11.1 定义材料要定义材料,请执行以下步骤。 1<@W6@] 步骤 执行 %3-y[f 1) 从“文件”菜单中,选择“新建”。出现“初始属性”对话框(参见图2) '3fu BoWg0*5xb 图2.初始属性对话框 ;7V%#-
使用“初始属性”对话框指定基本参数。 这些参数可以稍后在会话框中进行更改,因为希望这些参数较少地改变,因此在项目创建开始时对其进行设置。 例如,预期诸如折射率之类的属性在设计会话中将比设计中的其他属性(例如系统几何形状)更少地改变。 轮廓是用来确定横向平面中波导几何形状的规格。通道波导包含多层结构,光纤具有圆形横截面,扩散波导具有渐变折射率指数。 这些定义在设计会话中比几何体布局更改地更少。 z'n:@E `p-cSxR_ 2) 单击“轮廓”和“材料”。将出现“轮廓设计器”窗口(参见图3)。 9wwqcx)3(
Cctu|^V 图3.轮廓设计器窗口 }@+0/W?\.
OptiBPM Designer1是我们正在使用的项目的临时名称。 保存项目时,可以给它一个更有意义的名称。 Qbn"=n2 x~~|.C, 3) 在OptiBPM_Designer1的目录下,在“材料”文件夹下,右键单击“电介质”文件夹。 7(8;to6( 出现一个右键菜单。 i$G@R%
?Ep [M:,q 4) 选择新建。 hx %v+/ 出现Dielectric1对话框(参见图4)。 mxC;?s;~ /nNN,hz 图4.介质对话框
*)T^ChD, 5) 键入以下信息: 2r?G6D| 名称:Core $a"Oc 折射率(Re :):1.46 266h\2t6 6) 单击各向异性选项卡并键入折射率Re的实部: 1.46 l<LI7Z]A 7) 要保存材料,请单击“存储”。 zP8lN(LA 名称Core出现在目录中的Dielectric文件夹和对话框标题栏中。 mSF(q78? 注意:您可以打开对话框,或关闭对话框以防止“轮廓设计器”窗口变得混乱。 06Sceq M`!H"R 7 折射率有两种定义,因为在2D计算中,折射率通常不是物理指标,而是有效的指标。 2D标签是保存有效折射率的地方; 当有效折射率放置在2D选项卡中时,仅在执行2D模拟时才使用。 3D BPM和模式解算器将使用其他选项卡中的定义。 *zvx$yJ? 8) 单击各向异性选项卡 .}TZxla0Zr 在项目中的某个时刻,可能会使用其他BPM模拟器,可以接受各向异性材料。 各向异性材料的特征在于介电常数张量(见图5)。 材料Core可以在这种环境中使用(尽管它本身不是各向异性的),因此默认情况下,OptiBPM会自动设置适当的对角线介电常数张量,即主对角线中的n2。 如果需要指定各向异性材料,请取消选中默认复选框并输入相应的常数(参见图5)。 <uw9DU7G ]MitOkX 图5.3D各向异性标签
[!#L6&:a8 9) 重复步骤3)至6),并键入以下信息(参见图6) <)c)%'v 名字:Clad ~KX/
Ai 折射率(Re :):1.44 7*A],:-q 10) 要保存信息,请单击“存储”。 u?(d gJ Clad出现在目录和对话框标题栏中的Dielectric文件夹中。 Vaw+.sG`AP 9vc2VB$ 图6 包层定义 {qJ1ko)$
11.2 定义2D和3D通道轮廓 ag[wdoj 要提供2D和3D轮廓的定义,请执行以下步骤。 joAv{Tc 步骤 操作 Zt{[*~ 1) 在OptiBPM_Designer1下的“Profiles”文件夹下的目录下,右键单击“Channel”文件夹。 WO>nIo5Y 出现一个右键菜单。 ,j_i?Ff 2) 选择新建。 $>eCqC3 出现“通道”对话框。 c]o'xd,T8\ 注意:要确保您可以查看所有场,请最大化ChannelPro对话框。 <^jQo<kU 3) 输入轮廓文件名称:BuriedWg /{n-Y/jp 4) 提供2D配置轮廓定义: P{>!5|k • 在2D轮廓定义下,在“材料”组合框列表中,单击新定义的材质“Core”。 aSQ#k;T[ 通过选择Core,如果2D模拟器被调用,与配置文件名称BuriedWg相关联的波导内的任何点将具有Core的2D规范中定义的折射率。 G}raA%
