[求助]滤光膜测试 [复制链接]

大家好，最近在镀时用TFCalc模拟的结果如下，Stack: (HL)^10 L (HL)^10，H: Si3N4，L: SiO2，其中高、低折射率材料是用的实际镀膜后实际测试的折射率参数，应该比较真实吧。 xVRxKM5 {  

图片:simulation.jpg

Zu4au<  
y9k'jEZ"oh  
但测试结果如下，除了透射峰的位置不准确外，透射峰基本上没有了，为什么结果很差。我一直认为是吸收太大所致，但模拟时采用的是真实测量的n、k值，多层膜吸收已经考虑之后进行的模拟，请大家帮忙分析一下，非常感谢！ smn~p/u  

图片:Test result.jpg

   gLg.mV1<  
Q(O0z3b  
dnV&U%fO  
gX*j|(r  
U;0:@.q  
f:6F5G  
vy` lfbX@  
?f6SKC  

公差太大。SIO2整体对比于Si3N4随便多走1%或者少走1%。透射峰都会被冲掉。至于透射峰位置不准确就是整体膜系都走多了（整体都能误差到这个地位，何况精度要求几纳米的波峰 ）。而且出射介质个人用的是就是基底。楼主用的是空气。可能教程看的不一样。 agE-,  
对比于模拟与实际，楼主选用的NK是没问题的。 f=VlOd  

都是大神

希望有相关经验的朋友不吝赐教，非常感谢！