现“初始属性”对话框(参见图1)。 BK[ YX) Cu,#w3JR 图1.初始属性对话框 *B0
7- 2) 单击轮廓和材料(参考图1)。 rv26vnJy" 将出现“轮廓设计器”窗口(参见图2)。 ln&9WF\I 注意:若要确保可以查看所有信息,请最大化“轮廓设计器”窗口。 0XLoGQ= )2Dm{T 图2.轮廓文件设计器 bmd3fJb`r 3) 创建以下介电材料: \1H~u,a 名称:包层(Cladding) wS%j!|xhlV 折射率(Re :):1.442 bi<?m^j t$k$Hd'; 4) 要保存资料,请单击“存储”。 w"/RI#7. c)Ep<W<r1 5) 创建第二种介电材料: hL(zVkYI 1cvH 名称:波导层(Guide) Xt%>XP 折射率(Re :):1.45 9i`sSi8
lE 09 Y 6) 要保存资料,请单击“存储”。 C0#"U f j{ :>"6 7) 创建以下通道: TD"w@jBA 轮廓名称:通道1 \66j4?H# 2D轮廓定义材料:波导(Guide) ,EuJ0]2 8) 要保存通道,请单击“存储”。 mvV5Xal 9) 关闭轮廓文件设计器窗口。 !tckE\ h#N 将显示具有打开的“初始属性”对话框的OptiBPM GUI :,*{,^2q: 1(*Pa 2. 定义系统设置 QmRE<i 要定义系统设置,请执行以下步骤。 !^*-]p/z 步骤 操作 P+s-{vv{0 1 点击默认波导标签 (Tbw@BFk 2 在轮廓文件列表中,单击通道。 cpe/GvD5] 3 单击“晶圆尺寸”选项卡 ztG!NZL 4 键入以下值: o9 g0fC 长度:800 r-]Hm Y x 宽度:50 %J?"ZSh 5 单击“2D晶片属性”选项卡。 ~K-_]*[x 6 在“材质”列表中,单击“包层(Cladding)”。 aa10vV 7 要将设置应用于系统,请单击“确定”。 ?=^M(TA; 出现布局窗口(参见图3)。 GT(nW|v 8Ug`2xS<_ 图3.布局窗口 Ljq!\D 3. 创建弧形波导 7]&ouT 要创建弧形波导,请执行以下步骤。 Zyx92z9Y 步骤 操作 tMnwY' 1) 从“绘制(Draw)”菜单中,选择“弧形波导”。 TexSUtx@$ 光标变成十字线。 RbA.%~jjx* 2) 要在布局窗口中绘制弧形波导,请在布局的左侧单击,向布局窗口的右侧拖动弧,然后释放以完成绘制弧(参见图4)。 1-6[KBQ8 ^V5g[XL2 图4.绘制一个弧形波导 -0R;C` (! 注意:弧形波导可以在任何位置并且可以是任何尺寸。 InCo[ 8SI 3) 单击 ,然后单击弧形波导选择它。 cV+x.)a. 4) 要编辑弧形波导,请从编辑菜单中选择属性。 N-9qNLSP 出现弧形波导属性对话框(参见图5) n>-"\cjV L^Q q[> 图5.弧形波导属性对话框 [Dou%\ 5) 点击起始标签 mE+ 6) 在偏移下,键入以下值(见图6): ]Y%U5\$ 水平:0 $,v[<T` 垂直:-10 YLO/J2[' #ekz>/Im* 图6.初始偏移值 Y\pRk6, 7) 在“波导半径”下,选中“固定半径”复选框。 !?%'Fy6t 激活表达式框(参见图7)。 ]0yYMnqvr xM6v0U a 图7.波导半径 g3"eEg5 NY 8) 键入以下值: hr)CxsPoRQ 表达式:4000 gJv;{;% 9) 单击终止选项卡。 KE
k]<b= 10) 在偏移下,键入以下值(见图8): h~zG*B5F Horizontal:800 {95u^S= 垂直:-8 fL7u419= v7kR]HU[y 图8终止偏移值 -jJw wOm 11) 输入以下值: 7vf?#^RlV 宽度:4 5f'<0D;K 12) 点击“OK”。 =Lyo]8>,X 弧形波导的位置和大小根据您选择的设置而变化(参见图9)。 Uq8=R)1<|d !o k6*m 图9.修改的弧形波导 n$S`NNO{] 4. 插入输入平面 Q|+g= |%^ 要插入输入平面,请执行以下步骤。 eJm7}\/6` 步骤 操作 FYtf<C+ 1) 从绘制菜单中选择输入平面。 y?1<7>L5~ 2) 要插入输入平面,请单击布局窗口的左侧。 5W29oz}-S 输入平面出现(参见图10)。 }CyS_Tc on=I*?+R 图10.输入平面 ZO ! 3) 要编辑输入平面,请从编辑菜单中选择属性。 Z;XiA<| 出现“输入平面属性”对话框(参见图11)。 W18I"lHeh H^e0fm
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