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俄罗斯研制出在蒸汽中产生强电流脉冲磁控放电的等离子发生器 磁控溅射是对使用节能涂层材料的建筑物玻璃进行沉淀的唯一方法，可将能显著提高性能的硬涂层喷射到切割工具上。在微电子学中，这种办法被用于集成电路板的金属化;在光学中，可用来生产滤光器;也可用来生产疏水涂层。新研制的等离子发生器由等离子接头和电源组成，在特殊的磁控放电模式下工作，在这些模式下能发挥熔融材料的强烈蒸汽作用，以此形成涂料。 该校等离子物理教研室研究员亚历山大·杜马尔金说:“在零件上的薄膜慢速增长与真空蒸发，长期以来一直都是磁控溅射技术的难题。新技术成功地将两种技术的优点合二为一。我们已经学会在保证质量情况下的高速溅射。” 莫斯科工程物理学院等离子物理教研室的科学研究员安德烈·卡奇耶夫说:“设备的工业样品和用于生产高质量单独涂层的模块一样。我们的潜在客户是生产节能窗、现代能源组件以及各型材机械制造的企业。” 在全球，磁控溅射法占了生产适用于电子、机械、建筑和其他领域的金属及介电涂层市场的很大一部分份额。该方法是对被加工的零件涂上借助等离子、通过特别靶标喷出的材料。目前，磁控溅射镀膜是在高技术领域中生产薄膜最常见的方式。 分享到：
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