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    [求助]PMMA基板上镀膜，出现膜裂和脱膜，求大神指点！ [复制链接]

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    离线即兴以来
    技术员
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2015-08-01
    回复本帖可获得1枚光币奖励！
    每人最多可获奖1次，奖池剩余3枚光币 (中奖几率10%)
    现在在PMMA基板上镀AR膜，使用Leybold真空镀膜机，电子枪蒸发方式，选用Ta2O5和SiO2作为镀膜材料；会出现膜裂和脱膜现象，使用3M胶带拉，膜层几乎全部脱落；镀膜前基板未经清洗处理，在真空室中加热到50℃，然后停止加热，开始镀膜，镀膜整个过程中温度未超过50℃。 p*1 B *R  
    求大神指点，如何改善工艺才能解决膜裂和脱膜的问题，非常感谢！ jWvi% I qi  
    Q_0_6,Opb  
    =jxy4`oF  
    +RiI5.$=Z  
    f4f)9n  
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    离线yzhuang
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    只看该作者 1楼 发表于: 2015-08-19
    不用离子源吗？用了离子源后50度咋可能控制在50度？除非设置离子源的功率特小，要不离子源的温升效果也很明显呀
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    离线即兴以来
    技术员
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    只看该作者 2楼 发表于: 2015-08-19
    离子源的功率较低，所以整个镀膜过程中温升不明显。
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    离线dumoty
    工程师
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    只看该作者 3楼 发表于: 2015-08-21
    镀膜前基板要清洗，然后退火2-3h，镀完之后再退火2-3h。
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    离线woshiyiyun
    助理工程师
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    只看该作者 4楼 发表于: 2015-08-30
    膜层与基底结合力不够
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    离线即兴以来
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    只看该作者 5楼 发表于: 2015-09-06
    回 dumoty 的帖子
    dumoty:镀膜前基板要清洗，然后退火2-3h，镀完之后再退火2-3h。 (2015-08-21 13:20)  K]dR%j  
    z|(<Co8#.  
    请问镀膜前怎么清洗，尝试过用酒精，不行！ Vk[M .=J  
    谢谢！
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    离线即兴以来
    技术员
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    只看该作者 6楼 发表于: 2015-09-06
    回 woshiyiyun 的帖子
    woshiyiyun:膜层与基底结合力不够 (2015-08-30 17:46)  m)r,  
    ]U }B~Y  
    是的，附着力不行。现在的问题就是如何提高结合力，不知您有没有好的建议？ q:vGGK^  
    谢谢！
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    离线即兴以来
    技术员
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    只看该作者 7楼 发表于: 2015-09-06
    回 dumoty 的帖子
    dumoty:镀膜前基板要清洗，然后退火2-3h，镀完之后再退火2-3h。 (2015-08-21 13:20)  J-5kvQi8  
    7=&+0@R#/d  
    退火处理？因为PMMA基板不耐高温，退货处理意义不大吧？ 3/]~#y%2  
    有点儿不太明白，能否详细说一下？ ~c*kS E2X  
    谢谢！
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    离线dumoty
    工程师
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    只看该作者 8楼 发表于: 2015-09-07
    应该不可以用酒精擦吧？ m9\~dD  
    超声波清洗，走中性或碱性洗剂。 lAo4)  
    用60-70度恒温箱退火，去硬力很必要的步骤。
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    离线西北风
    实习生
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    只看该作者 9楼 发表于: 2015-09-17
    现在解决了吗？如果没有可联系我 QQ2860598589
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