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    [求助]新镀膜机如何调试 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2017-09-12
    一台新的镀膜机,在不知道折射率,没有补正板,不知道均匀性等的情况下,应该如何进行调试啊?步骤我知道,但是就是不知道具体该如何做,比如先做材料折射率,拿五氧化三钛为例,在没有具体的折射率情况下,用多大的折射率去做单层,单层的厚度设计多少,做出来后怎样进行修正计算实际的折射率,具体的教程谁有啊?另外知道折射率了,在做均匀性时,修正板要如何修剪? OmLe+,7'  
    求指点。 V2LvE.Kj  
     
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    离线ouyuu
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    只看该作者 1楼 发表于: 2017-09-12
    补正板作成资料C.zip (384 K) 下载次数:111 补正板作成资料C.zip (384 K) 下载次数:111 EO%"[k  
    先看一下附件,新柯隆的补正板做成资料。 T{)_vQ  
    写的比较详细了。
    离线ouyuu
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    只看该作者 2楼 发表于: 2017-09-12
    另外,要做单层时,先确认一下你的分光仪测量范围和手头的光学软件是否可以用,里面有多少材料库,不够的话去查一下自己做材料。(推荐麦克劳德,当然TFC也可以) us+z8Mz  
    一般单层厚度在测量范围内3~5个PEAK(用光学软件模拟一下就可以知道)。 H$.K   
    SiO2一般折射率变化不会太大,所以直接用光学软件的折射率也可以。 (AZAQ xt  
    (还有就是有些分光仪分辨率不高,做出来的SiO2曲线毛刺很多,反倒不如软件里的折射率准确) L~AU4Q0o  
    做的话多用几个坩埚,一个坩埚做很厚的膜层不好(打坑深了分布变了修正板就不准了)
    离线fly6947
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    只看该作者 3楼 发表于: 2017-09-13
    1.设定初参数:温度、真空、充氧、离子源、速率,这个可以参考或询问; xpc{#/Nk  
    -Nn< pq  
    2.镀单层膜  基板选择圆平片,一班镀3-5个极值; uVTacN%X  
    :w+vi 7l$  
    3.修均匀性和计算折射率同步进行;高低材料均匀性交替修 "c\WZB`|  
    zK&1ti@wln  
    4.修好均匀性后根据折射率计算tooling; Q[ ?R{w6  
    XJ5@/BW  
    5.验证膜层的光学及非光学性能;有异常者重新修改参数并重复2-4过程
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    只看该作者 4楼 发表于: 2017-09-14
    回 fly6947 的帖子
    fly6947:1.设定初参数:温度、真空、充氧、离子源、速率,这个可以参考或询问;
    2.镀单层膜  基板选择圆平片,一班镀3-5个极值;
    3.修均匀性和计算折射率同步进行;高低材料均匀性交替修 s .<.6t:G4  
    ....... (2017-09-13 11:28)  T.3{}230<  
    >~nr,V.q  
    谢谢。不过说的流程我大概知道,就是不会具体的操作,比如我设计了单层,也镀了;出来特性也测了,如何计算折射率?
    离线ouyuu
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    只看该作者 5楼 发表于: 2017-09-14
    折射率和吸收两个要一起用软件算的。 Qv5 fK  
    你先说说手头有什么软件? E I(e3  
    每种软件的使用方法不一样。 #Zw:&' QB  
    如果你只要结果的话,直接把特性CSV文件压缩发上来,有空帮你算。 5{k,/Z[L  
    \ c4jGJ  
    P O 5Wi  
    [ 此帖被ouyuu在2017-09-14 23:51重新编辑 ]
    离线fly6947
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    只看该作者 6楼 发表于: 2017-09-15
    楼上大神说得对,
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    只看该作者 7楼 发表于: 2017-09-16
    回 ouyuu 的帖子
    ouyuu:折射率和吸收两个要一起用软件算的。 :,0(aB  
    你先说说手头有什么软件? ~gd#cL%  
    每种软件的使用方法不一样。 TM(y%!\  
    如果你只要结果的话,直接把特性CSV文件压缩发上来,有空帮你算。
    ....... (2017-09-14 22:19)  Mqd'XU0L  
    60!%^O =  
    麦克劳德、TFC都有
    离线ouyuu
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    只看该作者 8楼 发表于: 2017-09-16
    光学薄膜讲习资料(王编译).rar (813 K) 下载次数:61 d.vNiq,`  
    我居然以前还翻译过这个资料…… [nO3%7t@  
    U*r54AyP  
    一般我的资料都是免费提供。 " !EnQB=  
    但是这次付出的时间比较多,所以出售5个币。 w[-)c6JyE  
    其实你网上找一下应该是有资料的,麦克劳德的资料百度上还挺多的。 <t"T'\3  
    LIcc0w3  
    你也可以问版主CYQDESIGN买一本麦克劳德的中文说明书,大概400元吧。 5I2,za&e  
    这样做事方便很多,公司出钱应该没有问题吧。 Gw<D'b)!  
    <==uK>pET  
    X,v.1#[  
    YbP @  
    [ 此帖被ouyuu在2017-09-16 22:00重新编辑 ]
    离线futurebright
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    只看该作者 9楼 发表于: 2017-09-21
    很好的学习资料 +\T8`iCFB  
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