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    [求助]新镀膜机如何调试 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2017-09-12
    一台新的镀膜机,在不知道折射率,没有补正板,不知道均匀性等的情况下,应该如何进行调试啊?步骤我知道,但是就是不知道具体该如何做,比如先做材料折射率,拿五氧化三钛为例,在没有具体的折射率情况下,用多大的折射率去做单层,单层的厚度设计多少,做出来后怎样进行修正计算实际的折射率,具体的教程谁有啊?另外知道折射率了,在做均匀性时,修正板要如何修剪? c Cx_tGR"  
    求指点。 .T1n"TfsGO  
     
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    离线ouyuu
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    只看该作者 1楼 发表于: 2017-09-12
    补正板作成资料C.zip (384 K) 下载次数:79 补正板作成资料C.zip (384 K) 下载次数:79 -br): }f  
    先看一下附件,新柯隆的补正板做成资料。 < w;49 0g  
    写的比较详细了。
    离线ouyuu
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    只看该作者 2楼 发表于: 2017-09-12
    另外,要做单层时,先确认一下你的分光仪测量范围和手头的光学软件是否可以用,里面有多少材料库,不够的话去查一下自己做材料。(推荐麦克劳德,当然TFC也可以) GHO6$iM)[  
    一般单层厚度在测量范围内3~5个PEAK(用光学软件模拟一下就可以知道)。 6$K@s  
    SiO2一般折射率变化不会太大,所以直接用光学软件的折射率也可以。 8v)iOPmDC  
    (还有就是有些分光仪分辨率不高,做出来的SiO2曲线毛刺很多,反倒不如软件里的折射率准确) FzAzAl 5  
    做的话多用几个坩埚,一个坩埚做很厚的膜层不好(打坑深了分布变了修正板就不准了)
    离线fly6947
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    只看该作者 3楼 发表于: 2017-09-13
    1.设定初参数:温度、真空、充氧、离子源、速率,这个可以参考或询问; ^b4i9n,t1  
    !Sl_qL  
    2.镀单层膜  基板选择圆平片,一班镀3-5个极值; {q^UWv?1  
    l h6N3d  
    3.修均匀性和计算折射率同步进行;高低材料均匀性交替修 z0%tBgqY(  
    vpC?JXz=H  
    4.修好均匀性后根据折射率计算tooling; dkeMiL m  
    r`pf%9k  
    5.验证膜层的光学及非光学性能;有异常者重新修改参数并重复2-4过程
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    只看该作者 4楼 发表于: 2017-09-14
    回 fly6947 的帖子
    fly6947:1.设定初参数:温度、真空、充氧、离子源、速率,这个可以参考或询问;
    2.镀单层膜  基板选择圆平片,一班镀3-5个极值;
    3.修均匀性和计算折射率同步进行;高低材料均匀性交替修 c=QN!n:  
    ....... (2017-09-13 11:28)  HL dHyK/S  
    ~B? Wg!  
    谢谢。不过说的流程我大概知道,就是不会具体的操作,比如我设计了单层,也镀了;出来特性也测了,如何计算折射率?
    离线ouyuu
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    只看该作者 5楼 发表于: 2017-09-14
    折射率和吸收两个要一起用软件算的。 "WO0 rh`  
    你先说说手头有什么软件? qZ +K4H  
    每种软件的使用方法不一样。 ET 0(/Zz  
    如果你只要结果的话,直接把特性CSV文件压缩发上来,有空帮你算。 KmM:V2@A$  
    45$aq~%as  
    wO`G_!W9  
    [ 此帖被ouyuu在2017-09-14 23:51重新编辑 ]
    离线fly6947
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    只看该作者 6楼 发表于: 2017-09-15
    楼上大神说得对,
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    只看该作者 7楼 发表于: 2017-09-16
    回 ouyuu 的帖子
    ouyuu:折射率和吸收两个要一起用软件算的。 YN:Sn\`D 8  
    你先说说手头有什么软件? o_kZ  
    每种软件的使用方法不一样。 D+jvF  
    如果你只要结果的话,直接把特性CSV文件压缩发上来,有空帮你算。
    ....... (2017-09-14 22:19)  +>[zn  
    @KLX,1K  
    麦克劳德、TFC都有
    离线ouyuu
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    只看该作者 8楼 发表于: 2017-09-16
    光学薄膜讲习资料(王编译).rar (813 K) 下载次数:38 |q\i, }  
    我居然以前还翻译过这个资料…… fLSDt(c',  
    <+b~E,  
    一般我的资料都是免费提供。 N#R8ez`  
    但是这次付出的时间比较多,所以出售5个币。 16.?4 5  
    其实你网上找一下应该是有资料的,麦克劳德的资料百度上还挺多的。 ,5 3`t  
    ;4v`FC>  
    你也可以问版主CYQDESIGN买一本麦克劳德的中文说明书,大概400元吧。 `7V1 F.\  
    这样做事方便很多,公司出钱应该没有问题吧。 ~52'iI)Mw  
    v"Ryg]^_  
    "tpD ->  
    c5i7mx:.  
    [ 此帖被ouyuu在2017-09-16 22:00重新编辑 ]
    离线futurebright
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    只看该作者 9楼 发表于: 2017-09-21
    很好的学习资料 wg:\$_Og  
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