[求助]新镀膜机如何调试 [复制链接]

一台新的镀膜机，在不知道折射率，没有补正板，不知道均匀性等的情况下，应该如何进行调试啊？步骤我知道，但是就是不知道具体该如何做，比如先做材料折射率，拿五氧化三钛为例，在没有具体的折射率情况下，用多大的折射率去做单层，单层的厚度设计多少，做出来后怎样进行修正计算实际的折射率，具体的教程谁有啊？另外知道折射率了，在做均匀性时，修正板要如何修剪？ 4)k-gKS*  
求指点。 ?Js4\X!uJ  

=[!(s/+>L  
先看一下附件，新柯隆的补正板做成资料。 gp{C89gP  
写的比较详细了。

另外，要做单层时，先确认一下你的分光仪测量范围和手头的光学软件是否可以用，里面有多少材料库，不够的话去查一下自己做材料。（推荐麦克劳德，当然TFC也可以） WjK[% ;Z!  
一般单层厚度在测量范围内3～5个PEAK（用光学软件模拟一下就可以知道）。 B0)|sH  
SiO2一般折射率变化不会太大，所以直接用光学软件的折射率也可以。 p4k
}B. f  
（还有就是有些分光仪分辨率不高，做出来的SiO2曲线毛刺很多，反倒不如软件里的折射率准确） .zt&HI.F  
做的话多用几个坩埚，一个坩埚做很厚的膜层不好（打坑深了分布变了修正板就不准了）

1.设定初参数：温度、真空、充氧、离子源、速率，这个可以参考或询问； Nb !i_@m%s  
v6=%KXSF  
2.镀单层膜  基板选择圆平片，一班镀3-5个极值； Sa9VwVUE  
w}OBp^V^  
3.修均匀性和计算折射率同步进行；高低材料均匀性交替修 Gds(.]_  
$H)!h^7^9  
4.修好均匀性后根据折射率计算tooling； dm=?o  
uQx/o^  
5.验证膜层的光学及非光学性能；有异常者重新修改参数并重复2-4过程

fly6947:1.设定初参数：温度、真空、充氧、离子源、速率，这个可以参考或询问；
2.镀单层膜  基板选择圆平片，一班镀3-5个极值；
3.修均匀性和计算折射率同步进行；高低材料均匀性交替修 hLZfArq}  
....... (2017-09-13 11:28)  !xR9I0V5  

`|AH3v1  
谢谢。不过说的流程我大概知道，就是不会具体的操作，比如我设计了单层，也镀了；出来特性也测了，如何计算折射率？

折射率和吸收两个要一起用软件算的。 _)= e`9%  
你先说说手头有什么软件？ nZ'jjS[!  
每种软件的使用方法不一样。 4<UAT|L^`  
如果你只要结果的话，直接把特性CSV文件压缩发上来，有空帮你算。 GEVDXx>@  
.EHq.cd
e  
v8 =#1YB;  

楼上大神说得对，

ouyuu:折射率和吸收两个要一起用软件算的。 t~ I;IB  
你先说说手头有什么软件？ w1zMY
:9  
每种软件的使用方法不一样。 +C7W2!I[G2  
如果你只要结果的话，直接把特性CSV文件压缩发上来，有空帮你算。
....... (2017-09-14 22:19)  %o\+R0K  

dJrUcZBr  
麦克劳德、TFC都有

,vMAX?c  
我居然以前还翻译过这个资料…… $f+I#uJ  
*a8<cf  
一般我的资料都是免费提供。 \pI {b9  
但是这次付出的时间比较多，所以出售5个币。 RSB+Saf.8  
其实你网上找一下应该是有资料的，麦克劳德的资料百度上还挺多的。 4|Y1W}!0/  
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]3 Tx  
你也可以问版主CYQDESIGN买一本麦克劳德的中文说明书，大概400元吧。 iC!6g|]X  
这样做事方便很多，公司出钱应该没有问题吧。 m&q0 _nay  
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很好的学习资料 u+6D|