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    [求助]新镀膜机如何调试 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 09-12
    一台新的镀膜机,在不知道折射率,没有补正板,不知道均匀性等的情况下,应该如何进行调试啊?步骤我知道,但是就是不知道具体该如何做,比如先做材料折射率,拿五氧化三钛为例,在没有具体的折射率情况下,用多大的折射率去做单层,单层的厚度设计多少,做出来后怎样进行修正计算实际的折射率,具体的教程谁有啊?另外知道折射率了,在做均匀性时,修正板要如何修剪? BV upDGh3  
    求指点。 6s/&BR  
     
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    离线ouyuu
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    只看该作者 1楼 发表于: 09-12
    补正板作成资料C.zip (384 K) 下载次数:11 补正板作成资料C.zip (384 K) 下载次数:11 Q;JM$a?5iV  
    先看一下附件,新柯隆的补正板做成资料。 sCk?  
    写的比较详细了。
    离线ouyuu
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    只看该作者 2楼 发表于: 09-12
    另外,要做单层时,先确认一下你的分光仪测量范围和手头的光学软件是否可以用,里面有多少材料库,不够的话去查一下自己做材料。(推荐麦克劳德,当然TFC也可以) MET' (m  
    一般单层厚度在测量范围内3~5个PEAK(用光学软件模拟一下就可以知道)。 fNt`?pW H  
    SiO2一般折射率变化不会太大,所以直接用光学软件的折射率也可以。 ` a/%W4  
    (还有就是有些分光仪分辨率不高,做出来的SiO2曲线毛刺很多,反倒不如软件里的折射率准确) HbA kZP  
    做的话多用几个坩埚,一个坩埚做很厚的膜层不好(打坑深了分布变了修正板就不准了)
    离线fly6947
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    只看该作者 3楼 发表于: 09-13
    1.设定初参数:温度、真空、充氧、离子源、速率,这个可以参考或询问; L=8<B=QT$  
    X{'q24\F  
    2.镀单层膜  基板选择圆平片,一班镀3-5个极值; 5b[jRj6  
    $[&*Bj11Yg  
    3.修均匀性和计算折射率同步进行;高低材料均匀性交替修 PuT@}tw  
    ]<pjXVRt"  
    4.修好均匀性后根据折射率计算tooling; \r,Q1n?7  
    .5,(_p^  
    5.验证膜层的光学及非光学性能;有异常者重新修改参数并重复2-4过程
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    只看该作者 4楼 发表于: 09-14
    回 fly6947 的帖子
    fly6947:1.设定初参数:温度、真空、充氧、离子源、速率,这个可以参考或询问;
    2.镀单层膜  基板选择圆平片,一班镀3-5个极值;
    3.修均匀性和计算折射率同步进行;高低材料均匀性交替修 OP|8Sk6 r  
    ....... (2017-09-13 11:28)  X>. NFB  
    jSuL5|Gui  
    谢谢。不过说的流程我大概知道,就是不会具体的操作,比如我设计了单层,也镀了;出来特性也测了,如何计算折射率?
    离线ouyuu
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    只看该作者 5楼 发表于: 09-14
    折射率和吸收两个要一起用软件算的。 n?urE-_  
    你先说说手头有什么软件? }sFm9j7yR  
    每种软件的使用方法不一样。 C 2w2252T  
    如果你只要结果的话,直接把特性CSV文件压缩发上来,有空帮你算。 13&0rLS  
    (V%`k'N7f  
    l-$uHHyu*  
    [ 此帖被ouyuu在2017-09-14 23:51重新编辑 ]
    离线fly6947
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    只看该作者 6楼 发表于: 09-15
    楼上大神说得对,
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    只看该作者 7楼 发表于: 09-16
    回 ouyuu 的帖子
    ouyuu:折射率和吸收两个要一起用软件算的。 #m8sK(#lo  
    你先说说手头有什么软件? [W,-1.$!dM  
    每种软件的使用方法不一样。 "MiD8wX-  
    如果你只要结果的话,直接把特性CSV文件压缩发上来,有空帮你算。
    ....... (2017-09-14 22:19)  0D(cXzQP  
    zG c[Z3N  
    麦克劳德、TFC都有
    离线ouyuu
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    只看该作者 8楼 发表于: 09-16
    光学薄膜讲习资料(王编译).rar (813 K) 下载次数:8 M} .b" ljZ  
    我居然以前还翻译过这个资料…… 3,.% s  
    /4joC9\AB  
    一般我的资料都是免费提供。 8t .dPy<  
    但是这次付出的时间比较多,所以出售5个币。 27#8dV?  
    其实你网上找一下应该是有资料的,麦克劳德的资料百度上还挺多的。 9|!j4DS<  
    XSB8z   
    你也可以问版主CYQDESIGN买一本麦克劳德的中文说明书,大概400元吧。 LBX%HGH  
    这样做事方便很多,公司出钱应该没有问题吧。 }BN\/;<A  
    wTpD1"_R  
    hr U :Wr  
    j.QHkI1.  
    [ 此帖被ouyuu在2017-09-16 22:00重新编辑 ]
    离线futurebright
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    只看该作者 9楼 发表于: 昨天 11:16
    很好的学习资料 9oq)X[  
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