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    [求助]新镀膜机如何调试 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 09-12
    一台新的镀膜机,在不知道折射率,没有补正板,不知道均匀性等的情况下,应该如何进行调试啊?步骤我知道,但是就是不知道具体该如何做,比如先做材料折射率,拿五氧化三钛为例,在没有具体的折射率情况下,用多大的折射率去做单层,单层的厚度设计多少,做出来后怎样进行修正计算实际的折射率,具体的教程谁有啊?另外知道折射率了,在做均匀性时,修正板要如何修剪? ^pZ(^  
    求指点。 i:{a-Bd  
     
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    离线ouyuu
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    只看该作者 1楼 发表于: 09-12
    补正板作成资料C.zip (384 K) 下载次数:56 补正板作成资料C.zip (384 K) 下载次数:56 `iQyKZS/+  
    先看一下附件,新柯隆的补正板做成资料。 #i:p,5~")  
    写的比较详细了。
    离线ouyuu
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    只看该作者 2楼 发表于: 09-12
    另外,要做单层时,先确认一下你的分光仪测量范围和手头的光学软件是否可以用,里面有多少材料库,不够的话去查一下自己做材料。(推荐麦克劳德,当然TFC也可以) hQHV]xW  
    一般单层厚度在测量范围内3~5个PEAK(用光学软件模拟一下就可以知道)。 80:na7$)#  
    SiO2一般折射率变化不会太大,所以直接用光学软件的折射率也可以。 =EV8~hMyqh  
    (还有就是有些分光仪分辨率不高,做出来的SiO2曲线毛刺很多,反倒不如软件里的折射率准确) .Jou09+  
    做的话多用几个坩埚,一个坩埚做很厚的膜层不好(打坑深了分布变了修正板就不准了)
    离线fly6947
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    只看该作者 3楼 发表于: 09-13
    1.设定初参数:温度、真空、充氧、离子源、速率,这个可以参考或询问; Pm" ,7  
    Z\LW<**b  
    2.镀单层膜  基板选择圆平片,一班镀3-5个极值; 7j._3'M=Kc  
    t'R&$;z@b  
    3.修均匀性和计算折射率同步进行;高低材料均匀性交替修 K<\TF+  
    2/(gf[elX  
    4.修好均匀性后根据折射率计算tooling; L(AY)gB  
    MUVp8! *@  
    5.验证膜层的光学及非光学性能;有异常者重新修改参数并重复2-4过程
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    只看该作者 4楼 发表于: 09-14
    回 fly6947 的帖子
    fly6947:1.设定初参数:温度、真空、充氧、离子源、速率,这个可以参考或询问;
    2.镀单层膜  基板选择圆平片,一班镀3-5个极值;
    3.修均匀性和计算折射率同步进行;高低材料均匀性交替修 ?9=yo5M}  
    ....... (2017-09-13 11:28)  @,zBZNX y  
    YMqL,& Q{1  
    谢谢。不过说的流程我大概知道,就是不会具体的操作,比如我设计了单层,也镀了;出来特性也测了,如何计算折射率?
    离线ouyuu
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    只看该作者 5楼 发表于: 09-14
    折射率和吸收两个要一起用软件算的。 })&0e:6  
    你先说说手头有什么软件? .:<c[EJ b  
    每种软件的使用方法不一样。 O\G%rp L$w  
    如果你只要结果的话,直接把特性CSV文件压缩发上来,有空帮你算。 H<1C5-  
    &dOV0y_  
    w8@MUz}/#  
    [ 此帖被ouyuu在2017-09-14 23:51重新编辑 ]
    离线fly6947
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    只看该作者 6楼 发表于: 09-15
    楼上大神说得对,
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    只看该作者 7楼 发表于: 09-16
    回 ouyuu 的帖子
    ouyuu:折射率和吸收两个要一起用软件算的。 w0 "h,{  
    你先说说手头有什么软件? 3K54:  
    每种软件的使用方法不一样。 tfdP#1E  
    如果你只要结果的话,直接把特性CSV文件压缩发上来,有空帮你算。
    ....... (2017-09-14 22:19)  OBj .-jL  
    !8P#t{2_|  
    麦克劳德、TFC都有
    离线ouyuu
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    只看该作者 8楼 发表于: 09-16
    光学薄膜讲习资料(王编译).rar (813 K) 下载次数:24 r:YAn^Lg  
    我居然以前还翻译过这个资料…… R=8!]Oi6  
    `W|2Xi=^5  
    一般我的资料都是免费提供。 ZXr]V'Q?  
    但是这次付出的时间比较多,所以出售5个币。 Ry/NfF=  
    其实你网上找一下应该是有资料的,麦克劳德的资料百度上还挺多的。 'OJXllGi  
    ]=h Ts%]w  
    你也可以问版主CYQDESIGN买一本麦克劳德的中文说明书,大概400元吧。 +Mg^u-(A  
    这样做事方便很多,公司出钱应该没有问题吧。 ztb2Ign<  
     Ya=QN<  
    nw\p3  
    W*8D@a0 _  
    [ 此帖被ouyuu在2017-09-16 22:00重新编辑 ]
    离线futurebright
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    只看该作者 9楼 发表于: 09-21
    很好的学习资料 R~c(^.|r  
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