|TH\`U 图7 2D轮廓定义 SRDp*
通道轮廓文件由外延方向的层和这些在3D轮廓面板中被定义层组成。 21l;\W 5) 要指定3D轮廓定义: -zeG1gr3 a. 在3D轮廓定义下,键入以下信息: .|fHy 层名称:Channel1(通道1) s-Tv8goNV 宽度:1.0 !F'YDjTot 厚度:2 J<h$
wM 偏移量:0 HBXOjr<,{ b. 在材料清单中,选择Core。 s*]}QmRpr c. 单击添加。 flbd0NB 您输入的信息显示在3D配置文件定义窗口中。 0=1T.4+= 6) 要保存通道轮廓文件,请单击“存储”。 nMUw_7Y6 BuriedWg出现在目录中的Channel文件夹中,在Profile Designer标题栏和设计底部的选项卡上(参见图8)。 iz PDd{[ 图8 定义通道轮廓
7) 要返回OptiBPM布局设计器窗口,请最小化“轮廓设计器”窗口。 SO'vpz{ 出现OptiBPM GUI和初始属性对话框。 Om2d.7S /7F:T[ 11.3定义布局设置 d/kv|$XW 要定义布局设置,请执行以下步骤: ;dgp+ 步骤 操作 +\
.Lp 5 1) 在“初始属性”对话框中,单击“默认波导”标签。 :':s@gqr 2) 键入以下值: e6$W Qd`O 宽度:4.0 fr6fj 注意:所有波导将使用该值作为默认宽度。 i<Zc"v; 3) 在轮廓列表中,单击新定义的BuriedWg(参见图9)。 BW*rIn<?G 注意:可以随时更改默认的或者相关联的任意单个波导(在“波导布局设计器”中,选择“编辑”>“默认波导”)。 ~=l;=7 T S_UIO.K 图9初始属性对话框 - 默认波导选项卡 JL{VD
/f
要在平面视图中指定分析区域的大小: -x`@6 4) 单击“晶圆尺寸”选项卡。 +',S]Edx 键入以下值(参见图10)。 u\;C;I-? ' 长度:800 +a{1)nCXe 宽度:40 /@TF5]Ri
BUXpCxQ 图10初始属性对话框 - “晶圆尺寸”选项卡
指定任意点的材料并不包含波导内部(对于2D计算): lzVq1@B 5) 单击“2D晶圆属性”选项卡 ,w4V?>l 6) 在晶圆折射率中,在“材质”列表中,单击“包层”。 j'"J%e] >!1-lfa8 在3D计算的情况下,需要提供更多的信息,因为通常用于基底的材料与用于包层的材料不同。 另外,需要规定层的厚度。 在这种情况下,我们在掩埋波导中以相同的材料来定义基底和包层。 注意,这不是基底或包层的实际厚度。 相反,这些数字指定计算窗口的边界。 基底的理想厚度将是足够大以容纳被分析的波导模式,但又不能太厚以避免网格的精度受损。 在实际工作中,随着波导设计经验的增加,这些尺寸将需要在后期进行优化。 但是,可以稍后更改这些尺寸(在“波导布局设计器”中,选择“编辑”>“晶圆属性”)。 tFOhL9T 要指定与任何不在任何波导内的点相关联的材料进行3D计算: Btn]}8K 7) 单击“3D晶片属性”选项卡。 Z,Dl` w 8) 在“包层”面板中,选择“材料:包层”,然后键入“厚度”:17。 I:1C8*/ 9) 在“基底”面板中,选择“材料:包层”,然后键入“厚度”:15 1^JS Dd
.Vvx,>>D 图11初始属性对话框 - “3D晶圆属性”选项卡
10) 要将设置应用于布局,请单击“确定”。 ;"-&1qHN 将显示项目布局窗口。 d|Lj~x| 注意:最大化项目布局窗口并调整放大倍率(+ - 按钮),使布局在屏幕上显示为适当的大小。 $5%SNzzl 将项目保存为GettingStarted.bpd,以恢复目前已完成。 如果要保留记录此项目中间步骤的文件,请使用SaveAs功能。 保存文件后,轮廓设计器中树的名称为“GettingStarted”,保存的名称将替换临时名称“OptiBPMDesigner 1”(见图7)。 同样,如果您在OptiBPM中打开其他项目,则将在轮廓设计器中创建与新打开的项目名称相同的新分支。 z_4J)?3
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未完待续